改進的移載機構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型系有關(guān)于一種改進的移載機構(gòu)，尤指一種可藉由Z軸機構(gòu)、固定板及線性馬達的組合設(shè)計，讓線性馬達的動子能隨著Z軸機構(gòu)沿著固定板進行上下動作時同時進行Y軸方向動作，進而具有大幅提升Y軸移動速度及收斂性等效果，而適用于精密晶圓作業(yè)機臺、半導(dǎo)體芯片搬運作業(yè)機臺或類似的結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]由于科技產(chǎn)品日新月異的發(fā)展下，其科技產(chǎn)品也開始進行功能整合，而使得科技產(chǎn)品中所需求的半導(dǎo)體芯片或晶圓也越來越精密化。
[0003]在半導(dǎo)體芯片或晶圓制作過程中，大都仰賴移載機構(gòu)來將半導(dǎo)體芯片或晶圓進行動作移轉(zhuǎn)。而習知的移載機構(gòu)，如圖1所示，在線性馬達A((定子Al及動子A2))的應(yīng)用上，其線性馬達A的動子A2是與Z軸機構(gòu)B的固定背板BI連接，而Z軸機構(gòu)B的固定背板BI再與Z軸機構(gòu)B連接，使線性馬達A的動子A2在動作時須背負著Z軸機構(gòu)B —起動作((如虛線框所示))，因此對習知的線性馬達A ((定子Al及動子A2))來說，其線性馬達A的動子A2在其負載上就會變得比較吃重，且容易造成動力源C需使用較大顆的馬達(圖未示)才能帶動，并在短程動作時，因瞬間速度要求較極速，而有其收斂性較不優(yōu)的現(xiàn)象。
[0004]因此，本發(fā)明人有鑒于上述缺失，期能提出一種能改善線性馬達負載重量的移載機構(gòu)，令使用者可輕易操作組裝，乃潛心研思、設(shè)計組制，以提供使用者便利性，為本發(fā)明人所欲研創(chuàng)的本實用新型的動機。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型的目的即在于提供一種改進的移載機構(gòu)，藉此，以能大幅提升Y軸移動速度及收斂性。
[0006]為了達到上述目的，本實用新型的技術(shù)方案為:一種改進的移載機構(gòu)，系包括有Z軸機構(gòu)、固定板及線性馬達，其中該線性馬達系由定子及動子所組成，而該線性馬達的定子系與固定板結(jié)合固定，其特點是，該Z軸機構(gòu)與固定板之間系活動設(shè)置有直立式滑軌組，而該Z軸機構(gòu)另一側(cè)系與線性馬達的動子之間活動設(shè)置有橫向式滑軌組，當Z軸機構(gòu)沿著固定板進行上下動作，其線性馬達的動子能同時沿著Z軸機構(gòu)進行Y軸方向的動作。
[0007]該Z軸機構(gòu)系進一步與Z軸動力馬達連接，而該Z軸動力馬達系進一步外設(shè)于X軸機臺上，且該X軸機臺系與固定板連接，當Z軸機構(gòu)沿著固定板來進行上下動作，其Z軸動力馬達不須跟著Z軸機構(gòu)來上下動作。
[0008]該X軸機臺上系進一步設(shè)有X軸動力馬達，而該X軸機臺下方系進一步活動設(shè)置有滑軌組，且該X軸動力馬達系與X軸機臺連接，使X軸動力馬達能輸出動力供X軸機臺沿著滑軌組來進行前后位移動作。
[0009]該線性馬達的定子內(nèi)系進一步設(shè)有槽道，而該線性馬達的動子系動作于線性馬達的定子內(nèi)的槽道中，且槽道內(nèi)的深度系大于或等于Z軸機構(gòu)與固定板之間活動設(shè)置的直立式滑軌組的長度。
[0010]該線性馬達的動子上端內(nèi)部系進一步設(shè)有線圈，而線性馬達的定子系為磁性體，以能產(chǎn)生磁性傳動。
[0011]該直立式滑軌組與橫向滑軌組內(nèi)系進一步各設(shè)有軌道及槽軌，而該槽軌系嵌合于軌道上，以能進行來回移動。
[0012]該滑軌組內(nèi)系進一步設(shè)有軌道及槽軌，而該槽軌系嵌合于軌道上，以能進行來回移動。
[0013]本實用新型具有以下有益技術(shù)效果:
[0014]1、藉由通過Z軸機構(gòu)、固定板及線性馬達的組合設(shè)計，讓線性馬達的定子能固定不動，且該線性馬達的動子能不用再背負著Z軸機構(gòu)動作，而讓線性馬達的動子能隨著Z軸機構(gòu)沿著固定板進行上下動作時同時進行Y軸方向動作，藉此，以能具有大幅提升Y軸移動速度及收斂性等效果，進而增加整體的實用性及便利性。
[0015]2、藉由線性馬達的定子內(nèi)系設(shè)有槽道，而該線性馬達的動子系動作于線性馬達的定子內(nèi)的槽道中，且槽道內(nèi)的深度系大于或等于Z軸機構(gòu)與固定板之間活動設(shè)置的直立式滑軌組的長度，使線性馬達的動子上端內(nèi)部的線圈在隨著Z軸機構(gòu)上下動作時皆能維持位于線性馬達的定子內(nèi)的槽道中，讓線性馬達的動子能具有提升負載的效能，而增加整體的實用性及便利性。
【附圖說明】
[0016]圖1系為本實用新型習知技術(shù)的線性馬達作動示意圖。
[0017]圖2系為本實用新型實施例的線性馬達動作示意圖。
[0018]圖3系為本實用新型實施例的立體外觀示意圖。
[0019]圖4系為本實用新型實施例的側(cè)面外觀示意圖。
[0020]圖5系為本實用新型實施例的Z軸機構(gòu)與線性馬達組合連接示意圖。
[0021]符號說明
[0022]A、線性馬達
[0023]Al、定子
[0024]A2、動子
[0025]B、Z軸機構(gòu)
[0026]B1、固定背板
[0027]C、動力源
[0028]10、Z 軸機構(gòu)
[0029]11、動力源
[0030]111、Z軸動力馬達
[0031]20、固定板
[0032]30、線性馬達
[0033]31、定子
[0034]311、槽道
[0035]32、動子
[0036]40、直立式滑軌組
[0037]50、X 軸機臺
[0038]51、置放平臺
[0039]52、X軸動力馬達
[0040]60、滑軌組
[0041]70、橫向式滑軌組
【具體實施方式】
[0042]為了能夠更進一步了解本實用新型的特征、特點和技術(shù)內(nèi)容，請參閱以下有關(guān)本實用新型的詳細說明與附圖，然而所附圖式僅提供參考與說明用，非用以限制本實用新型。
[0043]請參閱圖2?圖5，系為本實用新型實施例的示意圖，而本實用新型的改進的移載機構(gòu)的最佳實施方式系運用于精密晶圓作業(yè)機臺或半導(dǎo)體芯片搬運作業(yè)機臺上。且本實用新型是一種改進的移載機構(gòu)，系包括有Z軸機構(gòu)10、固定板20及線性馬達30(如圖2所示)，其中該線性馬達30系由定子31及動子32所組成，而線性馬達30的定子31系為磁性體，且線性馬達30的定子31內(nèi)系設(shè)有槽道311，另線性馬達30的動子32上端內(nèi)部則設(shè)有線圈(圖未示)，且線性馬達30的動子32系動作于線性馬達30的定子31內(nèi)的槽道311中，通過磁性傳動原理讓線性馬達30