擴(kuò)散方阻自動(dòng)調(diào)整方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明設(shè)及一種晶體娃太陽(yáng)能電池的制作方法，具體地說(shuō)是一種管式POCls擴(kuò)散 方阻自動(dòng)調(diào)整方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 目前，在晶體娃太陽(yáng)電池制造行業(yè)，P型襯底晶娃太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散制備pn結(jié)主要 采用管式液態(tài)憐源高溫?cái)U(kuò)散方式；一般通過(guò)調(diào)整爐管溫度或攜帶憐源的小氮流量來(lái)調(diào)控小 范圍內(nèi)的擴(kuò)散方阻波動(dòng)。爐管溫度調(diào)整的常見(jiàn)方法是在連續(xù)數(shù)管內(nèi)，保持沉積步溫度不變， 待方阻波動(dòng)至一定范圍后，對(duì)沉積步溫度進(jìn)行調(diào)整，然后再連續(xù)生產(chǎn)數(shù)管，W此反復(fù)；另一 種方法則基于實(shí)際測(cè)量的方阻與目標(biāo)方阻的差異，基于既有經(jīng)驗(yàn)，通過(guò)小氮流量設(shè)定變化 來(lái)調(diào)整擴(kuò)散方阻。盡管運(yùn)些方法在一定程度上起到了擴(kuò)散方阻的穩(wěn)定工作，但受限于爐管 自身差異、憐源源瓶液位高度的持續(xù)變化，運(yùn)些方法均具有很大的局限性。同時(shí)，受限于工 程師能力差異，上述調(diào)節(jié)方法本身更具有很大的風(fēng)險(xiǎn)性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)過(guò)程擴(kuò)散方阻的自動(dòng)調(diào) 節(jié)的管式POCls擴(kuò)散方阻自動(dòng)調(diào)整方法。
[0004] 為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的管式POCls擴(kuò)散方阻自動(dòng)調(diào)整方法，包括液態(tài)憐 源擴(kuò)散設(shè)備、自動(dòng)上下料機(jī)器W及與液態(tài)憐源擴(kuò)散設(shè)備、自動(dòng)上下料機(jī)器連接的計(jì)算機(jī)，各 個(gè)液態(tài)憐源擴(kuò)散設(shè)備具有與之對(duì)應(yīng)的通過(guò)軟件程序自動(dòng)生成的DLV文件，計(jì)算機(jī)內(nèi)存儲(chǔ)上 述DLV文件并能夠?qū)Ω鱾€(gè)液態(tài)憐源擴(kuò)散設(shè)備對(duì)應(yīng)溫區(qū)的方阻值進(jìn)行計(jì)算處理，計(jì)算時(shí)各個(gè) 溫區(qū)分開(kāi)獨(dú)立計(jì)算，對(duì)應(yīng)公式如下：
[0006]CTEMPm=(A(R)m-Rtarget)XKco打+CTEMP巧EMde
[0007] 其中A(R)m代表連續(xù)生產(chǎn)n舟的對(duì)應(yīng)溫區(qū)的方阻均值，化為第i舟對(duì)應(yīng)溫區(qū)的方 阻計(jì)算值，CTEMPm為第m次的自動(dòng)調(diào)整溫度值，RtSIWt為預(yù)設(shè)目標(biāo)方阻值，KtMf為與憐源液 位高度相關(guān)的第m次溫度調(diào)整的溫度修正系數(shù)，CTEMP為爐管初始設(shè)定沉積溫度，TEMd。為 爐管不同溫區(qū)的沉積溫度補(bǔ)償值；
[0008] 在生產(chǎn)過(guò)程中，液態(tài)憐源擴(kuò)散設(shè)備自動(dòng)調(diào)用并讀取DLV文件的相關(guān)參數(shù)，通過(guò)對(duì) DLV參數(shù)的調(diào)用，自動(dòng)對(duì)液態(tài)憐源擴(kuò)散設(shè)備內(nèi)不同溫區(qū)的擴(kuò)散溫度進(jìn)行調(diào)整。
[0009] 所述計(jì)算機(jī)還與一個(gè)方阻測(cè)試設(shè)備連接，所述方阻測(cè)試設(shè)備能夠?qū)Ψ阶柚颠M(jìn)行測(cè) 試。
[0010] 所述液態(tài)憐源擴(kuò)散設(shè)備為管式擴(kuò)散爐。
[0011] 采用上述的方法后，由于各個(gè)液態(tài)憐源擴(kuò)散設(shè)備具有與之對(duì)應(yīng)的通過(guò)軟件程序自 動(dòng)生成的DLV文件，計(jì)算機(jī)內(nèi)存儲(chǔ)上述DLV文件并能夠?qū)Ω鱾€(gè)液態(tài)憐源擴(kuò)散設(shè)備對(duì)應(yīng)溫區(qū) 的方阻值進(jìn)行計(jì)算處理，由此建立的數(shù)據(jù)鏈接變量文件DLV，在生產(chǎn)過(guò)程中，通過(guò)DLV文件 的自動(dòng)調(diào)用，實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)過(guò)程擴(kuò)散方阻的自動(dòng)調(diào)節(jié)；除能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定、均勻的爐管擴(kuò)散方 阻外，基于各個(gè)爐管單獨(dú)存儲(chǔ)的DLV文件，能夠詳細(xì)保存計(jì)算獲得的各管不同溫區(qū)的擴(kuò)散 沉積溫度；基于上述溫度匯總數(shù)據(jù)，可W方便快捷地對(duì)比出不同爐管的沉積溫度差異，進(jìn)而 更有效地實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散工段的整體優(yōu)化。
【具體實(shí)施方式】
[0012] 下面結(jié)合【具體實(shí)施方式】，對(duì)本發(fā)明的POCls擴(kuò)散方阻自動(dòng)調(diào)整方法作進(jìn)一步詳細(xì) 說(shuō)明。
[0013] 本發(fā)明的POCls擴(kuò)散方阻自動(dòng)調(diào)整方法，包括液態(tài)憐源擴(kuò)散設(shè)備、自動(dòng)上下料機(jī) 器、方阻測(cè)試設(shè)備W及與液態(tài)憐源擴(kuò)散設(shè)備、自動(dòng)上下料機(jī)、方阻測(cè)試設(shè)備連接的計(jì)算機(jī)， 液態(tài)憐源擴(kuò)散設(shè)備優(yōu)選為管式擴(kuò)散爐，自動(dòng)上下料機(jī)優(yōu)選為羅伯特科自動(dòng)上下料設(shè)備，方 阻測(cè)試設(shè)備優(yōu)選為Semil油方阻自動(dòng)檢測(cè)（測(cè)試光電壓）設(shè)備，針對(duì)各個(gè)液態(tài)憐源擴(kuò)散設(shè) 備具有通過(guò)軟件程序自動(dòng)生成的DLV文件，計(jì)算機(jī)內(nèi)存儲(chǔ)上述DLV文件并能夠?qū)Ω鱾€(gè)液態(tài) 憐源擴(kuò)散設(shè)備對(duì)應(yīng)溫區(qū)的方阻值進(jìn)行計(jì)算處理，公式如下：
[0014] Rlz二R1、Rclz二（R2+R3) /2、Rcz二（R4+Rs) /2、Rcgz二（Re+R?)、Rgz二R8
[0015] 擴(kuò)散沉積步的爐管溫度通過(guò)前n舟（可根據(jù)實(shí)際情況做調(diào)整）的對(duì)應(yīng)5個(gè)溫區(qū)的 方阻均值自動(dòng)計(jì)算完成，計(jì)算時(shí)5個(gè)溫區(qū)分開(kāi)獨(dú)立計(jì)算，對(duì)應(yīng)公式如下：
[0017]CTEMPm=(A(R)m-Rtarget)XKco打+CTEMP巧EMde
[0018] 其中A(R)m代表連續(xù)生產(chǎn)n舟的對(duì)應(yīng)溫區(qū)的方阻均值，化為第i舟對(duì)應(yīng)溫區(qū)的方 阻計(jì)算值，CTEMPm為第m次的自動(dòng)調(diào)整溫度值，RtSIWt為預(yù)設(shè)目標(biāo)方阻值，KtMf為與憐源液 位高度相關(guān)的第m次溫度調(diào)整的溫度修正系數(shù)，CTEMP為爐管初始設(shè)定沉積溫度，TEMd。為 爐管不同溫區(qū)的沉積溫度補(bǔ)償值；CTEMPm,氏。"，TEMde,CTEMP作為DLV參數(shù)組成部分，即數(shù) 據(jù)鏈接變量，該系列參數(shù)會(huì)獨(dú)立形成DLV文件。
[0019] 在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，需在DLV文件中預(yù)設(shè)目標(biāo)方阻RtBfgPt,擴(kuò)散爐初始設(shè)定沉積溫 度CTEMP，爐管不同溫區(qū)的沉積溫度補(bǔ)償值TEMd。，W及與源瓶液位高度相關(guān)的溫度調(diào)整修 正系數(shù)K。。?；?。為針對(duì)不同液位高度設(shè)定的一組值，隨液位高度變化，調(diào)用的K準(zhǔn)也隨 之變化）。完成數(shù)值設(shè)定后，液態(tài)憐源擴(kuò)散設(shè)備自動(dòng)調(diào)用并讀取DLV文件的相關(guān)參數(shù)，通過(guò) 對(duì)DLV參數(shù)的調(diào)用，自動(dòng)對(duì)液態(tài)憐源擴(kuò)散設(shè)備內(nèi)不同溫區(qū)的擴(kuò)散溫度進(jìn)行調(diào)整，從而保證 管間擴(kuò)散方阻的穩(wěn)定性及管內(nèi)擴(kuò)散方阻的均勻性，另外，方阻測(cè)試設(shè)備能夠?qū)Ψ阶柚颠M(jìn)行 測(cè)試，如測(cè)試過(guò)程中出現(xiàn)錯(cuò)誤的、或不可靠的方阻值，可人為干預(yù)并將錯(cuò)誤結(jié)果予W去除， 從而保證計(jì)算獲得的爐管不同溫區(qū)設(shè)定沉積溫度CTEMPm的準(zhǔn)確性；此外，針對(duì)TEMde值，在 生產(chǎn)過(guò)程中也同樣可W根據(jù)需要予W必要調(diào)整，通過(guò)DLV自動(dòng)補(bǔ)償方法優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)了如下 產(chǎn)線方阻控制；不同爐管的多個(gè)批次晶體娃太陽(yáng)能電池片的擴(kuò)散方阻均在很窄范圍內(nèi)波 動(dòng)；有效實(shí)現(xiàn)了管式液態(tài)憐源高溫?cái)U(kuò)散方阻的精確控制，管內(nèi)不同溫區(qū)的方阻均勻性控制 在2. 5 %W內(nèi)，達(dá)到同行業(yè)領(lǐng)先水平。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種POCl 3擴(kuò)散方阻自動(dòng)調(diào)整方法，其特征在于：包括液態(tài)磷源擴(kuò)散設(shè)備、自動(dòng)上下 料機(jī)器以及與液態(tài)磷源擴(kuò)散設(shè)備、自動(dòng)上下料機(jī)器連接的計(jì)算機(jī)，各個(gè)所述液態(tài)磷源擴(kuò)散 設(shè)備具有與之對(duì)應(yīng)的通過(guò)軟件程序自動(dòng)生成的DLV文件，所述計(jì)算機(jī)內(nèi)存儲(chǔ)上述DLV文件 并能夠?qū)Ω鱾€(gè)所述液態(tài)磷源擴(kuò)散設(shè)備對(duì)應(yīng)溫區(qū)的方阻值進(jìn)行計(jì)算處理，計(jì)算時(shí)各個(gè)溫區(qū)分 開(kāi)獨(dú)立計(jì)算，對(duì)應(yīng)公式如下：CTEMPn= (A(R)m-Rtarget) XKcorr+CTEMP+TEMde 其中A(R)ni代表連續(xù)生產(chǎn)η舟的對(duì)應(yīng)溫區(qū)的方阻均值，Ri為第i舟對(duì)應(yīng)溫區(qū)的方阻計(jì) 算值，CTEMPni為第m次的自動(dòng)調(diào)整溫度值，R ta_t為預(yù)設(shè)目標(biāo)方阻值，Kotit為與磷源液位高 度相關(guān)的第m次溫度調(diào)整的溫度修正系數(shù)，CTEMP為爐管初始設(shè)定沉積溫度，TEM&為爐管 不同溫區(qū)的沉積溫度補(bǔ)償值； 在生產(chǎn)過(guò)程中，液態(tài)磷源擴(kuò)散設(shè)備自動(dòng)調(diào)用并讀取DLV文件的相關(guān)參數(shù)，通過(guò)對(duì)DLV參 數(shù)的調(diào)用，自動(dòng)對(duì)液態(tài)磷源擴(kuò)散設(shè)備內(nèi)不同溫區(qū)的擴(kuò)散溫度進(jìn)行調(diào)整。2. 按照權(quán)利要求1所述的POCl 3擴(kuò)散方阻自動(dòng)調(diào)整方法，其特征在于：所述計(jì)算機(jī)還與 一個(gè)方阻測(cè)試設(shè)備連接，所述方阻測(cè)試設(shè)備能夠?qū)Ψ阶柚颠M(jìn)行測(cè)試。3. 按照權(quán)利要求1所述的POCl 3擴(kuò)散方阻自動(dòng)調(diào)整方法，其特征在于：所述液態(tài)磷源擴(kuò) 散設(shè)備為管式擴(kuò)散爐。
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種管式POCl3擴(kuò)散方阻自動(dòng)調(diào)整方法。它包括液態(tài)磷源擴(kuò)散設(shè)備、自動(dòng)上下料機(jī)器以及與液態(tài)磷源擴(kuò)散設(shè)備、自動(dòng)上下料機(jī)器連接的計(jì)算機(jī)，各個(gè)液態(tài)磷源擴(kuò)散設(shè)備具有與之對(duì)應(yīng)的通過(guò)軟件程序自動(dòng)生成的DLV文件，計(jì)算機(jī)內(nèi)存儲(chǔ)上述DLV文件并能夠?qū)Ω鱾€(gè)液態(tài)磷源擴(kuò)散設(shè)備對(duì)應(yīng)溫區(qū)的方阻值進(jìn)行計(jì)算處理，在生產(chǎn)過(guò)程中，液態(tài)磷源擴(kuò)散設(shè)備自動(dòng)調(diào)用并讀取DLV文件的相關(guān)參數(shù)，通過(guò)對(duì)DLV參數(shù)的調(diào)用，自動(dòng)對(duì)液態(tài)磷源擴(kuò)散設(shè)備內(nèi)不同溫區(qū)的擴(kuò)散溫度進(jìn)行調(diào)整。采用上述的方法后，建立的數(shù)據(jù)鏈接變量文件DLV，在生產(chǎn)過(guò)程中，通過(guò)DLV文件的自動(dòng)調(diào)用，實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)過(guò)程擴(kuò)散方阻的自動(dòng)調(diào)節(jié)。
【IPC分類】H01L21/228, H01L31/18
【公開(kāi)號(hào)】CN105428226
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510718906
【發(fā)明人】姚劍, 韓曉輝, 王廣為, 邱江南, 翟穎晗
【申請(qǐng)人】晉能清潔能源科技有限公司
【公開(kāi)日】2016年3月23日
【申請(qǐng)日】2015年10月29日