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一種芯片及其制造方法與流程

文檔序號(hào):12478051閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種芯片的制造方法,其特征在于,包括:

提供一超薄芯片,所述超薄芯片的功能面上具有多個(gè)電極,在所述超薄芯片的功能面上形成鈍化層,所述鈍化層具有與所述多個(gè)電極分別對(duì)應(yīng)設(shè)置的多個(gè)第一開(kāi)口;

在所述鈍化層上形成掩膜層,所述掩膜層具有與所述多個(gè)第一開(kāi)口分別對(duì)應(yīng)設(shè)置的多個(gè)第二開(kāi)口,所述第二開(kāi)口大于所述第一開(kāi)口;

在所述第二開(kāi)口中形成導(dǎo)電凸點(diǎn);

去除所述掩膜層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法,其特征在于,在所述第二開(kāi)口中形成導(dǎo)電凸點(diǎn)的具體執(zhí)行過(guò)程為:采用電鍍工藝在所述第二開(kāi)口中形成導(dǎo)電凸點(diǎn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造方法,其特征在于,形成掩膜層之前,還包括:在所述鈍化層上形成導(dǎo)電種子層;以及,去除所述掩膜層之后,還包括:去除暴露的所述導(dǎo)電種子層。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制造方法,其特征在于,所述導(dǎo)電種子層包括依次層疊形成的鈦金屬層和銅金屬層。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制造方法,其特征在于,所述鈦金屬層的厚度為100nm,所述銅金屬層的厚度為300~500nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法,其特征在于,所述導(dǎo)電凸點(diǎn)包括依次層疊形成的鎳金屬層和焊盤,其中,所述焊盤的組成材料包括錫或錫銀合金。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制造方法,其特征在于,所述鎳金屬層的厚度為2~3μm;所述焊盤的厚度為6~15μm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法,其特征在于,所述超薄芯片包括相對(duì)的功能面和非功能面,該制造方法還包括:采用研磨工藝對(duì)所述超薄芯片的非功能面進(jìn)行研磨減薄。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法,其特征在于,還包括:切割以形成多個(gè)芯片。

10.一種芯片,其特征在于,采用如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的芯片制造方法進(jìn)行制造。

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