光電混載柔性印刷布線板的制造方法和光電混載柔性印刷布線板的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明目的在于兼顧光半導(dǎo)體元件與柔性印刷布線板間的接合強度和光半導(dǎo)體元件的搭載位置精度。根據(jù)本發(fā)明的一個方式的制造方法，具備：在將包覆層3a和芯層貼合之后，通過使所述芯層模式化來形成一端的寬度比面發(fā)光元件4的發(fā)光部4a大且另一端的寬度比面光接收元件5的光接收部5a小的芯3b的工序；通過以包覆芯3b的方式將具有可撓性的包覆層3c貼合于包覆層3a來制作柔性光波導(dǎo)3的工序；經(jīng)由粘接劑片材6將柔性光波導(dǎo)3貼合于柔性印刷布線板2的下表面的規(guī)定的位置的工序；以及通過加工柔性光波導(dǎo)3來在芯3b的一端和另一端分別形成利用在端面的光反射對信號光的光路進行變換的光路變換反射鏡7、8的工序。
【專利說明】光電混載柔性印刷布線板的制造方法和光電混載柔性印刷布線板

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光電混載柔性印刷布線板的制造方法，更詳細而言，涉及具備柔性印刷布線板和設(shè)置于該柔性印刷布線板的柔性光波導(dǎo)的光電混載柔性印刷布線板的制造方法和光電混載柔性印刷布線板。

【背景技術(shù)】
[0002]近年，電子設(shè)備的小型化和高功能化日益發(fā)展，隨此，柔性印刷布線板以筆記本計算機、數(shù)字?jǐn)z像機、便攜式電話、游戲機等小型電子設(shè)備為中心而被廣泛使用。
[0003]上述的電子設(shè)備所用的信息量特別趨于增加，信號傳輸速度日益高速化。例如，在計算機的情況下，從2010年到2011年傳輸速度向6Gbps的規(guī)范轉(zhuǎn)移，考慮傳輸線路中的信號損失的重要性日益增加。
[0004]另外，由于近年以高速發(fā)送脈沖信號，所以信號源的信號振幅電壓趨于低電壓化。因此，由于從外部或信號源自身發(fā)射的尖峰噪聲而變?yōu)檎_的信號傳輸容易被妨礙的狀況。通常，進行高速信號傳輸?shù)幕寰哂羞M行了阻抗匹配的傳輸線路。然而，即使在使用這樣的基板的情況下，也正變?yōu)椴荒苋菰S傳輸線路中的信號損失的狀況。
[0005]對于上述的尖峰噪聲，需要在傳輸線路、電子設(shè)備中采取噪聲對策。具體而言，對于傳輸線路必須設(shè)置電磁屏蔽，但由于設(shè)置電磁屏蔽而使傳輸線路的厚度增加。因此，例如，存在難以確保連結(jié)筆記本計算機的顯示器和鍵盤的鉸鏈的彎曲性的情況。
[0006]于是，為了解決高速傳輸電信號時的傳輸損失、噪聲耐受性的問題而討論了將在長距離信號傳輸?shù)念I(lǐng)域中被實用化的利用光纖的高速信號傳輸技術(shù)應(yīng)用于上述的小型電子設(shè)備。
[0007]進而，已知有為了將利用光的高速信號傳輸技術(shù)應(yīng)用于筆記本計算機的鉸鏈等而將由具有可撓性的有機聚合物構(gòu)成的聚合物光波導(dǎo)和柔性印刷布線板(以下，也簡稱為“FPC”)進行了組合的光電混載柔性印刷布線板(例如，參照專利文獻1~3)。
[0008]現(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻
專利文獻1:特開2010-054617號公報；
專利文獻2:特開2009-58923號公報；
專利文獻3:特開2010-286777號公報。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]發(fā)明要解決的課題
面型的光半導(dǎo)體元件(面發(fā)光元件或面光接收元件)被安裝于光電混載柔性印刷布線板的FPC，以使得能經(jīng)由柔性光波導(dǎo)進行通信。關(guān)于光半導(dǎo)體元件的搭載位置，有嚴(yán)格的條件。因此，即使回流的加熱溫度是光半導(dǎo)體元件的耐熱溫度(例如，300° C)以下，光半導(dǎo)體元件的安裝通常也不是通過回流而是通過超聲波接合(金-金超聲波接合等)來進行。其理由在于，在回流的情況下，由于焊膏的熔融而造成載置在FPC上的光半導(dǎo)體元件從規(guī)定的位置移動，因此，難以滿足搭載位置精度(例如，±10ym以下)。
[0010]另一方面，在超聲波接合的情況下，在向FPC的厚度方向施加適當(dāng)?shù)膲毫Φ臓顟B(tài)下，施加在FPC的面方向上行進的超聲波。通過被超聲波誘發(fā)的原子擴散來電接合光半導(dǎo)體元件的電極和FPC的焊盤。因此，期待安裝工序中的光半導(dǎo)體元件的位置偏移變得比回流的情況小。
[0011]然而，實際上，在對光電混載柔性印刷布線板使用了超聲波接合的情況下，產(chǎn)生了以下新的問題。
[0012]光電混載柔性印刷布線板的柔性光波導(dǎo)由有機聚合物等彈性率低的材料構(gòu)成。因此，難以使進行超聲波接合時被施加的壓力、超聲波有效地作用于光電混載柔性印刷布線板。即，即使厚度方向的壓力增加，但與其相應(yīng)地柔性光波導(dǎo)發(fā)生變形，因此，不對光半導(dǎo)體元件和FPC接觸的部分施加充分的壓力。因而，存在不能得到光半導(dǎo)體元件和FPC間的充分的接合強度這樣的問題。
[0013]對于該問題，為了確保充分的接合強度，可想到將超聲波輸出設(shè)定得高。然而，在使超聲波輸出變高的情況下，超聲波的振幅也變大，光半導(dǎo)體元件的搭載位置精度降低。設(shè)想，由于搭載位置的偏移而造成信號光的一部分變?yōu)椴徽丈湓诠饴纷儞Q反射鏡的事態(tài)。這樣，接合強度和搭載位置精度處于權(quán)衡的關(guān)系而有當(dāng)使接合強度增加時搭載位置精度降低這樣的問題。
[0014]如上所述，歷來，難以兼顧接合強度和位置精度，這成為使光電混載柔性印刷布線板的成品率降低的主要原因。
[0015]本發(fā)明是基于上述的技術(shù)性認識而完成的，其目的在于兼顧光半導(dǎo)體元件與柔性印刷布線板間的接合強度和光半導(dǎo)體元件的搭載位置精度而改善光電混載柔性印刷布線板的成品率。
[0016]用于解決課題的方案
根據(jù)本發(fā)明的一個方式的光電混載柔性印刷布線板的制造方法，具備:具有第一主面和所述第一主面的相反側(cè)的第二主面的柔性印刷布線板、沿著所述柔性印刷布線板的所述第一主面而設(shè)置的柔性光波導(dǎo)、以及均安裝于所述柔性印刷布線板的所述第二主面的面發(fā)光元件和面光接收元件，其特征在于，具備:在將具有可撓性的第一包覆層和具有可撓性的芯層貼合之后，通過使所述芯層模式化(pattern)來形成一端的寬度比所述面發(fā)光元件的發(fā)光部大且另一端的寬度比所述面光接收元件的光接收部小的芯的工序；通過以包覆所述芯的方式將具有可撓性的第二包覆層貼合于所述第一包覆層來制作所述柔性光波導(dǎo)的工序；經(jīng)由粘接劑片材將所述柔性光波導(dǎo)貼合于所述柔性印刷布線板的所述第一主面的規(guī)定的位置的工序；以及通過加工被貼合于所述柔性印刷布線板的所述柔性光波導(dǎo)來在所述芯的所述一端和所述另一端分別形成利用在端面的光反射對信號光的光路進行變換的第一光路變換反射鏡和第二光路變換反射鏡的工序。
[0017]此外，根據(jù)本發(fā)明的其他方式的光電混載柔性印刷布線板的制造方法，具備:具有第一主面和所述第一主面的相反側(cè)的第二主面的柔性印刷布線板、沿著所述柔性印刷布線板的所述第一主面而設(shè)置的柔性光波導(dǎo)、以及均安裝于所述柔性印刷布線板的所述第二主面的面發(fā)光元件和面光接收元件，其特征在于，具備:將具有可撓性和粘接性的第一包覆層貼合于所述柔性印刷布線板的所述第一主面的規(guī)定的位置的工序；將具有可撓性的芯層貼合于所述柔性印刷布線板上的所述第一包覆層的工序；通過使所述芯層模式化來形成一端的寬度比所述面發(fā)光元件的發(fā)光部大且另一端的寬度比所述面光接收元件的光接收部小的芯的工序；通過以包覆所述芯的方式將具有可撓性的第二包覆層貼合于所述第一包覆層來制作所述柔性光波導(dǎo)的工序；以及通過加工所述柔性光波導(dǎo)來在所述芯的所述一端和所述另一端分別形成利用在端面的光反射對信號光的光路進行變換的第一光路變換反射鏡和第二光路變換反射鏡的工序。
[0018]本發(fā)明的一個方式的光電混載柔性印刷布線板，其特征在于，具備:柔性印刷布線板，具有第一主面和所述第一主面的相反側(cè)的第二主面，且在所述第二主面設(shè)有第一和第二焊盤；柔性光波導(dǎo)，具有芯和包覆所述芯的外圍的包覆物，沿著所述柔性印刷布線板的所述第一主面而被設(shè)置，在所述柔性光波導(dǎo)的一端和另一端分別設(shè)有利用在端面的光反射來變換信號光的光路的第一和第二光路變換反射鏡；面發(fā)光元件，具有出射信號光的發(fā)光部和與所述發(fā)光部設(shè)在相同面的第一電極，以從所述發(fā)光部出射的信號光在所述第一光路變換反射鏡反射而在所述柔性光波導(dǎo)的芯內(nèi)傳播的方式被安裝于所述柔性印刷布線板的所述第二主面；以及面光接收元件，具有對信號光進行光接收的光接收部和與所述光接收部設(shè)在相同面的第二電極，以在所述第二光路變換反射鏡反射的信號光入射到所述光接收部的方式被安裝于所述柔性印刷布線板的所述第二主面，所述芯的所述一端的寬度比所述發(fā)光部大且所述芯的所述另一端的寬度比所述光接收部小，所述面發(fā)光元件的所述第一電極通過超聲波接合與所述柔性印刷布線板的所述第一焊盤電連接，所述面光接收元件的所述第二電極通過超聲波接合與所述柔性印刷布線板的所述第二焊盤電連接。
[0019]發(fā)明效果
根據(jù)本發(fā)明，能通過形成一端的寬度比面發(fā)光元件的發(fā)光部大且另一端的寬度比面光接收元件的光接收部小的芯來增加面發(fā)光元件和面光接收元件的、對于芯寬度方向的搭載位置偏移的容限(容許量)。由此，即使為了確保接合強度而將超聲波輸出設(shè)定得高，也能將信號光功率的減少率抑制得低。
[0020]因而，根據(jù)本發(fā)明，能兼顧光半導(dǎo)體元件與柔性印刷布線板間的接合強度和光半導(dǎo)體元件的搭載位置精度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]圖1A是用于說明本發(fā)明的第一實施方式的光電混載柔性印刷布線板的制造方法的圖。
[0022]圖1B是接著圖1A的用于說明本發(fā)明的第一實施方式的光電混載柔性印刷布線板的制造方法的圖。
[0023]圖1C是接著圖1B的用于說明本發(fā)明的第一實施方式的光電混載柔性印刷布線板的制造方法的圖。
[0024]圖1D是接著圖1C的用于說明本發(fā)明的第一實施方式的光電混載柔性印刷布線板的制造方法的圖。
[0025]圖1E是示出本發(fā)明的第一實施方式的光電混載柔性印刷布線板的概略性結(jié)構(gòu)的截面圖。
[0026]圖2A是用于說明本發(fā)明的第二實施方式的光電混載柔性印刷布線板的制造方法的圖。
[0027]圖2B是接著圖2A的用于說明本發(fā)明的第二實施方式的光電混載柔性印刷布線板的制造方法的圖。
[0028]圖2C是接著圖2B的用于說明本發(fā)明的第二實施方式的光電混載柔性印刷布線板的制造方法的圖。
[0029]圖2D是示出本發(fā)明的第二實施方式的光電混載柔性印刷布線板的概略性結(jié)構(gòu)的截面圖。
[0030]圖3是示出柔性光波導(dǎo)的芯形狀的示例的平面圖。
[0031]圖4示出通過模擬信號光功率的減少率而求得的結(jié)果。

【具體實施方式】
[0032]以下，一邊參照附圖一邊對本發(fā)明的實施方式進行說明。在各圖中對具有同等功能的構(gòu)成要素附加相同的附圖標(biāo)記，省略了相同附圖標(biāo)記的構(gòu)成要素的詳細說明。此外，附圖是示意性的，厚度與平面尺寸的關(guān)系、各層的厚度的比率等與現(xiàn)實的不同。此外，實施方式的說明中的數(shù)值均是例示性的值，本發(fā)明不限定于那些值。
[0033](第一實施方式)
首先，對第一實施方式的光電混載柔性印刷布線板的概略性的結(jié)構(gòu)進行說明。
[0034]圖1E不出了第一實施方式的光電混載柔性印刷布線板I的截面圖。如圖1E所不，根據(jù)本實施方式的光電混載柔性印刷布線板I具備:具有可撓性的柔性印刷布線板2、經(jīng)由粘接劑片材6被貼合于柔性印刷布線板2的下表面(第一主面)的具有可撓性的柔性光波導(dǎo)3、被安裝于柔性印刷布線板2的上表面(第二主面)的面發(fā)光元件4和面光接收元件5。再有，在以下的說明中，存在將面發(fā)光元件4和面光接收元件5統(tǒng)稱為光半導(dǎo)體元件的情況。
[0035]如圖1E所示，由面發(fā)光元件4和面光接收元件5夾著的區(qū)域為光電混載柔性印刷布線板I的線纜部。光電混載柔性印刷布線板I能在線纜部進行彎曲。
[0036]柔性印刷布線板2具有聚酰亞胺等絕緣基膜，在上表面(第二主面)設(shè)有面發(fā)光元件4用的焊盤2a和面光接收元件5用的焊盤2b。該焊盤2a、2b與布線圖案(未圖示)呈一體地設(shè)置。焊盤2a、2b例如是將銅箔加工為規(guī)定的形狀并對表面進行了鍍金。再有，雖然未圖示，但在柔性印刷布線板2除了光半導(dǎo)體元件與柔性光波導(dǎo)的位置對準(zhǔn)用的目標(biāo)標(biāo)記之外還形成有光半導(dǎo)體元件驅(qū)動用的電路、信號變換用的電路布線等。
[0037]再有，在圖1E中，作為柔性印刷布線板2示出了單層的單面柔性印刷布線板，但不限于此。柔性印刷布線板2例如既可以是不僅在上表面也在下表面設(shè)有布線圖案的雙面柔性印刷布線板，或者也可以是多層柔性印刷布線板。
[0038]柔性光波導(dǎo)3具有由包覆層3a、3b構(gòu)成的包覆物和被加工為規(guī)定的形狀的芯3b。芯3b的外圍被包覆物包覆。芯的折射率比包覆物的折射率高。在后面對芯3b的形狀進行詳細敘述。
[0039]此外，如圖1E所示，在柔性光波導(dǎo)3的一端和另一端分別設(shè)有利用在端面的光反射對信號光的光路進行變換的光路變換反射鏡7、8。如圖1E所示，這些光路變換反射鏡7、8被設(shè)于信號光的光路。
[0040] 面發(fā)光元件4和面光接收元件5通常是裸片型元件。面發(fā)光元件4具有出射信號光的發(fā)光部4a和與發(fā)光部4a設(shè)于相同面的電極4b。電極4b通過超聲波接合與焊盤2a電連接。作為該面發(fā)光元件4，使用了例如VCSEL (Vertical Cavity Surface EmittingLASER:垂直腔面發(fā)射激光器)。面光接收元件5具有對信號光進行光接收的光接收部5a和與光接收部5a設(shè)于相同面的電極5b。電極5b通過超聲波接合與焊盤2b電連接。作為該面光接收元件5，使用了對面發(fā)光元件4的波長(例如850nm)具有靈敏度的光電二極管。[0041 ] 再有，在面發(fā)光元件4和面光接收元件5的安裝工序中，在作為超聲波接合使用了金-金超聲波接合的情況下，預(yù)先對電極4b、5b的表面進行鍍金。
[0042]關(guān)于面發(fā)光元件4和面光接收元件5的尺寸，一邊的長度為約0.3mm。發(fā)光部4a的直徑為約30 μ m，光接收部5a的直徑為約80 μ m。
[0043]接下來，使用圖認~圖1E來說明第一實施方式的光電混載柔性印刷布線板的制造方法。
[0044]首先，如圖1A (I)所示，將具有可撓性的包覆層3a和具有可撓性的芯層貼合。包覆層3a和芯層的厚度分別是例如20 μπι和50 μm。其后，通過使該芯層模式化來形成一端的寬度(Wl)比面發(fā)光元件4的發(fā)光部4a大且另一端的寬度(W2)比面光接收元件5的光接收部5a小的芯3b。寬度Wl和W2例如分別為80μπι和30μπι。再有，圖1A (1L)和(IR)分別是從左側(cè)和右側(cè)看圖1A (I)所示的包覆層3a和芯3b的側(cè)視圖。
[0045]在本工序中，芯3b的一端的寬度(Wl)優(yōu)選為以比照射在光路變換反射鏡7的信號光的、芯3b的寬度方向的直徑加上后述的超聲波接合工序中產(chǎn)生的面發(fā)光元件4的寬度方向的位置偏移量后的值大的方式來形成。另外，芯3b的另一端的寬度(W2)優(yōu)選為以比照射在光路變換反射鏡8的信號光的、芯3b的寬度方向的直徑加上后述的超聲波接合工序中產(chǎn)生的面光接收元件5的寬度方向的位置偏移量后的值大的方式來形成。
[0046]再有，作為芯層的加工方法，能列舉包括利用UV光的曝光工序和使用了堿性溶液(或有機溶劑)等的顯影工序的光刻手法。此外，不限于此，也可以使用光漂白手法或壓印手法。光漂白手法能從單一的材料僅通過曝光/加熱處理來制作具有折射率不同的芯和包覆物的聚合物光波導(dǎo)。由于能從單一的材料制作聚合物光波導(dǎo)，所以在成本上是有利的。此夕卜，壓印手法使用了具有與芯的圖案對應(yīng)的圖案的凹凸的原版。使該原版接觸于由UV固化型的折射率不同的透明的芯材料和包覆物材料構(gòu)成的光波導(dǎo)材料，其后，照射UV光來使芯材料固化。其后，通過從固化后的芯材料拉離原版而得到期望的光波導(dǎo)圖案。上述的光漂白手法和壓印手法均不需要顯影工序。此外，芯3b的平面形狀不限于直線狀，既可以是曲線狀，也可以是具有分歧的形狀。
[0047]接下來，如圖1B(2)所示，以包覆芯3b的方式將具有可撓性的包覆層3c貼合于包覆層3a。然后，通過用UV光或熱等使包覆層3a、3c和芯3b固化來制作柔性光波導(dǎo)3。包覆層3c的厚度例如為70 μ m。再有，圖1B (2L)和(2R)分別是從左側(cè)和右側(cè)看圖1B (2)所示的柔性光波導(dǎo)3的側(cè)視圖。柔性光波導(dǎo)3優(yōu)選為聚合物光波導(dǎo)，芯3b和包覆層3a、3c均由使用透明性高且柔軟的基體樹脂(丙烯酸樹脂等)的有機聚合物構(gòu)成。
[0048]接下來，如圖1C (3)所示，經(jīng)由粘接劑片材6 (片材狀的光學(xué)粘接劑)將柔性光波導(dǎo)3貼合于柔性印刷布線板2的下表面的規(guī)定的位置。其后，通過照射UV光等來使粘接劑片材6固化。
[0049]再有，粘接劑片材6優(yōu)選為在從面發(fā)光元件4出射的信號光的波長吸收少。在由粘接劑片材6造成的信號光的吸收是能容許的情況下，如圖1C (3)所示，也可以以跨信號光的光路的方式配置粘接劑片材6。另一方面，在不能容許的情況下，使用以避開光路的方式設(shè)置開口的粘接劑片材6。
[0050]此外，粘接劑片材6不需要遍及柔性光波導(dǎo)3的全體而設(shè)置，例如，也可以僅在柔性光波導(dǎo)3的端部設(shè)置粘接劑片材層6。
[0051]再有，柔性印刷布線板2的絕緣基膜的厚度例如是12.5μπι、25μπι或50μπι，焊盤2a,2b的厚度例如為12 μ m。
[0052]此外，在柔性印刷布線板2中，也可以在與光路對應(yīng)的區(qū)域設(shè)置貫通孔(未圖示)。由此，即使在由柔性印刷布線板2的絕緣基膜造成的信號光的吸收大的情況下，也能提高面光接收元件5接收的信號光的強度。
[0053]接下來，如圖1C (4)所述，對被貼合于柔性印刷布線板2的柔性光波導(dǎo)3進行加工。由此，在芯3b的一端形成光路變換反射鏡7，在芯3b的另一端形成光路變換反射鏡8。這些光路變換反射鏡7、8以與柔性印刷布線板2的下表面成規(guī)定的角度(例如45度)的方式而形成，其位置基于信號光的光路來決定。更具體而言，光路變換反射鏡7、8分別形成于面發(fā)光元件4的發(fā)光部4a和面光接收元件5的光接收部5a的安裝預(yù)定位置的正下方。
[0054]光路變換反射鏡7、8的形成例如通過切割加工中使用的圓形的刀片來進行。在該情況下，以精密級控制刀片的刃端與柔性印刷布線板2的間隔，形成與刀片的刃尖的形狀相應(yīng)的傾斜面。另外，也可以通過激光加工來形成光路變換反射鏡7、8。
[0055]在用密封樹脂10來保護光路變換反射鏡7、8的情況下，使用濺射法或沉積法等通過金(Au)等金屬膜(未圖示)來預(yù)先覆蓋光路變換反射鏡7、8。密封樹脂10既可以接著金屬膜的形成而形成，或者也可以在形成后述的密封樹脂11的工序中形成。
[0056]接下來，如圖1D (5)所示，將面發(fā)光元件4和面光接收元件5安裝于柔性印刷布線板2的上表面。更詳細而言，面發(fā)光元件4和面光接收元件5通過使用倒裝式焊接器等高精度的定位以光軸符合于光路變換反射鏡的方式進行安裝。
[0057]關(guān)于面發(fā)光元件4，以從發(fā)光部4a出射的信號光在光路變換反射鏡7反射而在芯3b內(nèi)傳播的方式安裝于柔性印刷布線板2。該安裝通過超聲波接合來進行。更詳細而言，對載置于柔性印刷布線板2的規(guī)定的位置的面發(fā)光元件4施加厚度方向的壓力，并對面發(fā)光元件4施加在芯3b的寬度方向S (短軸方向)上行進的超聲波。由此，面發(fā)光元件4的電極4b電連接于柔性印刷布線板2的焊盤2a。
[0058]關(guān)于面發(fā)光元件5，以在光路變換反射鏡8反射的信號光入射到面光接收元件5的光接收部5a的方式安裝于柔性印刷布線板2。該安裝通過超聲波接合來進行。更詳細而言，對載置于柔性印刷布線板2的規(guī)定的位置的面光接收元件5施加厚度方向的壓力，并對面光接收元件5施加在芯3b的寬度方向S (短軸方向)上行進的超聲波。由此，面光接收元件5的電極5b電連接于柔性印刷布線板2的焊盤2b。
[0059]再有，超聲波的施加方向S不限于圖1D的向下方向而也可以是向上方向。此外，為了避免由于回流工序而對光半導(dǎo)體元件加熱，優(yōu)選為在安裝光半導(dǎo)體元件之前，將光半導(dǎo)體元件的控制1C、無源元件等電子部件預(yù)先安裝于柔性印刷布線板2。
[0060]接下來，如圖1E所示，用透明性高的(即信號光的吸收少的)密封樹脂11固定面發(fā)光元件4和面光接收元件5。該密封樹脂11固定光半導(dǎo)體元件并且填充于光半導(dǎo)體元件與柔性印刷布線板2之間的空間，保護連接部分。再有，由于信號光在該密封樹脂11內(nèi)傳播，所以作為密封樹脂11優(yōu)選為使用透明性高的(即信號光的吸收少的)樹脂。此外，在用于通過信號光的貫通孔被設(shè)于柔性印刷布線板2的情況下，將密封樹脂11填充于該貫通孔，以使得不產(chǎn)生空洞。
[0061]在本工序中，也可以用密封樹脂10埋設(shè)由金屬膜覆蓋的光路變換反射鏡7、8。作為該密封樹脂10，也可以不考慮透明性而使用與密封樹脂11不同的樹脂。
[0062]經(jīng)過上述的工序，得到圖1E所示的光電混載柔性印刷布線板I。
[0063]如上所述，與面發(fā)光元件4的發(fā)光部4a的大小(Φ 30 μ m)相比，芯3b的輸入端的寬度(Wl=80 μπι)足夠大。進而，以在芯3b的寬度方向(超聲波的振動方向)上產(chǎn)生由于面發(fā)光元件4的超聲波接合而造成的位置偏移的方式，將在芯3b的寬度方向(短軸方向)上行進的超聲波施加于面發(fā)光元件4。由此，即使在為了確保接合強度而提高超聲波的輸出的情況下，也能將面發(fā)光元件4搭載于良好的搭載位置，即從面發(fā)光元件4出射的信號光不照射在光路變換反射鏡7之外的位置。這樣，即使由于提高超聲波輸出而在搭載位置產(chǎn)生偏移(例如±10~± 15 μ m)，從面發(fā)光元件4出射的信號光也照射在光路變換反射鏡7內(nèi)。
[0064]此外，與面光接收元件5的光接收部5a的大小(Φ 80 μ m)相比，芯3b的輸出端的寬度(W2=30 μπι)足夠小。進而，以在芯3b的寬度方向(超聲波的振動方向)上產(chǎn)生由于面光接收元件5的超聲波接合而造成的位置偏移的方式，將在芯3b的寬度方向(短軸方向)上行進的超聲波施加于面光接收元件5。由此，即使在為了確保接合強度而提高超聲波的輸出的情況下，也能將面光接收元件5搭載于良好的搭載位置，即在光路變換反射鏡8反射的信號光不照射在光接收部5a之外的位置。這樣，即使由于提高超聲波輸出而在搭載位置產(chǎn)生偏移(例如土 10~± 15 μ m)，在光路變換反射鏡8反射的信號光也入射到光接收部5a內(nèi)。
[0065]因而，根據(jù)本實施方式，能兼顧光半導(dǎo)體元件(面發(fā)光元件4、面光接收元件5)與柔性印刷布線板2間的接合強度和光半導(dǎo)體元件的搭載位置精度。其結(jié)果，能變得容易使光半導(dǎo)體元件的安裝工序穩(wěn)定化，而改善光電混載柔性印刷布線板的成品率。
[0066](第二實施方式)
接下來，對根據(jù)第二實施方式的光電混載柔性印刷布線板的制造方法進行說明。第二實施方式與第一實施方式的不同點之一是有無粘接劑片材6。以下，使用圖2A~圖2D以與第一實施方式不同的部分為中心進行說明。
[0067]圖2D示出了根據(jù)第二實施方式的光電混載柔性印刷布線板IA的截面圖。如圖2D所示，根據(jù)本實施方式的光電混載柔性印刷布線板IA具備:具有可撓性的柔性印刷布線板2、直接貼合于柔性印刷布線板2的下表面(第一主面)的具有可撓性的柔性光波導(dǎo)3、被安裝于柔性印刷布線板2的上表面(第二主面)的面發(fā)光元件4和面光接收元件5。包覆層3a具有粘接性，柔性光波導(dǎo)3不經(jīng)由粘接劑層而直接貼合于柔性印刷布線板2。再有，如圖2D所示，由面發(fā)光元件4和面光接收元件5夾著的區(qū)域為光電混載柔性印刷布線板IA的可彎曲的線纜部。
[0068]接下來，參照圖2A~圖2D并說明光電混載柔性印刷布線板IA的制造方法。圖2A的上側(cè)的圖示出了柔性印刷布線板2、包覆層3a以及芯3b的截面圖，下側(cè)的圖示出了包覆層3a和芯3b的仰視圖。圖2B的上側(cè)的圖示出了柔性印刷布線板2和柔性光波導(dǎo)3的截面圖，下側(cè)的圖示出了柔性光波導(dǎo)3的仰視圖。圖2C的上側(cè)的圖是安裝了面發(fā)光元件4和面光接收元件5的柔性印刷布線板2的俯視圖，下側(cè)的圖是其截面圖。
[0069]首先，如圖2A所示，將具有可撓性和粘接性的包覆層3a貼合于柔性印刷布線板2的下表面(第一主面)的規(guī)定的位置。再有，在貼合包覆層3a之后，為了使包覆層3a變化為期望的材料特性，也可以照射UV光等。
[0070]接下來，將具有可撓性的芯層貼合于柔性印刷布線板2上的包覆層3a。
[0071]再有，在使用了在信號光的光路設(shè)有貫通孔的柔性印刷布線板2的情況下，為了避免在貼合時包覆層、芯層的一部分進入到該貫通孔，優(yōu)選為使用容易得到平面性的平板按壓等。
[0072]接下來，如圖2A所示，通過使芯層模式化來形成一端的寬度比面發(fā)光元件4的發(fā)光部4a大且另一端的寬度比面光接收元件5的光接收部5a小的芯3b。芯3b的形成與在第一實施方式中說明的方法同樣地進行。再有，在通過光刻手法來加工芯層的情況下，也可以在本工序中形成柔性印刷布線板2的焊盤2a、2b。
[0073]接下來，如圖2B所示，以包覆芯3b的方式將具有可撓性的包覆層3c貼合于包覆層3a。作為包覆層3c，也可以使用與包覆層3a相同的材料。然后，通過用UV光或熱等使包覆層3a、3c以及芯3b固化來制作貼附于柔性印刷布線板2的柔性光波導(dǎo)3。
[0074]接下來，如圖2C所示，通過加工柔性光波導(dǎo)3來在芯3b的一端和另一端分別形成利用在端面的光反射對信號光的光路進行變換的光路變換反射鏡7和光路變換反射鏡8。光路變換反射鏡7,8的形成與在第一實施方式中說明的方法同樣地進行。
[0075]再有，在用密封樹脂10保護光路變換反射鏡7、8的情況下，如在第一實施方式中說明的那樣，利用金屬膜(未圖示)覆蓋光路變換反射鏡7、8。
[0076]接下來，如圖2C所示，與在第一實施方式中說明的方法同樣地，通過超聲波接合將面發(fā)光元件4和面光接收元件5安裝于柔性印刷布線板2的上表面。其后，如圖2D所示，用透明性高的密封樹脂11來固定面發(fā)光元件4和面光接收元件5。
[0077]經(jīng)過上述的工序，得到圖2D所示的光電混載柔性印刷布線板1A。
[0078]第二實施方式的制造方法取得與第一實施方式同樣的作用效果。g卩，根據(jù)第二實施方式，能兼顧光半導(dǎo)體元件與柔性印刷布線板2間的接合強度和光半導(dǎo)體元件的搭載位置精度。其結(jié)果，能變得容易使光半導(dǎo)體元件的安裝工序穩(wěn)定化，而改善光電混載柔性印刷布線板的成品率。
[0079](芯形狀的變形例)
在上述第一和第二實施方式中，芯的平面形狀是一樣的錐狀，但也能設(shè)想其他的芯形狀。關(guān)于芯的平面形狀，芯寬度以信號光的入射端的寬度比發(fā)光部4a寬、出射端比光接收部5a窄的方式變化即可。因而，作為芯，不僅可以是芯寬度從入射端到出射端連續(xù)變化的芯，還可以是芯寬度連續(xù)變化的區(qū)域和芯寬度一定的區(qū)域混在一起的芯。
[0080]使用圖3來對芯形狀的變形例進行說明。圖3 (a)、(b)、(c)是包覆層3a和形成在其上的芯3b的平面圖。
[0081]圖3 (a)所示的芯在形成光路變換反射鏡7、8的區(qū)域M、N中，芯3b的寬度是一定的。即，區(qū)域M中的芯3b的寬度等于左端(一端)的寬度，區(qū)域N中的芯3b的寬度等于右端(另一端)的寬度。此外，在由區(qū)域M、N夾著的傳播區(qū)域P (長度10mm)中，芯3b的寬度從光路變換反射鏡7側(cè)(一端)向光路變換反射鏡8側(cè)(另一端)單調(diào)減小。
[0082]在光路變換反射鏡7、8以與柔性印刷布線板2的下表面成45度的方式而形成的情況下，區(qū)域M、N的長度等于芯3b的厚度。在圖3 (a)的變形例中，芯3b的厚度為50 μ m，因此，區(qū)域M、N的長度也為50 μπι。關(guān)于圖3 (b)和(c)也是同樣的。通過使區(qū)域M、N的芯寬度一定，從而變得容易確保對光半導(dǎo)體元件的搭載位置偏移的容限。
[0083]接下來，圖3 (b)所示的芯具有3個傳播區(qū)域(A、B、C)。傳播區(qū)域A、B以及C的長度分別是10mm、80mm以及10mm。傳播區(qū)域A是由形成光路變換反射鏡7的區(qū)域M和傳播區(qū)域B夾著的區(qū)域。傳播區(qū)域C是由傳播區(qū)域B和形成光路變換反射鏡8的區(qū)域N夾著的區(qū)域。
[0084]如圖3 (b)所示，芯3b的寬度在傳播區(qū)域A中從光路變換反射鏡7側(cè)(一端)向光路變換反射鏡8側(cè)(另一端)單調(diào)減小，在傳播區(qū)域B中是一定的，在傳播區(qū)域C中與傳播區(qū)域B相同或從光路變換反射鏡7側(cè)(一端)向光路變換反射鏡8側(cè)(另一端)單調(diào)減小。
[0085]具體而言，芯寬度在傳播區(qū)域A中從60~80 μπι減小到50 μm，在傳播區(qū)域B中維持為50 μ m，在傳播區(qū)域C中從50 μ m最大減少到30 μ m。再有，傳播區(qū)域C的芯寬度也可以維持為與傳播區(qū)域B的寬度相同的值。此外，傳播區(qū)域B的平面形狀不限于直線狀，也可以是S字狀等曲線。芯的厚度在任一傳播區(qū)域中均相同，例如是50 μπι~80 μπι。
[0086]接下來，圖3 (C)所示的芯具有3個傳播區(qū)域(Α、B、C)。傳播區(qū)域Α、B以及C的長度分別是10mm、80mm以及10mm。傳播區(qū)域A是由形成光路變換反射鏡7的區(qū)域M和傳播區(qū)域B夾著的區(qū)域。傳播區(qū)域C是由傳播區(qū)域B和形成光路變換反射鏡8的區(qū)域N夾著的區(qū)域。
[0087]如圖3 (C)所示，芯3b的寬度在傳播區(qū)域A和C中是一定的，在傳播區(qū)域B中從光路變換反射鏡7側(cè)(一端)向光路變換反射鏡8側(cè)(另一端)單調(diào)減小。具體而言，芯寬度在傳播區(qū)域A中是一定的，在傳播區(qū)域B中從60~80 μ m減小到30~50 μ m，在傳播區(qū)域C中是一定的。芯的厚度在任一傳播區(qū)域中均相同，例如是50 μπι~80 μπι。
[0088]接下來，關(guān)于圖3 (a)~ (c)所示的3種芯，對模擬信號光的功率的減少率的結(jié)果進行說明。圖4 (a)~ (c)分別關(guān)于圖3 (a)~ (c)的芯示出了與芯寬度遍及傳播區(qū)域的全長是一定(50 μ m)的情況相比較的信號光功率的減少率。再有，各表中的“入射側(cè)”和“出射側(cè)”分別示出了各傳播區(qū)域的入射端和出射端的芯寬度。此外，“功率(mW)”示出了從芯出射的信號光功率。
[0089]如從圖4 (a)~ (c)可知，關(guān)于上述3種芯的任一種，信號光功率的減少率均收斂于5%以內(nèi)。5%的減少率相當(dāng)于傳輸損失增加約0.ldB。另一方面，由于光半導(dǎo)體元件的搭載位置偏移而造成的信號光功率的減少率是約20%。該減少率相當(dāng)于傳輸損失增加0.8dB。這樣，由于使芯寬度變化而造成的傳輸損失的增加比由于光半導(dǎo)體元件的搭載位置偏移而造成的增加小得多。能通過使芯寬度變化來使光半導(dǎo)體元件的搭載位置精度的容限增加。因而，根據(jù)本發(fā)明，變得能兼顧接合強度和搭載位置精度。
[0090]基于上述的記載，如果是本領(lǐng)域技術(shù)人員，則也許能想到本發(fā)明的追加的效果、各種變形，本發(fā)明的方式不限于上述的各個實施方式。也可以適當(dāng)組合涉及不同實施方式的構(gòu)成要素。在不偏離從權(quán)利要求的范圍所規(guī)定的內(nèi)容及其等價物導(dǎo)出的本發(fā)明的概念性思想和主旨的范圍中，各種追加、變更以及部分性刪除是可能的。
[0091]附圖標(biāo)記說明
1、IA:光電混載柔性印刷布線板；
2:柔性印刷布線板；
2a、2b:焊盤；
3:柔性光波導(dǎo)；
3a、3c:包覆層；
3b:芯；
4:面發(fā)光元件；
4a:發(fā)光部；
4b:電極；
5:面光接收元件；
5a:光接收部；
5b:電極；
6:粘接劑片材；
7、8:光路變換反射鏡；
10、11:密封樹脂；
A、B、C、D:傳播區(qū)域；
M、N:光路變換反射鏡形成區(qū)域；
S:超聲波施加方向。
【權(quán)利要求】
1.一種光電混載柔性印刷布線板的制造方法，具備: 柔性印刷布線板，具有第一主面和所述第一主面的相反側(cè)的第二主面； 柔性光波導(dǎo)，沿著所述柔性印刷布線板的所述第一主面而被設(shè)置；以及 面發(fā)光元件和面光接收元件，均安裝于所述柔性印刷布線板的所述第二主面， 其特征在于，具備: 在將具有可撓性的第一包覆層和具有可撓性的芯層貼合之后，通過使所述芯層模式化來形成一端的寬度比所述面發(fā)光元件的發(fā)光部大且另一端的寬度比所述面光接收元件的光接收部小的芯的工序； 通過以包覆所述芯的方式將具有可撓性的第二包覆層貼合于所述第一包覆層來制作所述柔性光波導(dǎo)的工序； 經(jīng)由粘接劑片材將所述柔性光波導(dǎo)貼合于所述柔性印刷布線板的所述第一主面的規(guī)定的位置的工序；以及 通過加工被貼合于所述柔性印刷布線板的所述柔性光波導(dǎo)來在所述芯的所述一端和所述另一端分別形成利用在端面的光反射對信號光的光路進行變換的第一光路變換反射鏡和第二光路變換反射鏡的工序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電混載柔性印刷布線板的制造方法，其特征在于，還具備: 第一超聲波接合工序，以從所述面發(fā)光元件的發(fā)光部出射的信號光在所述第一光路變換反射鏡進行反射而在所述芯內(nèi)傳播的方式將所述面發(fā)光元件安裝于所述柔性印刷布線板，通過向載置于所述柔性印刷布線板的規(guī)定的位置的所述面發(fā)光元件施加厚度方向的壓力并將在所述芯的寬度方向上行進的超聲波施加于所述面發(fā)光元件來將被設(shè)于與所述發(fā)光部相同的面的所述面發(fā)光元件的第一電極電連接到被設(shè)于所述柔性印刷布線板的所述第二主面的第一焊盤；以及 第二超聲波接合工序，以在所述第二光路變換反射鏡反射的信號光入射到所述面光接收元件的光接收部的方式將所述面光接收元件安裝于所述柔性印刷布線板，通過向載置于所述柔性印刷布線板的規(guī)定的位置的所述面光接收元件施加厚度方向的壓力并將在所述芯的寬度方向上行進的超聲波施加于所述面光接收元件來將被設(shè)于與所述光接收部相同的面的所述面光接收元件的第二電極電連接到被設(shè)于所述柔性印刷布線板的所述第二主面的第二焊盤。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光電混載柔性印刷布線板的制造方法，其特征在于， 所述芯的所述一端的寬度比照射在所述第一光路變換反射鏡的信號光的所述寬度方向的直徑加上所述第一超聲波接合工序中產(chǎn)生的所述面發(fā)光元件的所述寬度方向的位置偏移量后的值大， 所述芯的所述另一端的寬度比照射在所述第二光路變換反射鏡的信號光的所述寬度方向的直徑加上所述第二超聲波接合工序中產(chǎn)生的所述面光接收元件的所述寬度方向的位置偏移量后的值大。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電混載柔性印刷布線板的制造方法，其特征在于， 至少在由形成所述第一光路變換反射鏡和所述第二光路變換反射鏡的區(qū)域夾著的傳播區(qū)域中，所述芯的寬度從所述一端向所述另一端單調(diào)地減小。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電混載柔性印刷布線板的制造方法，其特征在于， 所述芯具有第一傳播區(qū)域、由形成所述第一光路變換反射鏡的區(qū)域和所述第一傳播區(qū)域夾著的第二傳播區(qū)域、以及由所述第一傳播區(qū)域和形成所述第二光路變換反射鏡的區(qū)域夾著的第三傳播區(qū)域， 所述芯的寬度在所述第二傳播區(qū)域中從所述一端向所述另一端單調(diào)地減小，在所述第一傳播區(qū)域中是一定的，在所述第三傳播區(qū)域中維持與所述第一傳播區(qū)域相同的寬度或者從所述一端向所述另一端單調(diào)地減小。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電混載柔性印刷布線板的制造方法，其特征在于， 所述芯具有第一傳播區(qū)域、由形成所述第一光路變換反射鏡的區(qū)域和所述第一傳播區(qū)域夾著的第二傳播區(qū)域、以及由所述第一傳播區(qū)域和形成所述第二光路變換反射鏡的區(qū)域夾著的第三傳播區(qū)域， 所述芯的寬度在所述第二和第三傳播區(qū)域中是一定的，在所述第一傳播區(qū)域中從所述一端向所述另一端單調(diào)地減小。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電混載柔性印刷布線板的制造方法，其特征在于， 形成所述第一光路變換反射鏡的區(qū)域中的所述芯的寬度等于所述一端的寬度，形成所述第二光路變換反射鏡的區(qū)域中的所述芯的寬度等于所述另一端的寬度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電混載柔性印刷布線板的制造方法，其特征在于， 利用金屬膜覆蓋所述第一和第二光路變換反射鏡。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光電混載柔性印刷布線板的制造方法，其特征在于， 在形成了所述金屬膜之后，用密封樹脂埋設(shè)所述第一和第二光路變換反射鏡。
10.一種光電混載柔性印刷布線板的制造方法，具備: 柔性印刷布線板，具有第一主面和所述第一主面的相反側(cè)的第二主面； 柔性光波導(dǎo)，沿著所述柔性印刷布線板的所述第一主面而被設(shè)置；以及 面發(fā)光元件和面光接收元件，均安裝于所述柔性印刷布線板的所述第二主面， 其特征在于，具備: 將具有可撓性和粘接性的第一包覆層貼合于所述柔性印刷布線板的所述第一主面的規(guī)定的位置的工序； 將具有可撓性的芯層貼合于所述柔性印刷布線板上的所述第一包覆層的工序； 通過使所述芯層模式化來形成一端的寬度比所述面發(fā)光元件的發(fā)光部大且另一端的寬度比所述面光接收元件的光接收部小的芯的工序； 通過以包覆所述芯的方式將具有可撓性的第二包覆層貼合于所述第一包覆層來制作所述柔性光波導(dǎo)的工序；以及 通過加工所述柔性光波導(dǎo)來在所述芯的所述一端和所述另一端分別形成利用在端面的光反射對信號光的光路進行變換的第一光路變換反射鏡和第二光路變換反射鏡的工序。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光電混載柔性印刷布線板的制造方法，其特征在于，還具備: 第一超聲波接合工序，以從所述面發(fā)光元件的發(fā)光部出射的信號光在所述第一光路變換反射鏡進行反射而在所述芯內(nèi)傳播的方式將所述面發(fā)光元件安裝于所述柔性印刷布線板，通過向載置于所述柔性印刷布線板的規(guī)定的位置的所述面發(fā)光元件施加厚度方向的壓力并將在所述芯的寬度方向上行進的超聲波施加于所述面發(fā)光元件來將被設(shè)于與所述發(fā)光部相同的面的所述面發(fā)光元件的第一電極電連接到被設(shè)于所述柔性印刷布線板的所述第二主面的第一焊盤；以及 第二超聲波接合工序，以在所述第二光路變換反射鏡反射的信號光入射到所述面光接收元件的光接收部的方式將所述面光接收元件安裝于所述柔性印刷布線板，通過向載置于所述柔性印刷布線板的規(guī)定的位置的所述面光接收元件施加厚度方向的壓力并將在所述芯的寬度方向上行進的超聲波施加于所述面光接收元件來將被設(shè)于與所述光接收部相同的面的所述面光接收元件的第二電極電連接到被設(shè)于所述柔性印刷布線板的所述第二主面的第二焊盤。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的光電混載柔性印刷布線板的制造方法，其特征在于， 所述芯的所述一端的寬度比照射在所述第一光路變換反射鏡的信號光的所述寬度方向的直徑加上所述第一超聲波接合工序中產(chǎn)生的所述面發(fā)光元件的所述寬度方向的位置偏移量后的值大， 所述芯的所述另一端的寬度比照射在所述第二光路變換反射鏡的信號光的所述寬度方向的直徑加上所述第二超聲波接合工序中產(chǎn)生的所述面光接收元件的所述寬度方向的位置偏移量后的值大。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光電混載柔性印刷布線板的制造方法，其特征在于， 至少在由形成所述第一光路變換反射鏡和所述第二光路變換反射鏡的區(qū)域夾著的傳播區(qū)域中，所述芯的寬度從所述一端向所述另一端單調(diào)地減小。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光電混載柔性印刷布線板的制造方法，其特征在于，所述芯具有第一傳播區(qū)域、由形成所述第一光路變換反射鏡的區(qū)域和所述第一傳播區(qū)域夾著的第二傳播區(qū)域、以及由所述第一傳播區(qū)域和形成所述第二光路變換反射鏡的區(qū)域夾著的第三傳播區(qū)域， 所述芯的寬度在所述第二傳播區(qū)域中從所述一端向所述另一端單調(diào)地減小，在所述第一傳播區(qū)域中是一定的，在所述第三傳播區(qū)域中維持與所述第一傳播區(qū)域相同的寬度或者從所述一端向所述另一端單調(diào)地減小。
15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光電混載柔性印刷布線板的制造方法，其特征在于， 所述芯具有第一傳播區(qū)域、由形成所述第一光路變換反射鏡的區(qū)域和所述第一傳播區(qū)域夾著的第二傳播區(qū)域、以及由所述第一傳播區(qū)域和形成所述第二光路變換反射鏡的區(qū)域夾著的第三傳播區(qū)域， 所述芯的寬度在所述第二和第三傳播區(qū)域中是一定的，在所述第一傳播區(qū)域中從所述一端向所述另一端單調(diào)地減小。
16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光電混載柔性印刷布線板的制造方法，其特征在于， 形成所述第一光路變換反射鏡的區(qū)域中的所述芯的寬度等于所述一端的寬度，形成所述第二光路變換反射鏡的區(qū)域中的所述芯的寬度等于所述另一端的寬度。
17.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光電混載柔性印刷布線板的制造方法，其特征在于， 利用金屬膜覆蓋所述第一和第二光路變換反射鏡。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的光電混載柔性印刷布線板的制造方法，其特征在于， 在形成了所述金屬膜之后，用密封樹脂埋設(shè)所述第一和第二光路變換反射鏡。
19.一種光電混載柔性印刷布線板，其特征在于，具備: 柔性印刷布線板，具有第一主面和所述第一主面的相反側(cè)的第二主面，且在所述第二主面設(shè)有第一和第二焊盤； 柔性光波導(dǎo)，具有芯和包覆所述芯的外圍的包覆物，沿著所述柔性印刷布線板的所述第一主面而被設(shè)置，在所述柔性光波導(dǎo)的一端和另一端分別設(shè)有利用在端面的光反射對信號光的光路進行變換的第一和第二光路變換反射鏡； 面發(fā)光元件，具有出射信號光的發(fā)光部和與所述發(fā)光部設(shè)于相同面的第一電極，以從所述發(fā)光部出射的信號光在所述第一光路變換反射鏡進行反射而在所述柔性光波導(dǎo)的芯內(nèi)傳播的方式被安裝于所述柔性印刷布線板的所述第二主面；以及 面光接收元件，具有對信號光進行光接收的光接收部和與所述光接收部設(shè)于相同面的第二電極，以在所述第二光路變換反射鏡反射的信號光入射到所述光接收部的方式被安裝于所述柔性印刷布線板的所述第二主面， 所述芯的所述一端的寬度比所述發(fā)光部大且所述芯的所述另一端的寬度比所述光接收部小，所述面發(fā)光元件的所述第一電極通過超聲波接合與所述柔性印刷布線板的所述第一焊盤電連接，所述面光接收元件的所述第二電極通過超聲波接合與所述柔性印刷布線板的所述第二焊盤電連接。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的光電混載柔性印刷布線板，其特征在于， 利用金屬膜覆蓋所述第一和第二光路變換反射鏡。
【文檔編號】H01L31/0232GK104508522SQ201280073536
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2012年12月25日 優(yōu)先權(quán)日:2012年5月31日
【發(fā)明者】松田文彥 申請人:日本梅克特隆株式會社