技術編號：11197231
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及太陽能電池制造技術領域，具體涉及一種全自動管式PECVD上下料機。背景技術在太陽能電池制造過程中，，包含有多個工序，如硅片清洗、制絨、擴散、鍍膜、打標等，在上述的工序中都需要將硅片裝入籃具、石英舟及其石墨舟中相互替換下來?，F(xiàn)有技術中，都習慣采用人工裝片或是半自動換片的方式進行操作，該方式容易出現(xiàn)碎片率高、對硅片的污染大、效率低等問題。實用新型內(nèi)容(一)要解決的技術問題為了克服現(xiàn)有技術不足，現(xiàn)提出一種全自動管式PECVD上下料機，可自動將石墨舟與籃具相互替換裝片、工作效率高、自動化程...
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