1.一種導(dǎo)電結(jié)構(gòu),其包括:
多種導(dǎo)電材料的經(jīng)堆疊塊體,其沿所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)橫向延伸,多種導(dǎo)電材料的所述塊體中的每種導(dǎo)電材料通過絕緣材料與多種導(dǎo)電材料的所述塊體中的鄰近導(dǎo)電材料至少部分地分離;及
多個觸點,其包括第一觸點和其他觸點,多個觸點中的每一觸點從所述多個觸點中的剩余觸點橫向偏移且延伸穿過多種導(dǎo)電材料的所述塊體中的相應(yīng)至少一種導(dǎo)電材料,其中所述多個觸點中的每一觸點連通多種導(dǎo)電材料的所述塊體中的相應(yīng)至少一種導(dǎo)電材料,且與多種導(dǎo)電材料的所述塊體中的至少另一種導(dǎo)電材料分離,且其中所述其他觸點中的每一觸點比所述多個觸點中的至少一個鄰近觸點延伸穿過多種導(dǎo)電材料的所述塊體中的至少一種其他導(dǎo)電材料。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu),其中所述多個觸點中的每個觸點包括具有第一寬度的近端部分和具有大于所述第一寬度的第二寬度的遠(yuǎn)端部分,且其中所述多個觸點中的每一觸點在具有所述第二寬度的所述遠(yuǎn)端部分處連通所述相應(yīng)至少一種導(dǎo)電材料。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu),其中所述多個觸點中的每一觸點貫穿下伏于所述相應(yīng)觸點的多種導(dǎo)電材料的塊體中的每種導(dǎo)電材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu),其中多種導(dǎo)電材料的所述塊體包括多個導(dǎo)電臺階,所述多個導(dǎo)電臺階中的每一導(dǎo)電臺階具有從鄰近臺階的橫向端部分橫向偏移的橫向端部分。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu),其中所述多個觸點中的每一觸點延伸穿過且連通所述多個導(dǎo)電臺階中的一個導(dǎo)電臺階的一個橫向端部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu),其中所述多個觸點中的每個觸點連通多種導(dǎo)電材料的所述塊體的不同導(dǎo)電材料。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu),其中多種導(dǎo)電材料的所述塊體中的每種導(dǎo)電材料包含從多種導(dǎo)電材料的所述塊體中的鄰近導(dǎo)電材料的觸點部分橫向偏移的觸點部分,其中所述多個觸點中的每個觸點在所述相應(yīng)至少一種導(dǎo)電材料的所述觸點部分處連通所述相應(yīng)至少一種導(dǎo)電材料。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu),其進(jìn)一步包括互連件,所述多個觸點中的每一觸點連通所述互連件,其中所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)覆蓋所述互連件,且其中所述多個觸點中的每一觸點延伸穿過所述相應(yīng)至少一種導(dǎo)電材料至所述互連件。
9.一種導(dǎo)電結(jié)構(gòu),其包括:
多個導(dǎo)電臺階,其沿所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)橫向延伸,所述多個導(dǎo)電臺階中的每一導(dǎo)電臺階通過絕緣材料與所述多個導(dǎo)電臺階中的鄰近導(dǎo)電臺階至少部分地分離;
多個觸點,其包括:
第一觸點,其貫穿且延伸穿過所述多個導(dǎo)電臺階中的至少一個導(dǎo)電臺階,其中所述第一觸點連通所述至少一個導(dǎo)電臺階;及
第二觸點,其貫穿且延伸穿過所述多個導(dǎo)電臺階中的所述至少一個導(dǎo)電臺階和至少另一導(dǎo)電臺階,其中所述第二觸點連通所述至少另一導(dǎo)電臺階且與所述至少一個導(dǎo)電臺階絕緣;及
互連件,其連通所述第一觸點以及所述第二觸點,其中所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)覆蓋所述互連件,且其中所述第一觸點和所述第二觸點延伸至所述互連件。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的導(dǎo)電結(jié)構(gòu),其中所述第一觸點和所述第二觸點中的每一者包括具有第一寬度的第一部分和具有大于所述第一寬度的第二寬度的第二部分,其中所述第一觸點在具有所述第一觸點的所述第二寬度的所述第二部分處連通所述至少一個導(dǎo)電臺階,且其中所述第二觸點在具有所述第二觸點的所述第二寬度的所述第二部分處連通所述至少另一導(dǎo)電臺階。
11.一種裝置,其包括:
多個存儲器單元;及
導(dǎo)電結(jié)構(gòu),包括:
多種導(dǎo)電材料,所述多種導(dǎo)電材料中的每種導(dǎo)電材料連通所述多個存儲器單元中的相應(yīng)至少一個存儲器單元;以及
多個觸點,每一觸點延伸穿過所述多種導(dǎo)電材料中的至少一種導(dǎo)電材料,所述多個觸點中的每一觸點與所述多種導(dǎo)電材料中的相應(yīng)至少一種導(dǎo)電材料電連通,且經(jīng)由至少部分地安置于所述觸點和所述另一種導(dǎo)電材料之間的絕緣材料而與所述多種導(dǎo)電材料中的另一種導(dǎo)電材料絕緣,其中所述多個觸點中的每一觸點包括具有第一寬度的第一部分和具有大于所述第一寬度的第二寬度的第二部分,且其中所述多個觸點中的每一觸點在具有所述第二寬度的所述第二部分處貫穿且連通所述相應(yīng)至少一種導(dǎo)電材料。
12.一種形成導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的方法,所述方法包括:
形成貫穿多個導(dǎo)電板的多個開口,每一導(dǎo)電板由相應(yīng)絕緣材料至少部分地分離;
在所述多個開口的每一開口中形成絕緣襯里;
在所述多個開口的每一開口中暴露所述多個導(dǎo)電板的相應(yīng)至少一個導(dǎo)電板的一部分;及
在所述多個開口的每一開口中形成連通所述多個導(dǎo)電板的所述相應(yīng)至少一個導(dǎo)電板的經(jīng)暴露部分的相應(yīng)觸點。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法,其進(jìn)一步包括形成每一觸點,所述每一觸點具有連通所述相應(yīng)至少一個導(dǎo)電板的相應(yīng)部分,所述相應(yīng)部分的寬度大于所述觸點的另一部分的寬度。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法,其進(jìn)一步包括形成所述多個導(dǎo)電板以包含多個臺階,每一臺階具有從所述多個臺階中的鄰近臺階的橫向端部分橫向偏移的橫向端部分。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法,其中形成貫穿多個導(dǎo)電板的多個開口包括形成每一開口以延伸穿過所述多個臺階的一個臺階的所述橫向端部分且延伸穿過下伏于所述一個臺階的所述橫向端部分的所述多個臺階的每一臺階。
16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法,其中在所述多個開口的每一開口中暴露所述多個導(dǎo)電板中相應(yīng)至少一個導(dǎo)電板的一部分包括移除所述絕緣襯里的一部分以至少暴露所述多個導(dǎo)電板中所述相應(yīng)至少一個導(dǎo)電板的橫向側(cè)表面。
17.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法,其進(jìn)一步包括在所述多個開口的每一開口中形成所述相應(yīng)觸點之前在所述多個開口的每一開口中形成導(dǎo)電襯里。
18.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法,其中形成貫穿多個導(dǎo)電板的多個開口包括:
在所述多個導(dǎo)電板和所述多種絕緣材料上形成包含多個孔口的掩模;及
經(jīng)由所述多個孔口移除所述多個導(dǎo)電板和所述多種絕緣材料的一部分以形成多個接觸孔。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法,其中形成所述多個接觸孔包括:
在所述多個孔口處移除所述掩模的一部分以增加形成于所述掩模中的所述多個孔口的尺寸以在所述掩模中形成多個經(jīng)擴大孔口;及
經(jīng)由所述多個經(jīng)擴大孔口移除所述多種絕緣材料中的至少一種絕緣材料。
20.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法,其中形成貫穿多個導(dǎo)電板的多個開口包括:
在所述多個導(dǎo)電板和所述多種絕緣材料上形成包含多個孔口的掩模;
經(jīng)由所述多個孔口移除所述多種絕緣材料的至少一種絕緣材料的一部分以形成所述開口的經(jīng)擴大遠(yuǎn)端部分;
至少部分地在所述開口的每一者的經(jīng)擴大遠(yuǎn)端部分內(nèi)形成材料,以在所述掩模中形成多個經(jīng)縮窄孔口,所述經(jīng)縮窄孔口具有小于所述孔口的寬度的寬度;及
經(jīng)由形成于所述掩模中的多個經(jīng)縮窄孔口移除所述多個導(dǎo)電板和所述多種絕緣材料的一部分。