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一種用于晶圓的打點(diǎn)裝置的制作方法

文檔序號(hào):12005224閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種用于晶圓的打點(diǎn)裝置,其特征在于:

所述打點(diǎn)裝置包括X軸移動(dòng)控制機(jī)構(gòu)、Y軸移動(dòng)控制機(jī)構(gòu)和工作臺(tái),所述工作臺(tái)用于承載晶圓;

所述X軸移動(dòng)控制機(jī)構(gòu)控制所述工作臺(tái)沿X軸移動(dòng);

所述Y軸移動(dòng)控制機(jī)構(gòu)控制所述工作臺(tái)沿Y軸移動(dòng);

所述打點(diǎn)裝置還包括支撐架和點(diǎn)墨機(jī)構(gòu),所述支撐架位于所述工作臺(tái)的上方,所述支撐架上設(shè)置有多個(gè)工位;

所述點(diǎn)墨機(jī)構(gòu)包括固定組件和點(diǎn)墨組件,所述點(diǎn)墨組件設(shè)置在所述固定組件上并可對(duì)所述晶圓進(jìn)行標(biāo)記;

所述打點(diǎn)裝置還包括處理模塊、輸入模塊和顯示模塊,所述處理模塊向所述X軸移動(dòng)控制機(jī)構(gòu)輸出X控制信號(hào),所述處理模塊向所述Y軸移動(dòng)控制機(jī)構(gòu)輸出Y控制信號(hào),所述X軸移動(dòng)控制機(jī)構(gòu)向所述處理模塊輸出X位置信號(hào),所述Y軸移動(dòng)控制機(jī)構(gòu)向所述處理模塊輸出Y位置信號(hào),所述處理模塊向所述點(diǎn)墨組件輸出打點(diǎn)控制信號(hào),輸入模塊與所述處理模塊連接,顯示模塊與所述處理模塊連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的打點(diǎn)裝置,其特征在于:

所述固定組件包括安裝件、第一連接件、第二連接件、第三連接件、第一螺釘、第二螺釘和第三螺釘;

所述安裝件安裝在所述工位上,所述安裝件的上方設(shè)置有第一螺紋孔,所述第一連接件的下方與所述安裝件的上方可移動(dòng)地通過(guò)V形槽配合,所述第一螺釘與所述第一螺紋孔配合;

所述第一連接件的上方設(shè)置有第二螺紋孔,所述第二連接件的下方與所述第一連接件的上方可移動(dòng)地通過(guò)V形槽配合,所述第二螺釘與所述第二螺紋孔配合;

所述第二連接件的側(cè)面設(shè)置有第三螺紋孔,所述第三連接件的側(cè)面與所述第二連接件的側(cè)面可移動(dòng)地通過(guò)V形槽配合,所述第三螺釘與所述第三螺紋孔配合;

所述點(diǎn)墨組件可旋轉(zhuǎn)地連接至所述第三連接件。

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