的容量大于所述容置單元200的容量。具體的，所述容置部600的容量為兩個批次(batch)的晶圓數(shù)量，例如是300片。所述移動臺700可以上下移動，也可以轉(zhuǎn)動(圖2中箭頭I的方向)，當(dāng)移動臺700裝載晶圓以后，可以上下移動以將容置部600中的晶圓運出，并可以轉(zhuǎn)動至容置單元200所在的一側(cè)以放置運出的晶圓。
[0028]移動臺700 —般是通過一個晶圓盒(cassette)將容置部600中的晶圓運送至容置單元200，所述晶圓盒停留在容置單元200中后再由抓手300依次將晶圓盒中的晶圓轉(zhuǎn)至晶舟100中，因此每次當(dāng)晶圓盒中的晶圓被完全轉(zhuǎn)至晶舟100以后，移動臺700需將空的晶圓盒傳回至容置部600。
[0029]為了通過上述晶圓運送系統(tǒng)達(dá)到處理晶圓的目的，本實用新型還提供一種晶圓處理系統(tǒng)，如圖3所示，即在上述晶圓運送系統(tǒng)的基礎(chǔ)上增加處理單元800。此時晶舟100用于將晶圓送入及送出所述處理單元800以進(jìn)行整批次(batch)的晶圓處理。
[0030]具體的處理單元800為爐管(furnace)，因此處理的過程為爐管處理制程。優(yōu)選方案中，所述晶舟100設(shè)置于所述處理單元800的下方，通過晶舟100的上下移動將晶圓送入及送出所述處理單元800，如圖3中箭頭3所示。
[0031]下面詳細(xì)描述本實用新型所述晶圓處理系統(tǒng)的工作過程，在此實施例中晶舟100的容量為150片晶圓(即一個batch的晶圓數(shù)量)，所述容置單元200的容量為25片晶圓(即晶圓盒的容量)，所述緩沖單元400的容量為5片晶圓，抓手的容量為5片晶圓。但本實用新型不以此為限。
[0032]當(dāng)A batch的晶圓經(jīng)過處理單元800整體處理的制程完畢等待卸貨的時候，下一批待處理的晶圓(B batch)的一個晶圓盒(cassette)會被傳送到容置單元200，此晶圓盒中裝載的是B batch中的一部分晶圓(25片)。然后，抓手300抓取此晶圓盒中的5片晶圓傳送至緩沖單元400，然后容置單元200中即出現(xiàn)了空余5片晶圓的空間，然后抓手300即可把晶舟100上面的5片晶圓傳送至容置單元200上的空余空間，接著抓手300再將容置單元200上的另5片B batch的晶圓傳送到晶舟100，以此類推，當(dāng)?shù)谝粋€晶圓盒中的25片晶圓分5此完全轉(zhuǎn)至晶舟100上以后，再由移動臺700將B batch中的下一批25片晶圓送至容置單元200并繼續(xù)進(jìn)行上述過程。如此，即可實現(xiàn)處理完的晶圓與未處理的晶圓直接進(jìn)行交換，直至晶舟100上完全堆滿未處理(B batch)的晶圓。這樣可以保證抓手300傳送的時候一直有晶圓，不會出現(xiàn)空載的情況，提高了效率。
[0033]按照上述的傳送方式，假設(shè)容置部600運送至容置單元200的時間為tl，容置單元200運送至晶舟100的時間為t2，容置單元200轉(zhuǎn)移到緩沖單元400的時間為t3。則單批次中一個晶圓盒中晶圓的處理時間是2tl+5t2 ;而從晶舟100上面完全卸貨的過程如上，其時間為2tl+6t2+2t3，采用本實用新型的晶圓處理系統(tǒng)時，這段時間內(nèi)A batch單個晶圓盒完成了卸貨，B batch單個晶圓盒完成了裝貨；另外B batch單個晶圓盒的卸貨時間也為2tl+5t2o這樣單個晶圓盒總的時間為6tl+16t2+2t3，一個批次150片需要6次晶圓盒裝載，因此時間為36tl+96t2+12t3。
[0034]若采用現(xiàn)有技術(shù)中的晶圓處理系統(tǒng)，則同理一個批次150片需要6次晶圓盒裝載，一批次6個晶圓盒總時間為12tl+30t2，處理完運回容置部600同樣需要這么多時間，則單批次晶圓處理的總運輸時間為24tl+60t2。由于不存在緩沖單元400，因此抓手300沒有同時運送A batch和B batch兩批次晶圓的過程。這樣一來A batch和B batch兩批次晶圓的處理時的總運輸時間為單批次的兩倍，即48tl+120t2。
[0035]綜上所述，采用本實用新型的晶圓處理系統(tǒng)實現(xiàn)傳輸，則可以比原來節(jié)省12tl+24t2-12t3的時間，這種貢獻(xiàn)對于一個滿產(chǎn)能的FAB來說效率可以提升5%以上。
[0036]本實用新型的晶圓處理系統(tǒng)增加上述緩沖單元400以后，抓手300在左右兩側(cè)的晶舟100和容置單元200之間運送晶圓的過程中，當(dāng)容置單元200和晶舟100均滿載時，緩沖單元400可以臨時存放從某側(cè)抓取的晶圓，為抓手300在容置單元200和晶舟100之間的來回抓取騰出周轉(zhuǎn)空間。如此一來，大大減少了抓手300的空載次數(shù)，也使得兩批batch同時進(jìn)行運送成為可能，節(jié)省程序的同時提高了爐管的產(chǎn)能。
[0037]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對實用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包括這些改動和變型在內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種晶圓運送系統(tǒng)，其特征在于，包括晶舟、容置單元、抓手以及緩沖單元； 其中，所述抓手設(shè)置于所述晶舟與所述容置單元之間，用于在所述晶舟與所述容置單元之間來回抓取并存放晶圓；當(dāng)所述容置單元與所述晶舟均滿載時，所述緩沖單元用于暫時存放所述抓手從所述晶舟或所述容置單元抓取的晶圓，以給所述抓手騰出來回抓取并存放晶圓的空間。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓運送系統(tǒng)，其特征在于，所述緩沖單元與所述容置單元設(shè)置于同一垂直線上。
3.如權(quán)利要求1所述的晶圓運送系統(tǒng)，其特征在于，所述緩沖單元的容量等于所述抓手單次運送的晶圓數(shù)量。
4.如權(quán)利要求1所述的晶圓運送系統(tǒng)，其特征在于，所述晶圓運送系統(tǒng)還包括承載部，所述抓手可轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述承載部上。
5.如權(quán)利要求1所述的晶圓運送系統(tǒng)，其特征在于，所述晶舟的容量大于所述容置單元的容量，所述容置單元的容量大于所述緩沖單元的容量。
6.如權(quán)利要求5所述的晶圓運送系統(tǒng)，其特征在于，所述晶舟的容量為150片晶圓，所述容置單元的容量為25片晶圓，所述緩沖單元的容量為5片晶圓。
7.如權(quán)利要求1所述的晶圓運送系統(tǒng)，其特征在于，所述晶圓運送系統(tǒng)還包括容置部和移動臺，所述移動臺用于從所述容置部運送晶圓至所述容置單元，所述容置部的容量大于所述容置單元的容量。
8.—種晶圓處理系統(tǒng)，其特征在于，包括處理單元、晶舟、容置單元、抓手以及緩沖單元，其中，所述晶舟用于將晶圓送入及送出所述處理單元；所述抓手設(shè)置于所述晶舟與所述容置單元之間，用于在所述晶舟與所述容置單元之間來回抓取并存放晶圓；當(dāng)所述容置單元與所述晶舟均滿載時，所述緩沖單元用于暫時存放所述抓手從所述晶舟或所述容置單元運送的晶圓，以給所述抓手騰出來回抓取并存放晶圓的空間。
9.如權(quán)利要求8所述的晶圓處理系統(tǒng)，其特征在于，所述處理單元為爐管。
10.如權(quán)利要求8所述的晶圓處理系統(tǒng)，其特征在于，所述晶舟設(shè)置于所述處理單元的下方，通過上下移動的方式將晶圓送入及送出所述處理單元。
【專利摘要】本實用新型提供一種晶圓運送系統(tǒng)，包括晶舟、容置單元、抓手以及緩沖單元。在左右兩側(cè)的晶舟和容置單元之間運送晶圓的過程中，抓手可以通過緩沖單元臨時存放從某側(cè)抓取的晶圓，為抓手在容置單元和晶舟之間的來回抓取騰出周轉(zhuǎn)空間。本實用新型還提供一種晶圓處理系統(tǒng)，由上述晶圓運送系統(tǒng)和一個處理單元構(gòu)成，由于晶圓運送系統(tǒng)大大減少了抓手的空載次數(shù)，也使得兩批晶圓同時進(jìn)行運送成為可能，使得晶圓處理系統(tǒng)節(jié)省程序的同時提高了爐管的產(chǎn)能。
【IPC分類】H01L21-67, H01L21-677
【公開號】CN204303786
【申請?zhí)枴緾N201520026633
【發(fā)明人】沈建飛
【申請人】中芯國際集成電路制造(北京)有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2015年1月14日