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一種P型結(jié)構(gòu)層及發(fā)光二極管的制作方法

文檔序號(hào):11197237閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種P型結(jié)構(gòu)層,包括第一P型層,其特征在于:還包括位于第一P型層之上的極化電流注入層,所述極化電流注入層包括依次層疊的p+-GaN層、未摻雜含鋁氮化物層、以及 n+-GaN層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種P型結(jié)構(gòu)層,其特征在于: 所述未摻雜含鋁氮化物層為u-AlGaN層或者u-AlN層或者u-AlInGaN層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種P型結(jié)構(gòu)層,其特征在于:所述極化電流注入層的厚度為10~150埃。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種P型結(jié)構(gòu)層,其特征在于:所述p+-GaN層的厚度為1~50埃。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種P型結(jié)構(gòu)層,其特征在于:所述未摻雜含鋁氮化物層的厚度為1~50埃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種P型結(jié)構(gòu)層,其特征在于:所述n+-GaN層的厚度為1~50埃。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種P型結(jié)構(gòu)層,其特征在于:所述P型摻雜的雜質(zhì)為Mg,所述N型摻雜的雜質(zhì)為Si。

8.一種發(fā)光二極管,從下至上至少包括依次層疊的襯底、第一N型層、第一發(fā)光層、其特征在于:所述第一發(fā)光層之上還層疊有權(quán)利要求1~7所述的任意一項(xiàng)的P型結(jié)構(gòu)層,所述P型結(jié)構(gòu)層包括第一P型層,以及位于第一P型層之上的極化電流注入層,所述極化電流注入層包括依次層疊的p+-GaN層、未摻雜含鋁氮化物層、以及 n+-GaN層。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種發(fā)光二極管,其特征在于:所述發(fā)光二極管還包括設(shè)置于所述P型結(jié)構(gòu)層上的第二N型層、第二發(fā)光層、第二P型層和P型接觸層,形成雙層發(fā)光結(jié)構(gòu)。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種發(fā)光二極管,其特征在于:所述p+-GaN層的P型雜質(zhì)含量大于第一P型層的雜質(zhì)含量;所述n+-GaN層的N型雜質(zhì)含量大于第一N型層的雜質(zhì)含量。

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