本發(fā)明屬于電子材料、功能材料和智能材料領(lǐng)域，具體提供一種金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜材料及其制備方法。

背景技術(shù)：

鐵電薄膜材料是一類具有自發(fā)極化，且自發(fā)極化能夠隨著外電場(chǎng)所轉(zhuǎn)向的功能薄膜材料。而且，鐵電薄膜材料同時(shí)還具有光電效應(yīng)、壓電效應(yīng)、熱電效應(yīng)等，使得以鋯鈦酸鉛(Pb(Zr,Ti)O₃,PZT)、鈦酸鋇(BaTiO₃,BTO)、鐵酸鉍(BiFeO₃,BFO)等為代表的鐵電薄膜材料在存儲(chǔ)器、超級(jí)電容器和太陽(yáng)能光伏電池等領(lǐng)域表現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用前景。

一般而言，上述各類新型功能器件的基本構(gòu)型為上電極/鐵電薄膜/下電極“三明治”結(jié)構(gòu)。因此，在鐵電薄膜的上、下兩個(gè)界面處均存在著一定大小的界面勢(shì)壘。通過(guò)調(diào)控鐵電極化的大小和方向，可以有效地改變界面勢(shì)壘，從而實(shí)現(xiàn)電流的導(dǎo)通與阻礙、電子-空穴的有效分離等。所以，鐵電剩余極化強(qiáng)度的大小直接影響著上述各類新型功能器件的性能。在眾多的鐵電薄膜中，PZT鐵電薄膜材料是當(dāng)前鐵電性能最好的鐵電材料之一。

目前，為了與現(xiàn)行半導(dǎo)體工業(yè)相兼容，大多使用金屬鉑作為沉積鐵電薄膜的下電極材料。鐵電薄膜的鐵電性能與其微觀組織結(jié)構(gòu)密切相關(guān)，而微觀組織結(jié)構(gòu)又取決于薄膜的制備技術(shù)等。雖然目前制備鐵電薄膜的方法有很多種，其中包括磁控濺射、脈沖激光沉積、化學(xué)氣相沉積、化學(xué)液相沉積等，但是無(wú)論采用哪種方法，在金屬鉑上制備的鐵電薄膜都是多晶的。這樣相較于單晶外延的鐵電薄膜，由于晶界、缺陷等的影響，不可避免地會(huì)造成鐵電疇反轉(zhuǎn)困難、被缺陷電荷釘扎等問(wèn)題，使薄膜的極化強(qiáng)度降低。而極化強(qiáng)度的減小會(huì)導(dǎo)致存儲(chǔ)器讀寫困難、太陽(yáng)能電池的光伏轉(zhuǎn)換效率降低等諸多問(wèn)題。因此，有必要開(kāi)發(fā)一種提高多晶鐵電薄膜極化強(qiáng)度的有效方法。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對(duì)多晶鐵電薄膜鐵電剩余極化強(qiáng)度比較小的問(wèn)題，提供了一種新型金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜及其制備方法，可以有效地提高多晶鐵電薄膜的極化強(qiáng)度。該方法簡(jiǎn)單易行，利于實(shí)際應(yīng)用。該薄膜材料在存儲(chǔ)器、超級(jí)電容器和太陽(yáng)能光伏電池等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。

本發(fā)明的目的通過(guò)以下方式實(shí)現(xiàn)：

本發(fā)明提供了一種金-鋯鈦酸鉛鐵電納米復(fù)合薄膜材料，所述薄膜材料的成分組成滿足如下要求：

摩爾組成為Au:0.6-12mol％，Pb(Zr,Ti)O₃:88–99.4mol％；

所述鋯鈦酸鉛鐵電薄膜中Pb:Zr:Ti的摩爾比為10:0-8:2-10；

本發(fā)明提供的金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜，所述薄膜材料的鐵電剩余極化為30-80μC/cm²；所述薄膜材料具有(111)面晶體擇優(yōu)取向；所述薄膜材料的下電極為商用Pt/Ti/SiO₂/Si；上電極材料為50nm厚的鉑。

本發(fā)明還提供了金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜的制備方法，具體步驟如下：

(1)以水、醋酸和異丙醇為溶劑，氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦為溶質(zhì)，按照Au:Pb(Zr,Ti)O₃的摩爾比為0.006-0.120:1，Pb:Zr:Ti的摩爾比為10:0-8:2-10，稱取氯金酸、乙酸鉛，正丙醇鋯和異丙醇鈦。根據(jù)所需濃度，用水溶解氯金酸，再加入醋酸溶解乙酸鉛，加入異丙醇溶解正丙醇鋯和異丙醇鈦，然后在室溫下進(jìn)行攪拌，攪拌至氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦全部溶解，得到淺黃色透明溶液；

(2)采用化學(xué)溶液沉積法，將步驟(1)配置好的溶液滴到Pt/Ti/SiO₂/Si基片上旋涂，轉(zhuǎn)速為1500轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為10秒，接下來(lái)調(diào)高轉(zhuǎn)速為4000轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為40秒，得到原料膜；

(3)將原料膜120℃干燥10分鐘，350℃熱分解有機(jī)物10分鐘，升溫到600℃退火30分鐘后空冷；

(4)重復(fù)(2)-(3)步驟過(guò)程數(shù)次，制得所需厚度的金-鋯鈦酸鉛鐵電納米復(fù)合薄膜。

采用真空濺射技術(shù)在鐵電復(fù)合薄膜表面蒸鍍鉑電極(50nm厚)，最終可以形成鉑/金-鋯鈦酸鉛/鉑電容器結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明的有益效果：

本發(fā)明所述實(shí)現(xiàn)最佳鐵電性能的金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜的成分組成為Au:Pb(Zr,Ti)O₃的摩爾比為0.012:1。此時(shí)，鐵電剩余極化強(qiáng)度比純的鋯鈦酸鉛鐵電薄膜提高了50％左右，約達(dá)到80μC/cm²，完全可以媲美單晶外延的鐵電薄膜。而且采用化學(xué)溶液沉積法制備金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜，具有工藝簡(jiǎn)單、成本低廉、組分均勻、可大面積均勻成膜和與硅基半導(dǎo)體工業(yè)相兼容等優(yōu)勢(shì)。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明制得的金-鋯鈦酸鉛鐵電復(fù)合薄膜的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為當(dāng)鋯鈦酸鉛中鋯與鈦的比為2:3時(shí)，本發(fā)明制得的不同金含量的金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜的電滯回線圖。

圖3為當(dāng)鋯鈦酸鉛中鋯與鈦的比為2:3時(shí)，本發(fā)明制得的金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜的鐵電剩余極化強(qiáng)度隨金含量的變化圖。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1(摩爾組成為Au:0.6mol％，Pb(Zr_0.4Ti_0.6)O₃:99.4mol％)

步驟一：配制溶液

以水、醋酸和異丙醇為溶劑，氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦為溶質(zhì)，按照Pb:Ti:Zr摩爾比為5:3:2，按照Au:Pb(Zr_0.4Ti_0.6)O₃的摩爾比為0.006:1，稱取氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦，以0.4mol/L的濃度標(biāo)準(zhǔn)分別加入水、醋酸和異丙醇，然后再室溫下進(jìn)行攪拌，攪拌至氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦全部溶解為止，得到淺黃色透明溶液；

步驟二：制備薄膜材料

(1)使用Pt/Ti/SiO₂/Si(100)基片。將步驟一配置好的溶液滴到基片上旋涂，轉(zhuǎn)速為1500轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為10秒，接下來(lái)調(diào)高轉(zhuǎn)速為4000轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為40秒，得到原料膜；

(2)將原料膜120℃干燥10分鐘，電爐中350℃熱分解有機(jī)物10分鐘，升溫到600℃退火30分鐘后空冷；

(3)重復(fù)(2)-(3)步驟過(guò)程3次，制得200nm厚的金-鋯鈦酸鉛鐵電納米復(fù)合薄膜；

(4)采用真空濺射技術(shù)在金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜表面鍍50nm厚的鉑電極，鉑電極的面積為0.1963mm²。

所得金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜的剩余極化為64.4μC/cm²(見(jiàn)圖2)，與純的鋯鈦酸鉛鐵電薄膜相比，鐵電剩余極化提高了20.4％。

實(shí)施例2(摩爾組成為Au:1.2mol％，Pb(Zr_0.4Ti_0.6)O₃:98.8mol％)

步驟一：配制溶液

以水、醋酸和異丙醇為溶劑，氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦為溶質(zhì)，按照Pb:Ti:Zr摩爾比為5:3:2，按照Au:Pb(Zr_0.4Ti_0.6)O₃的摩爾比為0.012:1，稱取氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦，以0.4mol/L的濃度標(biāo)準(zhǔn)分別加入水、醋酸和異丙醇，然后再室溫下進(jìn)行攪拌，攪拌至氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦全部溶解為止，得到淺黃色透明溶液；

步驟二：制備薄膜材料

(1)使用Pt/Ti/SiO₂/Si(100)基片。將步驟一配置好的溶液滴到基片上旋涂，轉(zhuǎn)速為1500轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為10秒，接下來(lái)調(diào)高轉(zhuǎn)速為4000轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為40秒，得到原料膜；

(2)將原料膜120℃干燥10分鐘，電爐中350℃熱分解有機(jī)物10分鐘，升溫到600℃退火30分鐘后空冷；

(3)重復(fù)(2)-(3)步驟過(guò)程3次，制得200nm厚的金-鋯鈦酸鉛鐵電納米復(fù)合薄膜；

(4)采用真空濺射技術(shù)在金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜表面鍍50nm厚的鉑電極，鉑電極的面積為0.1963mm²。

所得金-鋯鈦酸鉛鐵電納米復(fù)合鐵電薄膜的剩余極化為79.7μC/cm²(見(jiàn)圖2)，與純的鋯鈦酸鉛鐵電薄膜相比，鐵電剩余極化提高了49.5％。

實(shí)施例3(摩爾組成為Au:1.2mol％，PbTiO₃:98.8mol％)

步驟一：配制溶液

以水、醋酸和異丙醇為溶劑，氯金酸、乙酸鉛、異丙醇鈦為溶質(zhì)，按照Au:PbTiO₃的摩爾比為0.012:1，稱取氯金酸、乙酸鉛、異丙醇鈦，以0.4mol/L的濃度標(biāo)準(zhǔn)分別加入水、醋酸和異丙醇，然后再室溫下進(jìn)行攪拌，攪拌至氯金酸、乙酸鉛、異丙醇鈦全部溶解為止，得到淺黃色透明溶液；

步驟二：制備薄膜材料

(1)使用Pt/Ti/SiO₂/Si(100)基片。將步驟一配置好的溶液滴到基片上旋涂，轉(zhuǎn)速為1500轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為10秒，接下來(lái)調(diào)高轉(zhuǎn)速為4000轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為40秒，得到原料膜；

(2)將原料膜120℃干燥10分鐘，電爐中350℃熱分解有機(jī)物10分鐘，升溫到600℃退火30分鐘后空冷；

(3)重復(fù)(2)-(3)步驟過(guò)程3次，制得200nm厚的金-鈦酸鉛鐵電納米復(fù)合薄膜；

(4)采用真空濺射技術(shù)在金-鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜表面鍍50nm厚的鉑電極，鉑電極的面積為0.1963mm²。

所得金-鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜的剩余極化為39.1μC/cm²。與純的鈦酸鉛薄膜相比，鐵電剩余極化提高了11.7％。

實(shí)施例4(摩爾組成為Au:1.2mol％，Pb(Zr_0.8Ti_0.2)O₃:98.8mol％)

步驟一：配制溶液

以水、醋酸和異丙醇為溶劑，氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦為溶質(zhì)，按照Pb:Ti:Zr摩爾比為5:1:4，按照Au:Pb(Zr_0.8Ti_0.2)O₃的摩爾比為0.012:1，稱取氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦，以0.4mol/L的濃度標(biāo)準(zhǔn)分別加入水、醋酸和異丙醇，然后再室溫下進(jìn)行攪拌，攪拌至氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦全部溶解為止，得到淺黃色透明溶液；

步驟二：制備薄膜材料

(1)使用Pt/Ti/SiO₂/Si(100)基片。將步驟一配置好的溶液滴到基片上旋涂，轉(zhuǎn)速為1500轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為10秒，接下來(lái)調(diào)高轉(zhuǎn)速為4000轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為40秒，得到原料膜；

(2)將原料膜120℃干燥10分鐘，電爐中350℃熱分解有機(jī)物10分鐘，升溫到600℃退火30分鐘后空冷；

(3)重復(fù)(2)-(3)步驟過(guò)程3次，制得200nm厚的金-鋯鈦酸鉛鐵電納米復(fù)合薄膜；

(4)采用真空濺射技術(shù)在金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜表面鍍50nm厚的鉑電極，鉑電極的面積為0.1963mm²。

所得金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜的剩余極化為18.5μC/cm²。相較于該成分純的鋯鈦酸鉛薄膜而言，鐵電剩余極化提高了8.8％。

實(shí)施例5(摩爾組成為Au:5mol％，Pb(Zr_0.4Ti_0.6)O₃:95mol％)

步驟一：配制溶液

以水、醋酸和異丙醇為溶劑，氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦為溶質(zhì)，按照Pb:Ti:Zr摩爾比為5:3:2，按照Au:Pb(Zr_0.4Ti_0.6)O₃的摩爾比為0.053:1，稱取氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦，以0.4mol/L的濃度標(biāo)準(zhǔn)分別加入水、醋酸和異丙醇，然后再室溫下進(jìn)行攪拌，攪拌至氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦全部溶解為止，得到淺黃色透明溶液；

步驟二：制備薄膜材料

(1)使用Pt/Ti/SiO₂/Si(100)基片。將步驟一配置好的溶液滴到基片上旋涂，轉(zhuǎn)速為1500轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為10秒，接下來(lái)調(diào)高轉(zhuǎn)速為4000轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為40秒，得到原料膜；

(2)將原料膜120℃干燥10分鐘，電爐中350℃熱分解有機(jī)物10分鐘，升溫到600℃退火30分鐘后空冷；

(3)重復(fù)(2)-(3)步驟過(guò)程3次，制得200nm厚的金-鋯鈦酸鉛鐵電納米復(fù)合薄膜；

(4)采用真空濺射技術(shù)在金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜表面鍍50nm厚的鉑電極，鉑電極的面積為0.1963mm²。

所得金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜(見(jiàn)圖1)的剩余極化為64.4μC/cm²(見(jiàn)圖2)，與純的鋯鈦酸鉛鐵電薄膜相比，鐵電剩余極化提高了20.4％。

實(shí)施例6(摩爾組成為Au:12mol％，Pb(Zr_0.4Ti_0.6)O₃:88mol％)

步驟一：配制溶液

以水、醋酸和異丙醇為溶劑，氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦為溶質(zhì)，按照Pb:Ti:Zr摩爾比為5:3:2，按照Au:Pb(Zr_0.4Ti_0.6)O₃的摩爾比為0.14:1，稱取氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦，以0.4mol/L的濃度標(biāo)準(zhǔn)分別加入水、醋酸和異丙醇，然后再室溫下進(jìn)行攪拌，攪拌至氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦全部溶解為止，得到淺黃色透明溶液；

步驟二：制備薄膜材料

(1)使用Pt/Ti/SiO₂/Si(100)基片。將步驟一配置好的溶液滴到基片上旋涂，轉(zhuǎn)速為1500轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為10秒，接下來(lái)調(diào)高轉(zhuǎn)速為4000轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為40秒，得到原料膜；

(2)將原料膜120℃干燥10分鐘，電爐中350℃熱分解有機(jī)物10分鐘，升溫到600℃退火30分鐘后空冷；

(3)重復(fù)(2)-(3)步驟過(guò)程3次，制得200nm厚的金-鋯鈦酸鉛鐵電納米復(fù)合薄膜；

(4)采用真空濺射技術(shù)在金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜表面鍍50nm厚的鉑電極，鉑電極的面積為0.1963mm²。

所得金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜的剩余極化變?yōu)?9.4μC/cm²(見(jiàn)圖2)。

對(duì)比例1(摩爾組成為Au:0mol％，Pb(Zr,Ti)O₃:100mol％)

步驟一：配制溶液

以水、醋酸和異丙醇為溶劑，氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦為溶質(zhì)，按照Pb:Ti:Zr摩爾比為5:3:2，按照Au:Pb(Zr,Ti)O₃的摩爾比為0:1，稱取氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦，以0.4mol/L的濃度標(biāo)準(zhǔn)分別加入水、醋酸和異丙醇，然后再室溫下進(jìn)行攪拌，攪拌至氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦全部溶解為止，得到淺黃色透明溶液；

步驟二：制備薄膜材料

(1)使用Pt/Ti/SiO₂/Si(100)基片。將步驟一配置好的溶液滴到基片上旋涂，轉(zhuǎn)速為1500轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為10秒，接下來(lái)調(diào)高轉(zhuǎn)速為4000轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為40秒，得到原料膜；

(2)將原料膜120℃干燥10分鐘，350℃熱分解有機(jī)物10分鐘，然后在600℃電爐中退火30分鐘；

(3)重復(fù)(2)-(3)步驟過(guò)程3次，制得200nm厚的金-鋯鈦酸鉛鐵電納米復(fù)合薄膜；

(4)采用真空濺射技術(shù)在金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜表面鍍50nm厚的鉑電極，鉑電極的面積為0.1963mm²。

所得鋯鈦酸鉛鐵電薄膜的剩余極化強(qiáng)度為53.3μC/cm²。

對(duì)比例2(摩爾組成為Au:0mol％，PbTiO₃:100mol％)

步驟一：配制溶液

以水、醋酸和異丙醇為溶劑，氯金酸、乙酸鉛、異丙醇鈦為溶質(zhì)，按照Au:PbTiO₃的摩爾比為0:1，稱取氯金酸、乙酸鉛、異丙醇鈦，以0.4mol/L的濃度標(biāo)準(zhǔn)分別加入水、醋酸和異丙醇，然后再室溫下進(jìn)行攪拌，攪拌至氯金酸、乙酸鉛、異丙醇鈦全部溶解為止，得到淺黃色透明溶液；

步驟二：制備薄膜材料

(1)使用Pt/Ti/SiO₂/Si(100)基片。將步驟一配置好的溶液滴到基片上旋涂，轉(zhuǎn)速為1500轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為10秒，接下來(lái)調(diào)高轉(zhuǎn)速為4000轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為40秒，得到原料膜；

(2)將原料膜120℃干燥10分鐘，350℃熱分解有機(jī)物10分鐘，然后在600℃電爐中退火30分鐘；

(3)重復(fù)(2)-(3)步驟過(guò)程3次，制得200nm厚的金-鋯鈦酸鉛鐵電納米復(fù)合薄膜；

(4)采用真空濺射技術(shù)在金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜表面鍍50nm厚的鉑電極，鉑電極的面積為0.1963mm²。

所得鋯鈦酸鉛鐵電薄膜的剩余極化強(qiáng)度為35.0μC/cm²。

對(duì)比例3(摩爾組成為Au:0mol％，Pb(Zr_0.2Ti_0.8)O₃:100mol％)

步驟一：配制溶液

以水、醋酸和異丙醇為溶劑，氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦為溶質(zhì)，按照Pb:Ti:Zr摩爾比為5:1:4，按照Au:Pb(Zr_0.2Ti_0.8)O₃的摩爾比為0:1，稱取氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦，以0.4mol/L的濃度標(biāo)準(zhǔn)分別加入水、醋酸和異丙醇，然后再室溫下進(jìn)行攪拌，攪拌至氯金酸、乙酸鉛、正丙醇鋯和異丙醇鈦全部溶解為止，得到淺黃色透明溶液；

步驟二：制備薄膜材料

(1)使用Pt/Ti/SiO₂/Si(100)基片。將步驟一配置好的溶液滴到基片上旋涂，轉(zhuǎn)速為1500轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為10秒，接下來(lái)調(diào)高轉(zhuǎn)速為4000轉(zhuǎn)/分，時(shí)間為40秒，得到原料膜；

(2)將原料膜120℃干燥10分鐘，350℃熱分解有機(jī)物10分鐘，然后在600℃電爐中退火30分鐘；

(3)重復(fù)(2)-(3)步驟過(guò)程3次，制得200nm厚的金-鋯鈦酸鉛鐵電納米復(fù)合薄膜；

(4)采用真空濺射技術(shù)在金-鋯鈦酸鉛納米復(fù)合鐵電薄膜表面鍍50nm厚的鉑電極，鉑電極的面積為0.1963mm²。

所得鋯鈦酸鉛鐵電薄膜的剩余極化強(qiáng)度為17μC/cm²。

上述實(shí)施例只為說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本發(fā)明所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。