技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種晶圓腐蝕裝置，其特征在于它包括：支架（1），在支架（1）上設(shè)有電機(jī)（2），在電機(jī)（2）的輸出端上設(shè)有連接桿（3），在連接桿（3）的端部設(shè)有粘片頭（4），設(shè)置一個(gè)與粘片頭（4）對(duì)應(yīng)配合的腐蝕槽主體（5）。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、工藝操作易于實(shí)現(xiàn)、成本低、可靠性高等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：趙建強(qiáng);張偉;姜楠;陳計(jì)學(xué)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北方電子研究院安徽有限公司
文檔號(hào)碼：201610921655
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.20
技術(shù)公布日：2017.01.25