一種晶圓盒運(yùn)送系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，涉及一種晶圓盒運(yùn)送系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)今的半導(dǎo)體制造工藝中，晶圓從生產(chǎn)制造到運(yùn)送，都需要在密閉無塵條件下進(jìn)行。相比于傳統(tǒng)的將生產(chǎn)設(shè)備設(shè)置潔凈室內(nèi)的晶圓生產(chǎn)方式，新的晶圓隔離技術(shù)則是將潔凈室直接設(shè)置于生產(chǎn)設(shè)備中。晶圓隔離技術(shù)又稱為標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面(Standard MechanicalInterface，SMIF)，SMIF被集成到半導(dǎo)體設(shè)備中。在半導(dǎo)體制造工藝中，SMIF作為一個界面接口，在該界面接口中，晶圓被裝進(jìn)晶圓盒；接著將晶圓盒裝載并封閉在SMIF，SMIF為晶圓提供一個極端潔凈的凈化級別的微環(huán)境。后續(xù)，裝有晶圓的晶圓盒會被運(yùn)輸至相應(yīng)的半導(dǎo)體設(shè)備，以完成相應(yīng)制程，之后再被運(yùn)輸至SMIF中存儲起來。
[0003]在半導(dǎo)體制造業(yè)中能自動對于移動部件進(jìn)行清理的零件(part)并不多，而且大都結(jié)構(gòu)復(fù)雜。
[0004]如圖1所示，顯示為現(xiàn)有技術(shù)中一種晶圓盒取放裝置101，其通過一對機(jī)械手拿取晶圓盒102。如圖2所示，顯示為半導(dǎo)體工廠(Fab)里常見的一種自動運(yùn)送晶圓盒(Pod)的小車103，這些小車每天承擔(dān)著相當(dāng)大的晶圓盒搬送任務(wù)。當(dāng)所述小車103隨傳送裝置運(yùn)動并經(jīng)過所述晶圓盒取放裝置101時，所述晶圓盒取放裝置101將晶圓盒放置于所述小車103上，或?qū)⑺鼍A盒從所述小車上取走。所述傳送裝置可以是傳送帶或軌道。所述小車103上有兩個感應(yīng)傳感器104，是用來確定晶圓盒是否放置正確的，但這兩個傳感器時常會被顆粒(particle)所遮擋，從而引起誤報警。而小車的位置都是在離地面3米左右，所以每次處理這樣的警報(alarm)都需要搬梯子，并且因為是高空作業(yè)，所以是需要兩個人協(xié)同處理，這樣一來很是費(fèi)時費(fèi)力。
[0005]因此，提供一種晶圓盒運(yùn)送系統(tǒng)，以減少信息誤報的情況，減少當(dāng)機(jī)(Down機(jī))時間，提升晶圓盒運(yùn)送小車的使用效率，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個重要技術(shù)問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本實用新型的目的在于提供一種晶圓盒運(yùn)送系統(tǒng)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中晶圓盒運(yùn)送小車上的傳感器時常會被污染顆粒所遮擋，從而引起誤報警的問題。
[0007]為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種晶圓盒運(yùn)送系統(tǒng)，包括:
[0008]晶圓盒搬運(yùn)車，用于裝載并運(yùn)輸晶圓盒；所述晶圓盒搬運(yùn)車上設(shè)有至少一個用于檢測晶圓盒位置的傳感器；
[0009]搬運(yùn)車傳送裝置，用于承載所述晶圓盒搬運(yùn)車，并將所述晶圓盒搬運(yùn)車傳送至預(yù)設(shè)區(qū)域；
[0010]晶圓盒取放裝置，所述晶圓盒取放裝置包括一對機(jī)械手，用于將晶圓盒放入或取出所述晶圓盒搬運(yùn)車；
[0011]其中:
[0012]所述機(jī)械手連接有用于清洗所述傳感器所在區(qū)域的顆粒清除裝置。
[0013]可選地，所述顆粒清除裝置包括調(diào)節(jié)桿、吸塵部及真空氣路；所述調(diào)節(jié)桿連接于所述機(jī)械手，用于調(diào)節(jié)所述顆粒清除裝置的位置；所述吸塵部與所述調(diào)節(jié)桿連接；所述真空氣路與所述吸塵部連接。
[0014]可選地，所述吸塵部包括入塵口，所述入塵口端部設(shè)有毛刷。
[0015]可選地，所述入塵口端部為喇叭形。
[0016]可選地，所述吸塵部內(nèi)側(cè)壁設(shè)有若干凸起部。
[0017]可選地，所述凸起部為直線條狀或曲線條狀。
[0018]可選地，各凸起部之間平行排列或交錯排列。
[0019]可選地，所述吸塵部還包括一過濾罩。
[0020]可選地，所述吸塵部內(nèi)部還設(shè)有用于感應(yīng)所述吸塵部內(nèi)部積塵程度的重物感應(yīng)裝置。
[0021]可選地，所述重物感應(yīng)裝置包括與所述吸塵部內(nèi)側(cè)壁連接的側(cè)墻，所述側(cè)墻圍成一容置空間，該容置空間內(nèi)設(shè)有一感應(yīng)游絲彈簧，所述感應(yīng)游絲彈簧一端與所述側(cè)墻連接，另一端與一感應(yīng)觸頭連接；所述側(cè)墻上設(shè)有一可容許所述感應(yīng)觸頭進(jìn)出的開口。
[0022]可選地，所述顆粒清除裝置連接于所述機(jī)械手外側(cè)。
[0023]如上所述，本實用新型的晶圓盒運(yùn)送系統(tǒng)，具有以下有益效果:本實用新型的晶圓盒運(yùn)送系統(tǒng)中，晶圓盒取放裝置的機(jī)械手上連接有顆粒清除裝置，在機(jī)械手移動的過程中，晶圓盒搬運(yùn)車上的傳感器所在區(qū)域的顆?？梢员挥行宄瑥亩鴾p少了信息誤報的情況，減少當(dāng)機(jī)(Down機(jī))時間，使得晶圓盒運(yùn)送小車的使用效率得到提升。使用過程中，可以根據(jù)需要，通過對機(jī)臺的設(shè)定，設(shè)計兩種運(yùn)行模式，一種為自動(auto)的常開模式，一種為手動(manual)的遇上報警(alarm)才進(jìn)行顆粒清除的模式。通過修改機(jī)臺感應(yīng)程序的設(shè)定，在傳感器第一次探測到有異常之后，機(jī)臺設(shè)定先觸發(fā)所述顆粒清除裝置對傳感器所在區(qū)域進(jìn)行顆粒清除，在完成顆粒清楚后30s?2min之后，再一次通過傳感器進(jìn)行判定，如果沒有報警，說明顆粒清除裝置實現(xiàn)了顆粒清除功能，如果反饋結(jié)果還是失敗(failure)，則請工程師做進(jìn)一步的工程判斷，從而充分、靈活發(fā)揮所述顆粒清除裝置的作用，提高生產(chǎn)效率。
【附圖說明】
[0024]圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中一種晶圓盒取放裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]圖2顯示為一現(xiàn)有技術(shù)中一種自動運(yùn)送晶圓盒的小車結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖3顯不為本實用新型的晶圓盒運(yùn)送系統(tǒng)的不意圖。
[0027]圖4顯示為顆粒清除裝置的放大結(jié)構(gòu)示意圖。
[0028]圖5顯示為吸塵部的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。
[0029]元件標(biāo)號說明
[0030]101，204晶圓盒取放裝置
[0031]102晶圓盒
[0032]103小車
[0033]104，202傳感器
[0034]201晶圓盒搬運(yùn)車
[0035]203搬運(yùn)車傳送裝置
[0036]2041機(jī)械手
[0037]205顆粒清除裝置
[0038]2051調(diào)節(jié)桿
[0039]2052吸塵部
[0040]2053入塵口
[0041]2054毛刷
[0042]2055凸起部
[0043]2056過濾罩
[0044]2057側(cè)墻
[0045]2058感應(yīng)游絲彈簧
[0046]2059感應(yīng)觸頭
【具體實施方式】
[0047]以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點及功效。
[0048]請參閱圖3至圖5。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術(shù)上的實質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實用新型可實施的范疇。
[0049]本實用新型提供一種晶圓盒運(yùn)送系統(tǒng)，請參閱圖3，顯示為該晶圓盒運(yùn)送系統(tǒng)的示意圖，包括:晶圓盒搬運(yùn)車201、搬運(yùn)車傳送裝置203及晶圓盒取放裝置204。
[0050]具體的，所述晶圓盒搬運(yùn)車201用于裝載并運(yùn)輸晶圓盒。作為示例，所述晶圓盒搬運(yùn)車201包括底部及環(huán)繞所述底部周圍的側(cè)墻，所述晶圓盒搬運(yùn)車頂部開口，所述側(cè)墻根據(jù)晶圓盒的大致尺寸在不同位置高度不一致，以方便晶圓盒的進(jìn)出。此處僅為示例，在其它實施例中，所述晶圓盒搬運(yùn)車201也可以為其它構(gòu)造，只要能夠滿足裝載晶圓盒的目的即可。
[0051]具體的，所述晶圓盒搬運(yùn)車201上設(shè)有至少一個用于檢測晶圓盒位置的傳感器202。本實施例中，所述傳感器202的數(shù)目以兩個為例，分別位于所述晶圓盒搬運(yùn)車的內(nèi)底面上，并位于晶圓盒標(biāo)準(zhǔn)放置位置的一條對角線的兩端。在其它實施例中，所述傳感器的數(shù)目和位置可根據(jù)實際需要進(jìn)行調(diào)整。
[0052]具體的，所述搬運(yùn)車傳送裝置203用于承載所述晶圓盒搬運(yùn)車201，并將所述晶圓盒搬運(yùn)車201傳送至預(yù)設(shè)區(qū)域。作為示例，所述搬運(yùn)車傳送裝置203為軌道式，所述晶圓盒搬運(yùn)車201放置于兩條軌道之間的承載臺上。
[0053]具體的，所述晶圓盒取放裝置204包括一對機(jī)械手2041，用于將晶圓盒放入或取出所述晶圓盒搬運(yùn)車201。所述機(jī)械手2041可在所述晶圓盒取放裝置204的電機(jī)控制下前后左右移動及旋轉(zhuǎn)，該技術(shù)在現(xiàn)有技術(shù)中已非常成熟，此處不再贅述。
[0054]特別的，本實用新型中，所述晶圓