本實(shí)用新型涉及太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種全自動管式PECVD上下料機(jī)。

背景技術(shù)：

在太陽能電池制造過程中，，包含有多個工序，如硅片清洗、制絨、擴(kuò)散、鍍膜、打標(biāo)等，在上述的工序中都需要將硅片裝入籃具、石英舟及其石墨舟中相互替換下來?，F(xiàn)有技術(shù)中，都習(xí)慣采用人工裝片或是半自動換片的方式進(jìn)行操作，該方式容易出現(xiàn)碎片率高、對硅片的污染大、效率低等問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

(一)要解決的技術(shù)問題

為了克服現(xiàn)有技術(shù)不足，現(xiàn)提出一種全自動管式PECVD上下料機(jī)，可自動將石墨舟與籃具相互替換裝片、工作效率高、自動化程度高、降低碎片率。

(二)技術(shù)方案

本實(shí)用新型通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：本實(shí)用新型提出了一種全自動管式PECVD上下料機(jī)，包括自動換籃裝置、硅片輸送裝置、取/插片定位裝置、緩沖升降機(jī)構(gòu)、自動取/插片機(jī)器人、石墨舟載具滑臺裝置、石墨舟上下搬移裝置、石墨舟運(yùn)送車以及機(jī)架，所述自動換籃裝置包括上層輸送機(jī)構(gòu)、下層輸送機(jī)構(gòu)以及上下升降機(jī)械手，所述上層輸送機(jī)構(gòu)與硅片輸送裝置水平銜接，所述緩沖升降機(jī)構(gòu)設(shè)置于硅片輸送裝置的末端，所述取/插片定位裝置位于硅片輸送裝置的中部，所述自動取/插片機(jī)器人位于緩沖升降機(jī)構(gòu)與石墨舟載具滑臺裝置之間，所述石墨舟上下搬移裝置位于石墨舟載具滑臺裝置的上部且與墨舟載具滑臺裝置運(yùn)動方向垂直，所述石墨舟運(yùn)送車位于石墨舟上下搬移裝置的前端。

進(jìn)一步的，所述上下升降機(jī)械手包括立柱以及能夠沿立柱上下升降的抓手以及輔助輸送帶。

進(jìn)一步的，所述硅片輸送裝置端部設(shè)置有一伸縮舌頭，所述伸縮舌頭能夠?qū)⒐杵斔脱b置上的輸送帶伸入籃具內(nèi)進(jìn)行硅片的導(dǎo)出/入。

(三)有益效果

本實(shí)用新型相對于現(xiàn)有技術(shù)，具有以下有益效果：

本實(shí)用新型提到的一種全自動管式PECVD上下料機(jī)，其通過自動換籃裝置從籃具內(nèi)將硅片進(jìn)行導(dǎo)出，然后通過硅片輸送裝置、取/插片定位裝置以及緩沖升降機(jī)構(gòu)將硅片疊層擺放，然后再通過自動取/插片機(jī)器人將硅片整齊的放入石墨舟內(nèi)并通過石墨舟運(yùn)送車轉(zhuǎn)移到下部工序，其可以自動將石墨舟與籃具相互替換裝片、工作效率高、自動化程度高、降低碎片率。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是硅片輸送裝置前后連接結(jié)構(gòu)示意圖。

1-自動換籃裝置；2-硅片輸送裝置；3-取/插片定位裝置；4-自動取/插片機(jī)器人；5-石墨舟載具滑臺裝置；6-石墨舟上下搬移裝置；7-石墨舟運(yùn)送車；8-機(jī)架；9-緩沖升降機(jī)構(gòu)；10-伸縮舌頭；11-上層輸送機(jī)構(gòu)；12-下層輸送機(jī)構(gòu)；13-上下升降機(jī)械手；131-立柱；132-抓手；133-輔助輸送帶。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。

如圖1和圖2所示的一種全自動管式PECVD上下料機(jī)，包括自動換籃裝置1、硅片輸送裝置2、取/插片定位裝置3、緩沖升降機(jī)構(gòu)9、自動取/插片機(jī)器人4、石墨舟載具滑臺裝置5、石墨舟上下搬移裝置6、石墨舟運(yùn)送車7以及機(jī)架8，所述自動換籃裝置1包括上層輸送機(jī)構(gòu)11、下層輸送機(jī)構(gòu)12以及上下升降機(jī)械手13，所述上層輸送機(jī)構(gòu)11與硅片輸送裝置2水平銜接，所述緩沖升降機(jī)構(gòu)9設(shè)置于硅片輸送裝置2的末端，所述取/插片定位裝置3位于硅片輸送裝置2的中部，所述自動取/插片機(jī)器人4位于緩沖升降機(jī)構(gòu)9與石墨舟載具滑臺裝置5之間，所述石墨舟上下搬移裝置6位于石墨舟載具滑臺裝置5的上部且與墨舟載具滑臺裝置5運(yùn)動方向垂直，所述石墨舟運(yùn)送車7位于石墨舟上下搬移裝置6的前端。

其中，所述上下升降機(jī)械手13包括立柱131以及能夠沿立柱131上下升降的抓手132以及輔助輸送帶133；所述硅片輸送裝置2端部設(shè)置有一伸縮舌頭10，所述伸縮舌頭10能夠?qū)⒐杵斔脱b置2上的輸送帶伸入籃具內(nèi)進(jìn)行硅片的導(dǎo)出/入。

本實(shí)用新型提到的一種全自動管式PECVD上下料機(jī)，其在具體使用時，可以同時進(jìn)行上料以及下料，當(dāng)進(jìn)行上料時，將裝滿硅片的籃具放入上層輸送機(jī)構(gòu)11，在上層輸送機(jī)構(gòu)11輸送帶作用下，裝滿硅片的籃具被輸送至輔助輸送帶133上，此時抓手132將籃具固定，伸縮舌頭10帶動硅片輸送裝置2插入至籃具內(nèi)，隨著硅片輸送裝置2的轉(zhuǎn)動，硅片從籃具被被導(dǎo)出，每導(dǎo)出一片硅片，抓手132帶動籃具下降一格硅片距離，與此同時，輔助輸送帶133也同速度下降，當(dāng)硅片完全從籃具內(nèi)被導(dǎo)出以后，抓手帶著空籃具以及輔助輸送帶133繼續(xù)下降，直到輔助輸送帶133與下層輸送機(jī)構(gòu)12平行，此時輔助輸送帶133反向轉(zhuǎn)動，下層輸送機(jī)構(gòu)12也與上層輸送機(jī)構(gòu)11運(yùn)動方向相反，抓手松開空籃具，空籃具將被輸送至下層輸送機(jī)構(gòu)12端部，生產(chǎn)工人可以取出空籃具進(jìn)行硅片的繼續(xù)裝載，硅片輸送裝置2上的硅片在經(jīng)過取/插片定位裝置3時，將對硅片進(jìn)行位置調(diào)整，然后硅片儲存于緩沖升降機(jī)構(gòu)9內(nèi)，每20片硅片作為一組，自動取/插片機(jī)器人4將每組硅片整體吸取出來，然后裝入位于石墨舟載具滑臺裝置5上的石墨舟內(nèi)，石墨舟在石墨舟載具滑臺裝置5上被輸送至石墨舟上下搬移裝置6的下部，然后石墨舟上下搬移裝置6將石墨舟整體抓取，然后縱向移動并下放至石墨舟運(yùn)送車7上，以便進(jìn)行下一工序，此時完成上料；當(dāng)進(jìn)行下料時，即與上料方向相反。

上面所述的實(shí)施例僅僅是對本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行描述，并非對本實(shí)用新型的構(gòu)思和范圍進(jìn)行限定。在不脫離本實(shí)用新型設(shè)計構(gòu)思的前提下，本領(lǐng)域普通人員對本實(shí)用新型的技術(shù)方案做出的各種變型和改進(jìn)，均應(yīng)落入到本實(shí)用新型的保護(hù)范圍，本實(shí)用新型請求保護(hù)的技術(shù)內(nèi)容，已經(jīng)全部記載在權(quán)利要求書中。