專利名稱：平板式微型直接醇類燃料電池組及其制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬微能源和微機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種平板式微型直接醇類燃料電池組 及其制作方法。
背景技術(shù)：
燃料電池(Fuel Cell, FC)是一種將燃料(如甲醇、甲酸、氫氣等)與氧氣反應(yīng)的化學(xué) 能直接轉(zhuǎn)化為電能的裝置，與其它化學(xué)電源相比，微型燃料電池具有能量轉(zhuǎn)化效率高、能 量密度高、對環(huán)境污染小等特點(diǎn)，因而在便攜式數(shù)碼產(chǎn)品(如筆記本電腦、iPod、 PDA)， 無線通訊網(wǎng)絡(luò)(如手機(jī)、GPS、無線傳感網(wǎng))、微型傳感系統(tǒng)(如MEMS器件、BioMEMS、 y TAS) 等領(lǐng)域具有非常廣闊的應(yīng)用前景。在微型化方案的選擇上，目前，國際公認(rèn)的是微機(jī)電系 統(tǒng)技術(shù)，即MEMS技術(shù)。這是因為，該技術(shù)不但具有加工尺寸的微小性、高的分辨率(〈lwn) 高度重復(fù)性和加工的方便靈活性等優(yōu)點(diǎn)，而且可以實現(xiàn)傳統(tǒng)機(jī)械制造技術(shù)不能加工或很難 加工的新的流場結(jié)構(gòu)，有利于取得創(chuàng)新性的結(jié)果，使微型燃料電池(組)的性能有可能超過 常規(guī)燃料電池。
目前微型燃料電池單體的性能還遠(yuǎn)不能滿足實際電子產(chǎn)品的需求。以直接甲醇燃料電 池為例，其單體電池的工作電壓一般在0. 3~0. 4 V，最大輸出功率密度約在15 35 mW/cm2， 因此要滿足大多數(shù)電子產(chǎn)品的工作需求，必須通過串聯(lián)和/或并聯(lián)的方式將多個單電池組 合以提高輸出電壓和輸出功率。
目前微型燃料電池組串聯(lián)的文獻(xiàn)報道很少。專利(200710062899. X)介紹了一種堆疊式 硅基微型燃料電池組及制作方式，具有體積小、電池串并聯(lián)方便等優(yōu)點(diǎn)，但由于采用堆疊 式結(jié)構(gòu)，陰/陽極流場燃料必須通過主動進(jìn)樣方式，而且不能采用空氣"自呼吸"結(jié)構(gòu)， 不利于微能源儲能密度的提高。
平板式燃料電池組能夠滿足陰極空氣"自呼吸"的結(jié)構(gòu)要求，如中科院上海微系統(tǒng)所 張熙貴等采用MEMS技術(shù)制作并組裝了空氣"自呼吸"的單體氫-空氣燃料電池，然后將' 種單電池平板擺放串聯(lián)形成電池陣列，能夠?qū)崿F(xiàn)空氣"自呼吸"燃料電池組的串聯(lián)，并獲 得了良好的結(jié)果。但該電池組先完成單體電池制作，然后將電池串聯(lián)，因此該電池組的整 個制作和封裝工藝復(fù)雜，結(jié)構(gòu)封裝體積比較大。因此，平板式燃料電池組的關(guān)鍵問題在簡 化制備工藝、降低結(jié)構(gòu)封裝體積、提高電池組串聯(lián)效率，并且能夠確保封裝的可靠性和穩(wěn)定性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種解決上述燃料電池單電池輸出電壓低、輸出功 率小等問題，提出了一種平板式微型燃料電池組，該電池組的單個電極板集成了多個微流 場單元，有利于多個電池的直接串/并聯(lián)，并能夠?qū)崿F(xiàn)陰極空氣"自呼吸"結(jié)構(gòu)要求，提高 微型燃料電池組的集成度。本發(fā)明提供了一種制備工藝簡單、結(jié)構(gòu)封裝體積小、電池組串 聯(lián)效率高的平板式微型燃料電池組的制作方法。
本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是提供一種平板式微型直接醇類燃料電；
組，包括平板微型電池，所述的平板式微型燃料電池組采用一體化陰極流場板或陽極流場 板，所述的一體化陰極流場板或陽極流場板是指采用MEMS技術(shù)在硅片材料上按照一定排 列方式集成制備至少2個數(shù)量和大小可按照實際需要在一定范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，通常在2~10個， 單體電池流場，并且每個單電池流場表面具有獨(dú)立的導(dǎo)電層圖形，該導(dǎo)電層互相隔離，并 具有確定的圖形和焊接位點(diǎn)便于電池組的串聯(lián)連接。
所述的平板式微型燃料電池組釆用MEMS技術(shù)在硅片雙面光刻腐蝕制作對應(yīng)流場陣 列微結(jié)構(gòu)，表面通過金屬淀積、刻蝕技術(shù)制作圖形化的導(dǎo)電圖層，實現(xiàn)在平板上集成至〈 2個流場微結(jié)構(gòu)和微電極；與對應(yīng)的MEA對準(zhǔn)組裝，焊接各電池的微電極的正負(fù)極，實現(xiàn) 平板上微型燃料電池的串聯(lián)組裝。
所述的陰極流場采用主動模式下的微流道結(jié)構(gòu)，包括微孔、蛇形、并行、點(diǎn)狀、zigzag、 插指或它們的組合結(jié)構(gòu)，或者被動模式下的空氣"自呼吸"結(jié)構(gòu)，包括微孔式、點(diǎn)狀雙層 復(fù)合結(jié)構(gòu)。
所述的陽極流場采用主動模式下的的微流道結(jié)構(gòu)，包括微孔、蛇形、并行、點(diǎn)狀、zigzag 插指或它們的組合結(jié)構(gòu)，或者被動模式的下的微孔式、點(diǎn)狀雙層復(fù)合結(jié)構(gòu)。 '
所述的導(dǎo)電層采用金屬蒸發(fā)、濺射或電鍍技術(shù)制作，所述金屬材料為Ti/Pt/Au、 Ti/Au 或Cr/Au材料。
一種平板式微型直接醇類燃料電池組的制作方法，包括下列步驟
(1) 一體化流場板的加工制作選擇優(yōu)質(zhì)的硅片作為芯片的基片，在硅片正面刻蝕 流場微結(jié)構(gòu)，用于燃料或氧氣的傳輸；反面刻蝕微孔結(jié)構(gòu)，用于燃料和空氣的進(jìn)出；并且 表面制作熱氧化層作為電絕緣層； -
(2) 圖形化導(dǎo)電層的加工在制作完成的陰/陽極流場表面淀積金屬導(dǎo)電層，并:ia行圖形化，作為各個電池的電極，完成具有獨(dú)立導(dǎo)電層的流場陣列；
(3) 電池組組裝和電連接與對應(yīng)的MEA對準(zhǔn)組裝，焊接各電池的微電極的正負(fù) 極，實現(xiàn)平板上微型燃料電池的串聯(lián)組裝。 所述的步驟(1)包括下列歩驟-
(a) 在硅片(28)表面熱氧化形成Si02層(29)作為腐蝕保護(hù)層；
(b) 在硅片正反面Si02層(29)上光刻腐蝕各極板的掩膜版對應(yīng)的幾何圖形；
(c) 對硅片進(jìn)行各向異性腐蝕(或各向同性腐蝕)；
(d) 去除剩余的Si02層，重新表面熱氧化形成新的Si02層(32)作為電絕緣層。 所述的步驟(2)包括下列步驟
(e) 在硅片表面涂膠光刻對應(yīng)的金屬導(dǎo)電層的幾何圖形；
(f) 在硅片表面淀積金屬Ti/Pt/Au層(33)作為導(dǎo)電層；
(g) 通過光刻膠"剝離"工藝(lift-0ff)實現(xiàn)導(dǎo)電層的圖形化；
(h) 硅片劃片切割，得到單個芯片。
所述的步驟(3)包括下列歩驟
(i) 將一體化的陰極流場板、對應(yīng)的膜電極集合體(MEA)和一體化的陰極流場板按 順序?qū)?zhǔn)貼合在一起，并按照一定比例進(jìn)行壓縮；
(j)在陰極流場板、MEA和陰極流場板四周涂上粘合劑，將它們固定在一起；
(k)將對應(yīng)的陽極和陰極導(dǎo)電層按照一定的順序焊接在一起，末端的陽極和陰極導(dǎo)l' 層用導(dǎo)線焊接連接出來。
所述的圖形化導(dǎo)電層采用"lift-0ff"工藝或光刻腐蝕工藝實現(xiàn)；所述的焊接采用錫
焊、金屬壓焊、倒裝焊接工藝實現(xiàn)。
有益效果
(1) 本發(fā)明的平板式微型燃料電池組陰極采用空氣"自呼吸"結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)緊湊，體積
微小，加工工藝簡單，構(gòu)成了一個集成度較高的燃料電池組；
(2) 本發(fā)明的平板式電池組流場板采用MEMS工藝制作，流場結(jié)構(gòu)精度高，適合設(shè) 出新型流場結(jié)構(gòu)，便于電池的功率密度的提高；流場兩者之間的間距小，結(jié)構(gòu)封裝體積小，
提高了電池組組裝的集成度；采用MEMS工藝進(jìn)行金屬圖形化，便于電池組的串聯(lián)效率
的提高，確保電池組組裝的可靠性和穩(wěn)定性，便于大規(guī)模生產(chǎn)；
(3) 本發(fā)明的電池組結(jié)構(gòu)和加工方式適合各類燃料電池組的制作，包括直接甲醇燃料電池組、直接甲酸燃料電池組、氫-空氣燃料電池組等；電池組可以集成不同數(shù)目和大小的 流場結(jié)構(gòu)，可按照實際需要靈活變化，并且電池組可以釆用串/并聯(lián)多種模式的組裝方式。


圖1為本發(fā)明所述的空氣"自呼吸"微型燃料電池各核心部件結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2a為本發(fā)明所述的一體化式微型燃料電池組的陰極流場板的靠近空氣一側(cè)的結(jié)構(gòu)
圖2b為該陰極流場板同膜電極集合體接觸一側(cè)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3a為本發(fā)明所述的一體化式微型燃料電池組的陽極流場板的同膜電極集合體接觸
一側(cè)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3b為該陽極流場板進(jìn)出燃料樣品一側(cè)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4為本發(fā)明所述的一體化式微型陰/陽極流場板制作的工藝流程圖。
圖5a為本發(fā)明所述的平板式微型燃料電池組(陽極主動模式結(jié)構(gòu))的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖5b為本發(fā)明所述的平板式微型燃料電池組(陽極主動模式結(jié)構(gòu))各核心部件結(jié)構(gòu)示意圖。
圖6為本發(fā)明所述的平板式微型燃料電池組(陽極主動模式結(jié)構(gòu))的性能測試結(jié)果。
圖7為本發(fā)明所述的平板式微型燃料電池組(陽極被動模式結(jié)構(gòu))。
圖8為本發(fā)明所述的平板式微型燃料電池組(陽極被動模式結(jié)構(gòu)，6個獨(dú)立陰極流場板)。
其中圖4中 (a)—硅基片
(c)一正反面光刻對應(yīng)圖形 (e)—K0H溶液各向異性腐蝕 (g)—熱氧化
(i)一反面金屬圖形化淀積
圖中 l一陰極流場板 3—質(zhì)子交換膜 5—陽極流場板 7—陽極金屬集流層 9一空氣"自呼吸"微孔
(b)—熱氧化 (d)—腐蝕氧化硅圖形 (f)一腐蝕剩余氧化硅 (h)—正面金屬圖形化淀積
2—陰極催化層和擴(kuò)散層
4—陽極催化層和擴(kuò)散層
6—陰極金屬集流層
8—一體化陰極流場板靠近空氣一側(cè)
IO—一體化陰極流場板同MEA接觸一《ll一陰極流場微結(jié)構(gòu)
12~17—電池組中六個陰極流場的金屬集流層
一體化陽極流場板同MEA接觸一側(cè)
19一陽極流場微結(jié)構(gòu)
20——體化陽極流場板進(jìn)出燃料樣品
21—燃料進(jìn)出樣口
22 27—電池組中六個陽極流場的金屬集流層
28—硅片
29—氧化層Si0:
30—光刻膠
31—氧化層圖形
32—氧化層Si02
33—金屬導(dǎo)電層(金屬集流層)
體化陰極流場板
35——體化陽極流場板
36—六個膜電極集合體(MEA)
37—平板式微型燃料電池組
38—導(dǎo)電連接線
39—電池組輸出負(fù)極端
40—電池組輸出正極端
具體實施例方式
下面結(jié)合具體實施例，進(jìn)一步闡述本發(fā)明。應(yīng)理解，這些實施例僅用于說明本發(fā)明 而不用于限制本發(fā)明的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本發(fā)明講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù) 人員可以對本發(fā)明作各種改動或修改，這些等價形式同樣落于本申請所附權(quán)利要求書所限
定的范圍。
如圖1、 2、 3所示，本發(fā)明的平板式微型燃料電池組采用一體化陰極流場板或陽極流 場板，所述的一體化陰極流場板或陽極流場板是指采用MEMS技術(shù)在硅片等材料上按照一 定排列方式集成制備了多個單體電池流場，并且每個單電池流場表面具有獨(dú)立的導(dǎo)電層圖
形，該導(dǎo)電層互相隔離，并具有合適的圖形和焊接位點(diǎn)便于電池組的串聯(lián)連接。
本發(fā)明平板式微型燃料電池組包括兩部分-
1、 一體化燃料電池組流場板的設(shè)計；
2、 一體化燃料電池組流場板的制作工藝，下面結(jié)合實施例作詳細(xì)說明 實施例一平板式微型燃料電池組(陽極主動模式結(jié)構(gòu))
在設(shè)計時考慮以下多個參數(shù) 一體化流場板中流場陣列的數(shù)目和排列方式，流道或微 腔的尺寸、形狀和深度，濕法各項異性腐蝕時凸角補(bǔ)償，金屬導(dǎo)電層的材料、厚度和形狀， 以及電池組串聯(lián)方式和焊接位點(diǎn)等。設(shè)計一體化流場板中集成6個獨(dú)立微流場單元，按照2X3方式排列，每個獨(dú)立的微流 場單元尺寸為1. 2cmX 1. 2cm，微流場單元間的間距為0. 4mm，陰極流場板尺寸為4. 8cmX 3.2cm，為了便于焊接，陽極流場板稍大，尺寸為5. lcmX3.6cm，陰極采用空氣"自呼吸" 的點(diǎn)狀雙層復(fù)合結(jié)構(gòu)，陽極采用雙蛇形主動結(jié)構(gòu)，最后將設(shè)計好的圖形分別制作成掩膜版， 以進(jìn)一步光刻轉(zhuǎn)移到芯片上。
一體化陰/陽極流場板的制作工藝如圖4所示。陰/陽極流場板的制作工藝除了掩膜版 圖不同外，其制作工藝基本相同，因此以下僅介紹陰極流場板制作工藝流程，具體包括以 下步驟-
(a) 選擇500 um厚4寸N型〈100〉低摻雜硅片(28)，表面熱氧化形成2 ymSi02層(29)， 作為腐蝕保護(hù)層；
(b) 正面涂一層光刻膠(30)，正面晶向?qū)?zhǔn)光刻形成陰極流場內(nèi)側(cè)版形；然后反面 涂膠(30)正反對準(zhǔn)套刻形成陰極流場外側(cè)版形；然后在BOE(buffered oxicK etching)溶液中腐蝕裸露的Si02層(29)，去除剩余光刻膠后，將版形轉(zhuǎn)移成氧 化層圖形(31);
(c) 在KOH腐蝕液中對硅片進(jìn)行各向異性腐蝕，形成陰極流場微結(jié)構(gòu)。根據(jù)腐蝕時間控 制腐蝕深度，并通過臺階儀測定腐蝕深度，通過顯微鏡、SEM檢測流場微結(jié)構(gòu)；
(d) 然后，去除剩余的Si02層，陰極流場微結(jié)構(gòu)表面第二次熱氧化形成2 umSi02層 (32)作為絕緣層；
(e) 表面噴膠、圖形對準(zhǔn)光刻，將對應(yīng)的金屬導(dǎo)電層的版形轉(zhuǎn)移到光刻膠上；
(f) 表面低溫濺射金屬Ti/Pt/Au層(33)作為導(dǎo)電層；其中Ti厚度介于200A， Pt厚度 2000 A， Au厚度3000A;
(g) 用丙酮/乙醇超聲剝離光刻膠，將光刻膠的圖形轉(zhuǎn)化為相反的金屬圖形，作為陰極 流場的導(dǎo)電層；
(h) 硅片劃片切割，得到一體化的陰極結(jié)構(gòu)；
(i) 將一體化的陽極流場板、對應(yīng)的膜電極集合體(MEA)和一體化的陰極流場板按順序 對準(zhǔn)貼合在一起，并按照一定比例進(jìn)行壓縮；
(i)在陽極流場板、MEA和陰極流場板四周涂上粘合劑，將它們固定在一起； (k)將對應(yīng)的陽極和陰極導(dǎo)電層按照一定的順序焊接在一起，末端的陽極和陰極導(dǎo)電層 用導(dǎo)線焊接連接出來。該平板式微型燃料電池組結(jié)構(gòu)如圖5，陽極在流場分配板的輔助下采用2M甲醇為燃料. 陰極為空氣自呼吸模式，在Arbin燃料電池綜合測試系統(tǒng)上測試電池組性能。在25。C下該 電池組穩(wěn)態(tài)極化曲線結(jié)果如圖6，電池組輸出開路電壓可達(dá)4. 5V，最大輸出功率可達(dá)150mW (17raW/cm2)。
實施例二平板式微型燃料電池組(陽極被動模式結(jié)構(gòu))
陽極流場采用染料被動供給模式可以大大簡化電池組系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)，有利于微能源能量 密度的提高。設(shè)計一體化流場板中集成6個獨(dú)立微流場單元，按照2X3方式排列，每； 獨(dú)立的微流場單元尺寸為2.0 cmX2.0 cm,微流場單元間的間距為0. 5mm，陰極流場板尺 寸為7.4cmX4.9cm，為了便于焊接，陽極流場板稍大，尺寸為7.6cmX5.3cm，陰極采用 空氣"自呼吸"的點(diǎn)狀雙層復(fù)合結(jié)構(gòu)，陽極釆用微孔結(jié)構(gòu)。
該一體化流場板的MEMS微加工、電池封裝和組裝過程與實施例1完全一致。該平板式 微型燃料電池組結(jié)構(gòu)如圖7。
實施例三平板式微型燃料電池組(陽極被動模式結(jié)構(gòu)，6個獨(dú)立陰極流場板)
電池組兩個流場板也可只有一個采用一體化式結(jié)構(gòu)，如圖8，該電池組陽極采用一體 化式流場板，而陰極采用6個獨(dú)立的微流場板。6個獨(dú)立的陰極流場板分別貼合到一體化 式陽極流場板上，組裝成平板式微型燃料電池組。該一體化流場板的MEMS微加工、電池 封裝和組裝過程與實施例1完全一致。
權(quán)利要求
1. 一種平板式微型直接醇類燃料電池組，包括平板微型電池，其特征在于所述的平板式微型燃料電池組采用一體化陰極流場板或陽極流場板，所述的一體化陰極流場板或陽極流場板是指采用MEMS技術(shù)在硅片材料上按照一定排列方式集成制備至少2個單體電池流場，并且每個單電池流場表面具有獨(dú)立的導(dǎo)電層圖形，該導(dǎo)電層互相隔離，并具有確定的圖形和焊接位點(diǎn)便于電池組的串聯(lián)連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種平板式微型直接醇類燃料電池組，其特征在于所述的7板式微型燃料電池組采用MEMS技術(shù)在硅片雙面光刻腐蝕制作對應(yīng)流場陣列微結(jié)構(gòu)； 表面通過金屬淀積、刻蝕技術(shù)制作圖形化的導(dǎo)電圖層，實現(xiàn)在平板上集成至少2個流 場微結(jié)構(gòu)和微電極；與對應(yīng)的MEA對準(zhǔn)組裝，焊接各電池的微電極的正負(fù)極，實現(xiàn)平 板上微型燃料電池的串聯(lián)組裝。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種平板式微型直接醇類燃料電池組，其特征在于所述的陰 極流場采用主動模式下的微流道結(jié)構(gòu)，包括微孔、蛇形、并行、點(diǎn)狀、zigzag、插指 或它們的組合結(jié)構(gòu)，或者被動模式下的空氣"自呼吸"結(jié)構(gòu)，包括微孔式、點(diǎn)狀雙' 復(fù)合結(jié)構(gòu)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種平板式微型直接醇類燃料電池組，其特征在于所述的陽 極流場采用主動模式下的的微流道結(jié)構(gòu)，包括微孔、蛇形、并行、點(diǎn)狀、zigzag、插 指或它們的組合結(jié)構(gòu)，或者被動模式的下的微孔式、點(diǎn)狀雙層復(fù)合結(jié)構(gòu)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種平板式微型直接醇類燃料電池組，其特征在于所述的導(dǎo) 電層采用金屬蒸發(fā)、濺射或電鍍技術(shù)制作，所述金屬材料為Ti/Pt/Au、 Ti/Au或Cr/Au 材料。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種平板式微型直接醇類燃料電池組的制作方法，包括下列步驟(1) 一體化流場板的加工制作選擇優(yōu)質(zhì)的硅片作為芯片的基片，在硅片正面刻蝕 流場微結(jié)構(gòu)，用于燃料或氧氣的傳輸；反面刻蝕微孔結(jié)構(gòu)，用于燃料和空氣的 進(jìn)出；并且表面制作熱氧化層作為電絕緣層；(2) 圖形化導(dǎo)電層的加工在制作完成的陰/陽極流場表面淀積金屬導(dǎo)電層，并進(jìn)行 圖形化，作為各個電池的電極，完成具有獨(dú)立導(dǎo)電層的流場陣列；(3) 電池組組裝和電連接與對應(yīng)的MEA對準(zhǔn)組裝，焊接各電池的微電極的正負(fù)極, 實現(xiàn)平板上微型燃料電池的串聯(lián)組裝。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種平板式微型直接醇類燃料電池組的制作方法，其特征在于所述的步驟(1)包括下列步驟(a) 在硅片(28)表面熱氧化形成Si(^層(29)作為腐蝕保護(hù)層；(b) 在硅片正反面Si02層(29)上光刻腐蝕各極板的掩膜版對應(yīng)的幾何圖形； (C)對硅片進(jìn)行各向異性腐蝕(或各向同性腐蝕)；(d) 去除剩余的Si02層，重新表面熱氧化形成新的Si02層(32)作為電絕緣層。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種平板式微型直接醇類燃料電池組的制作方法，其特征在于:所述的步驟(2)包括下列步驟(e) 在硅片表面涂膠光刻對應(yīng)的金屬導(dǎo)電層的幾何圖形；(f) 在硅片表面淀積金屬Ti/Pt/Au層(33)作為導(dǎo)電層；(g) 通過光刻膠"剝離"工藝(lift-off)實現(xiàn)導(dǎo)電層的圖形化；(h) 硅片劃片切割，得到單個芯片。
9. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種平板式微型直接醇類燃料電池組的制作方法，其特征在于: 所述的步驟(3)包括下列步驟(i) 將一體化的陰極流場板、對應(yīng)的膜電極集合體(MEA)和一體化的陰極流場板按順序 對準(zhǔn)貼合在一起，并按照一定比例進(jìn)行壓縮；(J)在陰極流場板、MEA和陰極流場板四周涂上粘合劑，將它們固定在一起； (k)將對應(yīng)的陽極和陰極導(dǎo)電層按照一定的順序焊接在一起，末端的陽極和陰極導(dǎo)電層 用導(dǎo)線焊接連接出來。
10. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種平板式微型直接醇類燃料電池組的制作方法，其特征在于 所述的圖形化導(dǎo)電層采用"lift-Off"工藝或光刻腐蝕工藝實現(xiàn)；所述的焊接采用錫焊、金屬壓焊、倒裝焊接工藝實現(xiàn)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種平板式微型直接醇類燃料電池組及其制作方法，包括平板微型電池，所述的平板式微型燃料電池組采用一體化陰極流場板或陽極流場板，所述的一體化陰極流場板或陽極流場板是指采用MEMS技術(shù)在硅片材料上按照一定排列方式集成制備至少兩個單體電池流場，并且每個單電池流場表面具有獨(dú)立的導(dǎo)電層圖形，該導(dǎo)電層互相隔離，并具有確定的圖形和焊接位點(diǎn)便于電池組的串聯(lián)連接。本發(fā)明提供了一種制備工藝簡單、結(jié)構(gòu)封裝體積小、電池組串聯(lián)效率高的平板式微型燃料電池組及其制作方法。
文檔編號H01M4/86GK101436676SQ20081020359
公開日2009年5月20日 申請日期2008年11月28日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月28日
發(fā)明者夏保佳, 曹劍瑜, 翀 杜, 輝 楊, 婷 袁, 鄒志青, 黃慶紅 申請人:中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所