技術(shù)編號(hào)：9669070
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 目前，在晶體娃太陽(yáng)電池制造行業(yè)，P型襯底晶娃太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散制備pn結(jié)主要 采用管式液態(tài)憐源高溫?cái)U(kuò)散方式；一般通過(guò)調(diào)整爐管溫度或攜帶憐源的小氮流量來(lái)調(diào)控小 范圍內(nèi)的擴(kuò)散方阻波動(dòng)。爐管溫度調(diào)整的常見(jiàn)方法是在連續(xù)數(shù)管內(nèi)，保持沉積步溫度不變， 待方阻波動(dòng)至一定范圍后，對(duì)沉積步溫度進(jìn)行調(diào)整，然后再連續(xù)生產(chǎn)數(shù)管，W此反復(fù)；另一 種方法則基于實(shí)際測(cè)量的方阻與目標(biāo)方阻的差異，基于既有經(jīng)驗(yàn)，通過(guò)小氮流量設(shè)定變化 來(lái)調(diào)整擴(kuò)散方阻。盡管運(yùn)些方法在一定程度上起到了擴(kuò)散方阻的穩(wěn)定...
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