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一種晶圓裂片裝置的制作方法

文檔序號(hào):12772409閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種晶圓裂片裝置,至少包括:晶圓,所述晶圓具有復(fù)數(shù)條切割道;加工平臺(tái),所述晶圓置于所述加工平臺(tái)上;劈裂機(jī)構(gòu),所述劈裂機(jī)構(gòu)位于所述加工平臺(tái)上方;圖像獲取機(jī)構(gòu),所述圖像獲取機(jī)構(gòu)位于所述加工平臺(tái)的下方;其特征在于:所述裂片裝置還包括用于加熱晶圓以消除雙晶的加熱平臺(tái),位于所述加熱平臺(tái)一側(cè)對(duì)所述晶圓進(jìn)行吹掃的風(fēng)機(jī),以及在所述加工平臺(tái)和加熱平臺(tái)之間轉(zhuǎn)移所述晶圓的轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓裂片裝置,其特征在于:所述加工平臺(tái)的上方還具有對(duì)所述晶圓提供照明的第一光源,所述第一光源位于所述劈裂機(jī)構(gòu)的一側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓裂片裝置,其特征在于:所述加工平臺(tái)的下方還具有對(duì)所述晶圓提供照明的第二光源,所述第二光源位于所述圖像獲取機(jī)構(gòu)的一側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓裂片裝置,其特征在于:所述加工平臺(tái)的上方和下方分別具有對(duì)晶圓提供照明的第一光源和第二光源,所述第一光源和第二光源分別位于所述劈裂機(jī)構(gòu)和圖像獲取機(jī)構(gòu)的一側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓裂片裝置,其特征在于:所述第一光源和第二光源相同或不同,所述第一光源和第二光源均為白光光源;或者所述第一光源為白光光源,所述第二光源為紅外光源。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓裂片裝置,其特征在于:所述加工平臺(tái)至少包括兩個(gè)相對(duì)移動(dòng)的受臺(tái),所述晶圓置于所述受臺(tái)上,并且所述切割道對(duì)應(yīng)于所述兩個(gè)受臺(tái)之間的空隙。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓裂片裝置,其特征在于:所述劈裂機(jī)構(gòu)至少包括一劈刀,所述劈刀沿所述切割道劈裂所述晶圓。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓裂片裝置,其特征在于:所述圖像獲取機(jī)構(gòu)為電荷耦合元件。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓裂片裝置,其特征在于:所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)為機(jī)械手。

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