本實(shí)用新型屬于冷卻板技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及磁控濺射設(shè)備用冷卻銅背板。

背景技術(shù)：

近年來(lái)，太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛，傳統(tǒng)晶體硅太陽(yáng)電池產(chǎn)能過(guò)剩，同質(zhì)化競(jìng)爭(zhēng)問(wèn)題日漸凸顯，開(kāi)發(fā)高效硅異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池是解決這一問(wèn)題的有效途徑。磁控濺射設(shè)備是生產(chǎn)硅異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池的關(guān)鍵設(shè)備，用于制備透明導(dǎo)電膜。帶冷卻水通道的銅背板是磁控濺射設(shè)備的核心關(guān)鍵部件。銅背板的好壞直接影響著工藝和設(shè)備的穩(wěn)定性。目前磁控濺射設(shè)備用冷卻銅背板由于結(jié)構(gòu)的原因，存在以下缺陷：其一，冷卻通道較窄，冷卻水流量小，冷卻效果差，容易造成靶材因溫度過(guò)高而脫落；其二，由于冷卻水壓力較大，容易造成冷卻銅背板變形，縮短銅背板的使用壽命。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題就是提供一種冷卻效果好、冷卻銅背板不容易變形的磁控濺射設(shè)備用冷卻銅背板。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為：包括背板本體，所述背板本體正面為光滑平面，在所述背板本體背面帶有“U”型通道，在所述“U”型通道上方設(shè)置有封板，在所述“U”型通道的端部設(shè)置有出水口和進(jìn)水口，在所述“U”型通道內(nèi)間隔一定距離設(shè)置有與背板本體垂直的支撐柱，所述支撐柱頂端與所述封板固定連接。

其附加技術(shù)特征為：

所述“U”型通道的截面為矩形、半圓型或正方形；

所述支撐柱的截面面積與所述“U”型通道截面面積之比為1:3—1:20。

本實(shí)用新型所提供的磁控濺射設(shè)備用冷卻銅背板，與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)：其一，由于包括背板本體，所述背板本體正面為光滑平面，在所述背板本體背面帶有“U”型通道，在所述“U”型通道上方設(shè)置有封板，在所述“U”型通道的端部設(shè)置有出水口和進(jìn)水口，在所述“U”型通道內(nèi)間隔一定距離設(shè)置有與背板本體垂直的支撐柱，所述支撐柱頂端與所述封板固定連接，將進(jìn)水口和出水口分別于冷卻水供應(yīng)管道連通，冷卻水通過(guò)進(jìn)水口進(jìn)入“U”型通道內(nèi)，經(jīng)出水口流出，“U”型通道截面較寬，冷卻水流量大，冷卻效果好，避免了靶材過(guò)熱而從冷卻銅背板上脫落，支撐柱不但起到支撐作用，避免了銅背板背面的“U”型通道的懸空的封板受到外部壓力向內(nèi)凹陷，而且支撐柱還起到拉伸作用，避免通過(guò)高壓冷卻水時(shí)懸空的封板鼓起；其二，由于所述“U”型通道的截面為矩形、半圓型或正方形，加工更加方便；其三，由于所述支撐柱的截面面積與所述“U”型通道截面面積之比為1:3—1:20，既保證了冷卻水的數(shù)量，又保證了連接和支撐強(qiáng)度。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型磁控濺射設(shè)備用冷卻銅背板的正面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為磁控濺射設(shè)備用冷卻銅背板的背面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為磁控濺射設(shè)備用冷卻銅背板水平方向剖視圖；

圖4為磁控濺射設(shè)備用冷卻銅背板縱向剖視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型磁控濺射設(shè)備用冷卻銅背板的結(jié)構(gòu)和使用原理做進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。

如圖1、圖2、圖3和圖4所示，本實(shí)用新型磁控濺射設(shè)備用冷卻銅背板的結(jié)構(gòu)示意圖，本實(shí)用新型磁控濺射設(shè)備用冷卻銅背板包括背板本體1，背板本體1的正面為光滑平面，在背板本體1的背面帶有“U”型通道2，在“U”型通道2上方設(shè)置有封板3，在“U”型通道2的端部設(shè)置有出水口4和進(jìn)水口5，在“U”型通道2內(nèi)間隔一定距離設(shè)置有與背板本體1垂直的支撐柱6，支撐柱6頂端與封板3固定連接。將進(jìn)水口4和出水口5分別于冷卻水供應(yīng)管道連通，冷卻水通過(guò)進(jìn)水口4進(jìn)入“U”型通道2內(nèi)，經(jīng)出水口5流出，“U”型通道2截面較寬，冷卻水流量大，冷卻效果好，避免了靶材過(guò)熱而從冷卻銅背板上脫落，支撐柱不但起到支撐作用，避免了銅背板背面的“U”型通道2的懸空的封板3受到外部壓力向內(nèi)凹陷，而且支撐柱還起到拉伸作用，避免通過(guò)高壓冷卻水時(shí)懸空的封板3鼓起。

“U”型通道2的截面可以為矩形，可以為半圓型，也可以為正方形，加工更加方便。

支撐柱6的截面面積與 “U”型通道截面面積之比為1:3—1:20，既保證了冷卻水的數(shù)量，又保證了連接和支撐強(qiáng)度。

本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不僅僅局限于上述實(shí)施例，只要結(jié)構(gòu)與本實(shí)用新型磁控濺射設(shè)備用冷卻銅背板結(jié)構(gòu)相同，就落在本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。