晶圓轉(zhuǎn)移工具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型大體上涉及芯片封裝，更具體地，涉及晶圓轉(zhuǎn)移和挑選的工具。
【背景技術(shù)】
[0002]在晶圓封裝、測試過程中，需要經(jīng)常轉(zhuǎn)移或挑選晶圓?，F(xiàn)在晶圓在料盒轉(zhuǎn)移或挑選作業(yè)過程中通常采用手動(dòng)拿取或真空吸筆吸取的方式。手動(dòng)拿取存在如下風(fēng)險(xiǎn):容易因手直接接觸而造成產(chǎn)品污染、靜電傷害等問題而導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷；人為動(dòng)作不當(dāng)而導(dǎo)致晶圓破裂。真空吸筆吸取晶圓存在如下風(fēng)險(xiǎn):吸筆、吸盤直接接觸晶圓表面容易造成刮傷；晶圓在料盒中密集碼放，操作不便，作業(yè)效率低；容易因斷氣或吸附不牢而發(fā)生晶圓掉落。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]存在一種需要，以改進(jìn)現(xiàn)在晶圓在料盒轉(zhuǎn)移或挑選的作業(yè)方式。
[0004]在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，揭示了一種晶圓轉(zhuǎn)移工具，其包括:第一平臺(tái)和第二平臺(tái)，所述第一平臺(tái)和第二平臺(tái)保持平齊且可以沿著滑動(dòng)軌道合攏或分開；所述第一平臺(tái)上具有限位拐角和第一卡槽，所述限位拐角和第一卡槽用于將晶圓轉(zhuǎn)接盒固定于所述第一平臺(tái)之上且使得所述晶圓轉(zhuǎn)接盒的開口方向朝向所述第二平臺(tái)；所述第二平臺(tái)上具有第二卡槽、第一柱體和第二柱體；其中，所述第一柱體和第二柱體相對(duì)而立，兩者的連線垂直于所述第一平臺(tái)和第二平臺(tái)的滑動(dòng)方向；所述第一柱體和第二柱體上具有溝槽以容納晶圓料盒的底托，所述第二卡槽用于與所述晶圓料盒的卡接部分嚙合，以將所述晶圓料盒固定于所述第二平臺(tái)之上且使得所述晶圓料盒的開口方向朝向所述第一平臺(tái)；所述第一柱體和第二柱體的內(nèi)側(cè)與所述晶圓料盒的底托部分的中空開口對(duì)齊。
[0005]在上述晶圓轉(zhuǎn)移工具的一個(gè)具體實(shí)施例中，所述第一柱體和第二柱體相對(duì)的內(nèi)側(cè)分別具有梳狀部分，且所述兩個(gè)梳狀部分的齒與齒相對(duì)、縫隙與縫隙相對(duì)，每一縫隙與所述晶圓料盒內(nèi)壁的一個(gè)溝槽相互對(duì)齊。
[0006]在上述晶圓轉(zhuǎn)移工具的一個(gè)具體實(shí)施例中，所述兩個(gè)梳狀部分的齒間縫隙底部之間的距離小于等于所述晶圓料盒的底托部分的中空開口的寬度。
[0007]在上述晶圓轉(zhuǎn)移工具的一個(gè)具體實(shí)施例中，所述晶圓轉(zhuǎn)接盒和所述晶圓料盒可隨著所述第一平臺(tái)和第二平臺(tái)的合攏而開口相對(duì)地合攏。
[0008]在上述晶圓轉(zhuǎn)移工具的一個(gè)具體實(shí)施例中，在所述晶圓轉(zhuǎn)接盒和晶圓料盒的開口處還可以設(shè)置有嚙合部件以使得兩者牢固結(jié)合。
[0009]在一個(gè)具體實(shí)施例中，晶圓轉(zhuǎn)移工具還包括推板，所述推板可從所述第一柱體、第二柱體的梳狀部分的齒縫間插入并將相應(yīng)的單片晶圓從所述晶圓料盒推動(dòng)到所述晶圓轉(zhuǎn)接盒之中。
[0010]在一個(gè)具體實(shí)施例中，晶圓轉(zhuǎn)移工具還包括以下組件:推臂，其一端部連接著直立的懸臂，另一端通過連桿連接到手柄；所述懸臂和推臂的寬度小于所述兩個(gè)梳狀部分的齒鋒之間的距離，且大體上居中地位于所述兩個(gè)梳狀部分之間；所述連桿至少部分地位于第二平臺(tái)之下；所述組件可操控地沿著所述連桿的長軸方向移動(dòng)，以使得所述懸臂和推臂可以在所述兩個(gè)梳狀部分之間穿過。
[0011]在上述晶圓轉(zhuǎn)移工具的一個(gè)具體實(shí)施例中，所述連桿經(jīng)由軌道而可滑動(dòng)地固定于所述第二平臺(tái)的底部。
[0012]在上述晶圓轉(zhuǎn)移工具的一個(gè)具體實(shí)施例中，所述推臂被設(shè)置為可繞著所述連桿的長軸旋轉(zhuǎn)。
[0013]在上述晶圓轉(zhuǎn)移工具的一個(gè)具體實(shí)施例中，所述推臂可至少被固定于直立和水平兩個(gè)位置。
[0014]本實(shí)用新型的至少部分實(shí)施例中可以避免現(xiàn)有晶圓轉(zhuǎn)移方式中的風(fēng)險(xiǎn)，以降低晶圓損耗。本實(shí)用新型的部分實(shí)施例中，可以在整盒晶圓轉(zhuǎn)移和單片晶圓轉(zhuǎn)移之間靈活地選擇。
【附圖說明】
[0015]結(jié)合附圖，以下關(guān)于本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)說明將更易于理解。本實(shí)用新型以舉例的方式予以說明，并非受限于附圖，附圖中類似的附圖標(biāo)記指示相似的元件。
[0016]圖1A示出了一個(gè)實(shí)施例中的晶圓轉(zhuǎn)移工具100的立體示意圖；
[0017]圖1B示出了晶圓轉(zhuǎn)移工具100的側(cè)面立體示意圖；
[0018]圖1C是圖1B的局部放大視圖；
[0019]圖1D示出了晶圓轉(zhuǎn)移工具100與晶圓料盒152、晶圓轉(zhuǎn)接盒151配合使用的立體示意圖；
[0020]圖1E示出了推板160的立體示意圖；
[0021]圖1F示出了利用推板160進(jìn)行單片晶圓轉(zhuǎn)移的示意圖；
[0022]圖2A示出了一個(gè)實(shí)施例中的晶圓轉(zhuǎn)移工具200的立體示意圖；
[0023]圖2B示出了晶圓轉(zhuǎn)移工具200的仰視立體示意圖；
[0024]圖2C和圖2D示出了晶圓轉(zhuǎn)移工具200與晶圓料盒252、晶圓轉(zhuǎn)接盒251配合使用的立體示意圖；
[0025]圖2E示出了利用推板260進(jìn)行單片晶圓轉(zhuǎn)移的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0026]附圖的詳細(xì)說明意在作為本實(shí)用新型的當(dāng)前優(yōu)選實(shí)施例的說明，而非意在代表本實(shí)用新型能夠得以實(shí)現(xiàn)的僅有形式。應(yīng)理解的是，相同或等同的功能可以由意在包含于本實(shí)用新型的精神和范圍之內(nèi)的不同實(shí)施例完成。
[0027]圖1A示出了一個(gè)實(shí)施例中的晶圓轉(zhuǎn)移工具100的立體示意圖。如圖所示，晶圓轉(zhuǎn)移工具100包括第一平臺(tái)101和第二平臺(tái)102。第一平臺(tái)101和第二平臺(tái)102保持平齊、并可以沿著滑動(dòng)軌道(圖中未示出)合攏或分開，圖1A中示出了兩者分開的情形。第一平臺(tái)101上具有限位拐角112和卡槽114，其中卡槽114用于與晶圓轉(zhuǎn)接盒151 (示于圖1D、圖1F)的卡接部(未示出)相互嚙合，限位拐角112用于限定晶圓轉(zhuǎn)接盒151的位置，從而將晶圓轉(zhuǎn)接盒151固定于第一平臺(tái)101之上。固定好之后，晶圓轉(zhuǎn)接盒151的開口朝向第二平臺(tái)102的方向。第二平臺(tái)102上具有卡槽116、第一柱體121和第二柱體122。第一柱體121和第二柱體122相對(duì)而立，兩者的連線方向大體上垂直于第一平臺(tái)101和第二平臺(tái)102的滑動(dòng)方向。第一柱體121和第二柱體122上分別具有溝槽123和溝槽124?？ú?16用于與標(biāo)準(zhǔn)晶圓料盒152 (示于圖1D、圖1F)的卡接部(未示出)相互嚙合，料盒152的底托158(示于圖1D、圖1F)被容納于溝槽123、124中，從而將標(biāo)準(zhǔn)晶圓料盒152固定于第一平臺(tái)102之上。固定好之后，晶圓料盒152的開口朝向第一平臺(tái)101的方向。
[0028]圖1C是圖1B的局部放大視圖。如圖所示，梳狀部分126包括多個(gè)梳齒131。圖中還示出了齒鋒133、齒間縫隙132、以及縫隙的底部134。
[0029]如圖1D所示，晶圓料盒152中沿著內(nèi)壁具有多個(gè)大體上平行的馬蹄形的溝槽156，用于容納、承托多片晶圓(圖中未示出)。如本領(lǐng)域所知的，標(biāo)準(zhǔn)晶圓料盒152的底托158部分具有中空的開口。圖1B示出了晶圓轉(zhuǎn)移工具100的側(cè)面立體示意圖，圖中示出了第一平臺(tái)101和第二平臺(tái)102合攏的情形。如圖所示，第一柱體121和第二柱體122相對(duì)的內(nèi)側(cè)分別具有梳狀部分126，左右兩個(gè)梳狀部分126的齒與齒相對(duì)、縫隙與縫隙相對(duì)。梳狀部分126的每一(齒間)縫隙與標(biāo)準(zhǔn)晶圓料盒152內(nèi)壁的一個(gè)溝槽156相互對(duì)齊，左右兩個(gè)梳狀部分126與標(biāo)準(zhǔn)晶圓料盒152的底托158部分的中空的開口對(duì)齊，且左右兩個(gè)梳狀部分126的齒間縫隙底部之間的距離小于等于標(biāo)準(zhǔn)晶圓料盒152的底托158部分的中空的開口的寬度。
[0030]圖1E示出了推板160的立體示意圖。推板160的寬度小于左右兩個(gè)梳狀部分126的齒間縫隙底部之間的距離以及標(biāo)準(zhǔn)晶圓料盒152的底托158部分的中空的開口的寬度，且優(yōu)選大于一側(cè)梳狀部分縫隙底部與另一側(cè)對(duì)應(yīng)梳狀部分齒鋒之間的距離。推板160的厚度小于梳狀部分126的齒間縫隙的寬度。因此，推板160能夠從左右兩個(gè)梳狀部分126的任一對(duì)對(duì)齊的齒縫之間插入。推板160具有一個(gè)較柔軟材料的頭部162，以避免刮傷晶圓。
[0031]圖1F不出了利用推板160進(jìn)彳丁單片晶圓轉(zhuǎn)移的不意圖。如圖所不，晶圓轉(zhuǎn)接盒151固定于第一平臺(tái)101，晶圓料盒152固定于第二平臺(tái)102，且兩者隨著第一平臺(tái)101和第二平臺(tái)102的合攏而開口相對(duì)地合攏。在晶圓轉(zhuǎn)接盒151和晶圓料盒152的開口處還可以設(shè)置有嚙合部件以使得兩者牢固結(jié)合。與晶圓料盒152類似，晶圓轉(zhuǎn)接盒151中沿著內(nèi)壁具有多個(gè)大體上平行的溝槽用于容納、承托晶圓(圖中未示出)，且晶圓轉(zhuǎn)接盒151內(nèi)壁的溝槽與晶圓料盒152內(nèi)壁的溝槽156對(duì)齊。當(dāng)選定了需要從晶圓料盒152轉(zhuǎn)移到晶圓轉(zhuǎn)接盒151的單片晶圓，則將推板160從第一柱體121、第二柱體122的梳狀部分126的相應(yīng)齒縫間插入并向前推動(dòng)，直到將這一片晶圓從晶圓料盒152推動(dòng)到了晶圓轉(zhuǎn)接盒151中的相應(yīng)溝槽之中承托。此后，將推板160抽出，再將第一平臺(tái)101和第二平臺(tái)102分開為如圖1D所示，此時(shí)即可取下晶圓轉(zhuǎn)接盒151并隨之將其中晶圓運(yùn)載到任何需要的地方。
[0032]圖2A示出了一個(gè)實(shí)施例中的晶圓轉(zhuǎn)移工具200的立體示意圖。如圖所示，晶圓轉(zhuǎn)移工具200包括第一平臺(tái)201、第二平臺(tái)202以及推臂27