技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體裝置的制造方法。在半導(dǎo)體裝置的測試步驟中可重現(xiàn)且穩(wěn)定地測量半導(dǎo)體裝置的電氣特性。探針引腳包括第一柱塞、第二柱塞、清潔軸、第一線圈彈簧和第二線圈彈簧。通過第二線圈彈簧允許容納在第一柱塞的內(nèi)部的清潔軸進出通過第一柱塞的接觸部的尖端，由此去除附著到接觸部的尖端的焊料刮屑。第一柱塞由纏繞在第一柱塞的外側(cè)面上和在第二柱塞的外側(cè)面上的第一線圈彈簧電耦接到第二柱塞。

技術(shù)研發(fā)人員：鵜口福巳
受保護的技術(shù)使用者：瑞薩電子株式會社
文檔號碼：201611099779
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.02
技術(shù)公布日：2017.06.13