1.一種晶圓腐蝕裝置，其特征在于它包括：支架（1），在支架（1）上設(shè)有電機(jī)（2），在電機(jī)（2）的輸出端上設(shè)有連接桿（3），在連接桿（3）的端部設(shè)有與晶圓對(duì)應(yīng)配合的粘片頭（4），所述的粘片頭（4）與晶圓通過(guò)粘合劑配合連接，設(shè)置一個(gè)與粘片頭（4）對(duì)應(yīng)配合的腐蝕槽主體（5），在腐蝕槽主體（5）內(nèi)通入氣體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種晶圓腐蝕裝置，其特征在于：所述的粘合劑是質(zhì)量比1:1的松香和蜂蠟加熱熔化的混合物。
3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種晶圓腐蝕裝置，其特征在于：在所述的支架（1）上設(shè)有一個(gè)覆蓋電機(jī)的罩殼（6）。
4.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種晶圓腐蝕裝置，其特征在于：所述的腐蝕槽主體（5）包括槽體（5a）,在槽體（5a）底部的一側(cè)設(shè)有氣腔（5b）,在氣腔（5b）一側(cè)設(shè)有轉(zhuǎn)接頭（5c）, 轉(zhuǎn)接頭（5c）上連通有氮?dú)夤埽?d）,在槽體（5a）底部設(shè)有一組與氣腔（5b）相通的氣孔（5e）。
5.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種晶圓腐蝕裝置，其特征在于：所述的電機(jī)（2）的輸出端與連接桿（3）通過(guò)聯(lián)軸器（2a）配合連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任意一項(xiàng)所述的一種晶圓腐蝕裝置的腐蝕方法，其特征在于它包括以下步驟：a、將粘合劑涂于粘片頭上，在粘合劑凝固前快速將晶圓背面貼在粘片頭上，使晶圓邊緣被粘合劑全部覆蓋，待粘合劑冷卻凝固后，用毛刷沾取丙酮將晶圓邊緣腐蝕面的粘合劑清除掉；
b、將配好的腐蝕液倒入腐蝕槽主體內(nèi)，在腐蝕槽主體內(nèi)通入氣體，使腐蝕液中形成均勻氣泡，將帶有腐蝕晶圓的粘片頭放入腐蝕液中，而后啟動(dòng)電機(jī)，帶動(dòng)粘片頭在溶液中旋轉(zhuǎn)，腐蝕完成后，在高純水中沖洗粘片頭，而后將晶圓表面吹干，及腐蝕完成；
c、當(dāng)晶圓與粘片頭分離時(shí)，將粘片頭浸于丙酮中，再加熱丙酮，以便凝固的粘合劑融化，從而使晶圓與粘片頭分離，將分離的晶圓，浸于甲苯中，再加熱甲苯，以便去除殘余的粘合劑，而后將晶圓放入晶圓盒中。