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一種P型結(jié)構(gòu)層及發(fā)光二極管的制作方法

文檔序號:11197237閱讀:943來源:國知局
一種P型結(jié)構(gòu)層及發(fā)光二極管的制造方法與工藝

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域,尤其涉及一種P型結(jié)構(gòu)層及發(fā)光二極管。



背景技術(shù):

傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的發(fā)光二極管,從下至上包括依次層疊的襯底、N型層、發(fā)光層、P型層和P型接觸層。當(dāng)向發(fā)光二極管注入電流后,N型層提供電子,P型層提供空穴,電子和空穴在發(fā)光層中復(fù)合,使發(fā)光二極管發(fā)射一定波長的光線。其中,電子的遷移率(mobility)較空穴快,導(dǎo)致在發(fā)光層中,電子空穴對分布不均,不能有效復(fù)合。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為解決以上問題,一方面,本實(shí)用新型提供一種P型結(jié)構(gòu)層,包括第一P型層,其特征在于:還包括位于第一P型層之上的極化電流注入層,所述極化電流注入層包括依次層疊的的p+-GaN層、未摻雜含鋁氮化物層、以及 n+-GaN層。

優(yōu)選的,所述未摻雜含鋁氮化物層為u-AlGaN層或者u-AlN層或者u-AlInGaN層。

優(yōu)選的,所述極化電流注入層的厚度為10~150埃。

優(yōu)選的,所述p+-GaN層的厚度為1~50埃。

優(yōu)選的,所述未摻雜含鋁氮化物層的厚度為1~50埃。

優(yōu)選的,所述n+-GaN層的厚度為1~50埃。

優(yōu)選的,所述P型摻雜的雜質(zhì)為Mg,所述N型摻雜的雜質(zhì)為Si。

另一方面,本實(shí)用新型還提供了一種包括上述P型結(jié)構(gòu)層的發(fā)光二極管,從下至上至少包括依次層疊的襯底、第一N型層、第一發(fā)光層和一P型結(jié)構(gòu)層,其中,所述P型結(jié)構(gòu)層包括第一P型層,以及位于第一P型層之上的極化電流注入層,所述極化電流注入層包括依次層疊的的p+-GaN層、未摻雜含鋁氮化物層、以及 n+-GaN層。

優(yōu)選的,所述發(fā)光二極管還包括設(shè)置于所述P型結(jié)構(gòu)層上的第二N型層、第二發(fā)光層、第二P型層和P型接觸層,形成雙層發(fā)光結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的,所述p+-GaN層的P型雜質(zhì)含量大于第一P型層的雜質(zhì)含量;所述n+-GaN層的N型雜質(zhì)含量大于第一N型層的雜質(zhì)含量。

優(yōu)選的,所述第一N型層和第二N型層相同或不同;第一P型層和第二P型層相同或不同;第一發(fā)光層和第二發(fā)光層相同或不同。

本實(shí)用新型在傳統(tǒng)發(fā)光二極管的P型層之上設(shè)置由P型高摻雜的p+-GaN層、未摻雜含鋁氮化物層,以及N型高摻雜的n+-GaN層組成的極化電流注入層,在極化電流注入層中形成“P-I-N”結(jié)構(gòu),其中未摻雜含鋁氮化物層分別與p+-GaN層和n+-GaN層產(chǎn)生能帶彎曲,進(jìn)而產(chǎn)生在未摻雜含鋁氮化物層的雙側(cè)產(chǎn)生雙層二維電子氣,產(chǎn)生極化電流,加速電流速度,提供較大的極化電流注入,加速P型層中空穴向發(fā)光層的遷移速率,使得發(fā)光層中電子與電洞對較為均勻,提升發(fā)光效率。

另外,利用極化電流注入層分隔兩層發(fā)光層結(jié)構(gòu),電流分別通過其注入第一發(fā)光層和第二發(fā)光層中,提升LED發(fā)光亮度,通過此結(jié)構(gòu)可提供在較低的操作電流密度下,達(dá)到較高的亮度,達(dá)到節(jié)能的效果。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型之具體實(shí)施例一之P型結(jié)構(gòu)層結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型之具體實(shí)施例一之發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實(shí)用新型之具體實(shí)施例二之發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)注:

10.P型結(jié)構(gòu)層;11.第一P型層;12.極化電流注入層;121. p+-GaN層;122. 未摻雜含鋁氮化物層;123. n+-GaN層;20.襯底;30.第一N型層;40.第一發(fā)光層;50.第二N型層;60.第二發(fā)光層;70.第二P型層;80.P型接觸層。

具體實(shí)施方式

在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書,本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是,附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例,僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。

實(shí)施例1

參看附圖1,本實(shí)用新型提供一種新型的P型結(jié)構(gòu)層10,包括第一P型層11、位于第一P型層11之上的極化電流注入層12,極化電流注入層12包括依次層疊的p+-GaN層121、未摻雜含鋁氮化物層122,以及n+-GaN層123。未摻雜含鋁氮化物層122可以為u-AlGaN層、u-AlN層或者u-AlInGaN層。

其中,極化電流注入層12的厚度為10~150埃,具體地,p+-GaN層121的厚度為1~50埃,未摻雜含鋁氮化物層122的厚度為1~50埃,n+-GaN層123的厚度為1~50埃。未摻雜含鋁氮化物層122為u-AlGaN層或者u-AlN層或者u-AlInGaN層。P型摻雜的雜質(zhì)為Mg,N型摻雜的雜質(zhì)為Si。

參看附圖2,本實(shí)用新型還提供一種包括上述P型結(jié)構(gòu)層10的發(fā)光二極管,其從下至上至少包括依次層疊的襯底20、第一N型層30、第一發(fā)光層40和P型結(jié)構(gòu)層10。具體的P型結(jié)構(gòu)層10如上述所述,此處不再贅述。

本實(shí)用新型在傳統(tǒng)發(fā)光二極管的P型層之上設(shè)置由的p+-GaN層121、未摻雜含鋁氮化物層122,以及N型高摻雜n+-GaN層123組成的極化電流注入層12,在極化電流注入層12中形成“P-I-N”結(jié)構(gòu)。其中,p+-GaN層121與n+-GaN層123均為高摻雜結(jié)構(gòu)層,具體地,p+-GaN層121的P型雜質(zhì)含量大于第一P型層11的雜質(zhì)含量,而 n+-GaN層123的N型雜質(zhì)含量大于第一N型層30的雜質(zhì)含量,未摻雜含鋁氮化物層122分別與高摻雜的p+-GaN層121和n+-GaN層123產(chǎn)生能帶彎曲,進(jìn)而產(chǎn)生在未摻雜含鋁氮化物層122的雙側(cè)產(chǎn)生雙層二維電子氣,產(chǎn)生極化電流,加速電流速度,提供較大的極化電流注入,加速P型層中空穴向發(fā)光層的遷移速率,使得發(fā)光層中電子與電洞對較為均勻,提升發(fā)光效率。

實(shí)施例2

參看附圖3,本實(shí)施例在實(shí)施例一的基礎(chǔ)上增設(shè)第二半導(dǎo)體發(fā)光結(jié)構(gòu),具體為在P型結(jié)構(gòu)層10上設(shè)置第二N型層50、第二發(fā)光層60、第二P型層70和P型接觸層80,形成雙層發(fā)光結(jié)構(gòu)。其中,第一N型層30和第二N型層50的材料相同或不同,第一P型層11和第二P型層60的材料相同或不同,第一發(fā)光層40和第二發(fā)光層70的材料相同或不同。本實(shí)施例中,第一N型層30和第二N型層50的材料均為GaN,第一P型層11和第二P型層60的材料均為GaN,第一發(fā)光層40和第二發(fā)光層70的材料均為InGaN,發(fā)光二極管發(fā)射藍(lán)光。

利用極化電流注入層12分隔兩層發(fā)光層結(jié)構(gòu),電流分別通過其注入兩側(cè)發(fā)光層中,提升LED發(fā)光亮度,通過此結(jié)構(gòu)可提供在較低的操作電流密度下,達(dá)到較高的亮度,達(dá)到節(jié)能的效果。

應(yīng)當(dāng)理解的是,上述具體實(shí)施方案為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例,本實(shí)用新型的范圍不限于該實(shí)施例,凡依本實(shí)用新型所做的任何變更,皆屬本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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