技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)涉及導(dǎo)電結(jié)構(gòu)、包含導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)及裝置，及相關(guān)方法。導(dǎo)電結(jié)構(gòu)包含多個(gè)導(dǎo)電臺(tái)階及至少部分地延伸穿過所述多個(gè)導(dǎo)電臺(tái)階的觸點(diǎn)，所述觸點(diǎn)與所述多個(gè)導(dǎo)電臺(tái)階中的至少一者連通且與所述導(dǎo)電臺(tái)階中的至少另一者絕緣。裝置可包含此些導(dǎo)電結(jié)構(gòu)。系統(tǒng)可包含半導(dǎo)體裝置及階梯狀導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，所述階梯狀導(dǎo)電結(jié)構(gòu)具有延伸穿過所述階梯狀導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的臺(tái)階的多個(gè)觸點(diǎn)。形成導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的方法包含在穿過導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的至少一個(gè)導(dǎo)電臺(tái)階形成的接觸孔中形成觸點(diǎn)。在階梯狀導(dǎo)電結(jié)構(gòu)中形成電連接的方法包含在穿過所述階梯狀導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的每一臺(tái)階形成的接觸孔中形成觸點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：邁克爾·A·史密斯;艾瑞克·H·福瑞曼
受保護(hù)的技術(shù)使用者：美光科技公司
文檔號(hào)碼：201610935237
技術(shù)研發(fā)日：2012.05.23
技術(shù)公布日：2017.06.13