的控制性的提高。
[0095]接著，對(duì)本實(shí)施方式的膜厚信號(hào)處理方法進(jìn)行說明。圖10是本實(shí)施方式的膜厚信號(hào)處理方法的流程圖。首先，接收部232接收從沿著研磨面對(duì)研磨對(duì)象物102的膜厚進(jìn)行檢測的渦流傳感器210輸出的膜厚數(shù)據(jù)(步驟S201)。
[0096]接著，確定部236根據(jù)由接收部232接收的膜厚數(shù)據(jù)，對(duì)膜厚數(shù)據(jù)的有效范圍進(jìn)行確定(步驟S202)。如上所述，確定部236可以根據(jù)由運(yùn)算部234求得的邊緣部，來對(duì)膜厚數(shù)據(jù)的有效范圍進(jìn)行確定。又，確定部236可以將由運(yùn)算部234生成的邊緣檢測用波形上出現(xiàn)的2個(gè)峰值之間的范圍確定為有效范圍。此外，確定部236可以通過上述各種各樣的方式對(duì)膜厚數(shù)據(jù)的有效范圍進(jìn)行確定。
[0097]接著，補(bǔ)正部238對(duì)由確定部236確定的有效范圍內(nèi)的膜厚數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)正(步驟S203) ο補(bǔ)正部238可以通過上述各種各樣的方式對(duì)膜厚數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)正。例如，補(bǔ)正部238可以對(duì)由確定部236確定的有效范圍內(nèi)的膜厚數(shù)據(jù)中的、與膜厚相關(guān)的強(qiáng)度未達(dá)到基準(zhǔn)強(qiáng)度的膜厚數(shù)據(jù)，進(jìn)行補(bǔ)正，以使該膜厚數(shù)據(jù)的強(qiáng)度符合基準(zhǔn)強(qiáng)度，或者，通過將該膜厚數(shù)據(jù)的強(qiáng)度乘以大于I的規(guī)定倍率來進(jìn)行補(bǔ)正。
[0098]根據(jù)本實(shí)施方式的膜厚信號(hào)處理方法，能夠?qū)⒛ず駭?shù)據(jù)的坍肩部分補(bǔ)正為可用于研磨終點(diǎn)的檢測的膜厚數(shù)據(jù)。其結(jié)果，根據(jù)本實(shí)施方式的膜厚信號(hào)處理方法，因?yàn)槟軌蛟谘心?duì)象物的邊緣部分對(duì)膜厚進(jìn)行高精度地檢測，所以能夠擴(kuò)大傳感器輸出的有效范圍，提高研磨對(duì)象物的面內(nèi)均勻性。
[0099]接著，對(duì)本實(shí)施方式的研磨方法進(jìn)行說明。圖11是本實(shí)施方式的研磨方法的流程圖。
[0100]因?yàn)閳D11中的步驟S301?S303與圖10中的步驟S201?S203相同，所以詳細(xì)的說明予以省略。
[0101]步驟S303之后，膜厚信號(hào)處理裝置230或研磨裝置控制部140根據(jù)由補(bǔ)正部238補(bǔ)正了的膜厚數(shù)據(jù)對(duì)研磨對(duì)象物102的按壓力進(jìn)行控制(步驟S304)。如上所述，膜厚信號(hào)處理裝置230或研磨裝置控制部140確定頂環(huán)116對(duì)研磨對(duì)象物102的按壓力，并向未圖示的壓力調(diào)整部發(fā)出指令，以更改頂環(huán)116對(duì)研磨對(duì)象物102的按壓力。對(duì)研磨對(duì)象物102進(jìn)行按壓力控制的細(xì)節(jié)如圖9所示。
[0102]根據(jù)本實(shí)施方式的研磨方法，因?yàn)閷?duì)由渦流傳感器210檢測出的膜厚數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)正，所以擴(kuò)大了渦流傳感器210輸出的有效范圍。其結(jié)果，根據(jù)本實(shí)施方式的研磨方法，能夠增加研磨對(duì)象物102的每個(gè)區(qū)域的測定點(diǎn)，謀求研磨的控制性的提高。
[0103]符號(hào)說明
[0104]100研磨裝置
[0105]102研磨對(duì)象物
[0106]108研磨墊
[0107]110研磨臺(tái)
[0108]112電動(dòng)馬達(dá)(驅(qū)動(dòng)部)
[0109]116頂環(huán)(保持部)
[0110]140研磨裝置控制部
[0111]210渦流傳感器(膜厚傳感器)
[0112]220觸發(fā)傳感器
[0113]222靠近傳感器
[0114]224 擋塊
[0115]230膜厚信號(hào)處理裝置
[0116]232接收部
[0117]234運(yùn)算部
[0118]236確定部
[0119]238補(bǔ)正部
[0120]240終點(diǎn)檢測器
[0121]310膜厚數(shù)據(jù)
[0122]320邊緣檢測用波形
[0123]322 峰值
[0124]330有效范圍
[0125]340補(bǔ)正區(qū)域
[0126]350基準(zhǔn)的膜厚數(shù)據(jù)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種膜厚信號(hào)處理裝置，其特征在于，包括: 接收部，其接收從沿著研磨面對(duì)研磨對(duì)象物的膜厚進(jìn)行檢測的膜厚傳感器輸出的膜厚數(shù)據(jù)； 確定部，其基于由所述接收部接收的膜厚數(shù)據(jù)，對(duì)所述膜厚數(shù)據(jù)的有效范圍進(jìn)行確定；以及 補(bǔ)正部，其對(duì)由所述確定部確定的有效范圍內(nèi)的所述膜厚數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)正。2.一種膜厚信號(hào)處理裝置，其特征在于，包括: 接收部，其接收從沿著研磨面對(duì)研磨對(duì)象物的膜厚進(jìn)行檢測的膜厚傳感器輸出的膜厚數(shù)據(jù)； 運(yùn)算部，其基于由所述接收部接收的膜厚數(shù)據(jù)的相鄰的多個(gè)點(diǎn)的膜厚的差分，來求出所述膜厚數(shù)據(jù)的有效范圍的邊緣部；以及 確定部，其基于由所述運(yùn)算部求得的邊緣部，來對(duì)所述膜厚數(shù)據(jù)的有效范圍進(jìn)行確定。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜厚信號(hào)處理裝置，其特征在于， 還包括運(yùn)算部，其基于由所述接收部接收的膜厚數(shù)據(jù)的相鄰的多個(gè)點(diǎn)的膜厚的差分，來求出所述膜厚數(shù)據(jù)的有效范圍的邊緣部； 所述確定部基于由所述運(yùn)算部求得的邊緣部，來對(duì)所述膜厚數(shù)據(jù)的有效范圍進(jìn)行確定。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的膜厚信號(hào)處理裝置，其特征在于， 還包括補(bǔ)正部，其對(duì)由所述確定部確定的有效范圍內(nèi)的所述膜厚數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)正。5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的膜厚信號(hào)處理裝置，其特征在于， 所述運(yùn)算部通過將由所述接收部接收的膜厚數(shù)據(jù)的相鄰的多個(gè)點(diǎn)的膜厚的差分相乘，來生成邊緣檢測用波形， 所述確定部將由所述運(yùn)算部生成的邊緣檢測用波形中出現(xiàn)的2個(gè)峰值之間的范圍確定為所述有效范圍。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的膜厚信號(hào)處理裝置，其特征在于， 所述確定部將以由所述運(yùn)算部生成的邊緣檢測用波形中出現(xiàn)的2個(gè)峰值為起點(diǎn)相互靠近的方向上前進(jìn)了規(guī)定的距離的范圍確定為規(guī)定的處理用的區(qū)域。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的膜厚信號(hào)處理裝置，其特征在于， 所述確定部將以由所述運(yùn)算部生成的邊緣檢測用波形中出現(xiàn)的2個(gè)峰值為起點(diǎn)相互靠近的方向上前進(jìn)了規(guī)定的距離的范圍確定為對(duì)所述膜厚數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)正的補(bǔ)正區(qū)域。8.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的膜厚信號(hào)處理裝置，其特征在于， 所述補(bǔ)正部對(duì)于所述有效范圍內(nèi)的所述膜厚數(shù)據(jù)中，與膜厚相關(guān)的強(qiáng)度未達(dá)到基準(zhǔn)強(qiáng)度的膜厚數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)正，以使該膜厚數(shù)據(jù)的強(qiáng)度符合所述基準(zhǔn)強(qiáng)度，或者，將大于I的規(guī)定倍率乘以該膜厚數(shù)據(jù)的強(qiáng)度來進(jìn)行補(bǔ)正。9.根據(jù)權(quán)利要求1?8中的任一項(xiàng)所述的膜厚信號(hào)處理裝置，其特征在于， 所述膜厚傳感器沿著研磨面對(duì)所述研磨對(duì)象物的膜厚進(jìn)行多次檢測， 每當(dāng)所述接收部接收到所述膜厚數(shù)據(jù)，所述確定部就基于所接收的膜厚數(shù)據(jù)，對(duì)所述膜厚數(shù)據(jù)的有效范圍進(jìn)行確定。10.根據(jù)權(quán)利要求1?8中的任一項(xiàng)所述的膜厚信號(hào)處理裝置，其特征在于， 所述膜厚傳感器沿著研磨面對(duì)所述研磨對(duì)象物的膜厚進(jìn)行多次檢測， 所述確定部基于由所述接收部接收的基準(zhǔn)的膜厚數(shù)據(jù)，對(duì)所述膜厚數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)的有效范圍進(jìn)行確定，將該確定的基準(zhǔn)的有效范圍確定為相對(duì)于所述多個(gè)膜厚數(shù)據(jù)的有效范圍。11.一種研磨裝置，其特征在于，包括: 研磨臺(tái)，其粘貼有用于對(duì)研磨對(duì)象物進(jìn)行研磨的研磨墊； 驅(qū)動(dòng)部，其對(duì)所述研磨臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)； 保持部，其對(duì)所述研磨對(duì)象物進(jìn)行保持并將所述研磨對(duì)象物按壓在所述研磨墊上；膜厚傳感器，其被配置在所述研磨臺(tái)上所形成的孔中，伴隨所述研磨臺(tái)的旋轉(zhuǎn)而沿著研磨面對(duì)所述研磨對(duì)象物的膜厚進(jìn)行檢測；以及 權(quán)利要求1?10中的任一項(xiàng)所述的膜厚信號(hào)處理裝置。12.根據(jù)權(quán)利要求11的研磨裝置，其特征在于，包括: 研磨裝置控制部，其基于由所述膜厚信號(hào)處理裝置的所述補(bǔ)正部補(bǔ)正的所述膜厚數(shù)據(jù)，對(duì)所述研磨對(duì)象物的按壓力進(jìn)行控制。13.根據(jù)權(quán)利要求12的研磨裝置，其特征在于， 所述研磨裝置控制部基于由所述膜厚信號(hào)處理裝置的所述補(bǔ)正部補(bǔ)正了的所述膜厚數(shù)據(jù)，對(duì)所述研磨對(duì)象物的多個(gè)區(qū)域的按壓力進(jìn)行獨(dú)立的控制。14.一種膜厚信號(hào)處理方法，其特征在于，包括以下步驟: 接收由沿著研磨面對(duì)研磨對(duì)象物的膜厚進(jìn)行檢測的膜厚傳感器輸出的膜厚數(shù)據(jù)； 基于所述接收的膜厚數(shù)據(jù)，對(duì)所述膜厚數(shù)據(jù)的有效范圍進(jìn)行確定；以及對(duì)于所述確定的有效范圍內(nèi)的所述膜厚數(shù)據(jù)中，與膜厚相關(guān)的強(qiáng)度未達(dá)到基準(zhǔn)強(qiáng)度的膜厚數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)正，以使該膜厚數(shù)據(jù)的強(qiáng)度符合所述基準(zhǔn)強(qiáng)度，或者，通過將大于1的規(guī)定倍率乘以該膜厚數(shù)據(jù)的強(qiáng)度來進(jìn)行補(bǔ)正。15.一種研磨方法，其特征在于，包括以下步驟: 接收由沿著研磨面對(duì)研磨對(duì)象物的膜厚進(jìn)行檢測的膜厚傳感器輸出的膜厚數(shù)據(jù)； 基于所述接收的膜厚數(shù)據(jù)，對(duì)所述膜厚數(shù)據(jù)的有效范圍進(jìn)行確定； 對(duì)所述確定的有效范圍內(nèi)的所述膜厚數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)正；以及 基于所述補(bǔ)正的膜厚數(shù)據(jù)，對(duì)所述研磨對(duì)象物的按壓力進(jìn)行控制。
【專利摘要】提供一種提高膜厚的檢測精度的膜厚信號(hào)處理裝置、研磨裝置、膜厚信號(hào)處理方法、及研磨方法，該膜厚信號(hào)處理裝置(230)包括：接收部(232)，其接收由沿著研磨面對(duì)研磨對(duì)象物(102)的膜厚進(jìn)行檢測的渦流傳感器(210)輸出的膜厚數(shù)據(jù)；確定部(236)，其基于由接收部(232)接收的膜厚數(shù)據(jù)，對(duì)膜厚數(shù)據(jù)的有效范圍進(jìn)行確定；補(bǔ)正部(238)，其對(duì)由確定部(236)確定的有效范圍內(nèi)的膜厚數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)正。
【IPC分類】H01L21/67, B24B37/013, H01L21/304
【公開號(hào)】CN105428229
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510593490
【發(fā)明人】高橋太郎, 中尾秀高, 中村顯
【申請(qǐng)人】株式會(huì)社荏原制作所
【公開日】2016年3月23日
【申請(qǐng)日】2015年9月17日
【公告號(hào)】US20160074987