專(zhuān)利名稱：加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種具有對(duì)被加工物的要進(jìn)行加工的區(qū)域進(jìn)行照明的照明器具的加工裝置。
背景技術(shù)：
在對(duì)被加工物進(jìn)行各種加工的加工裝置中，有的具備對(duì)要加工的區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)用的攝像器材，在這樣的裝置中，為檢測(cè)要加工的區(qū)域，裝備有對(duì)被加工物進(jìn)行照明的照明器具。
例如，在對(duì)半導(dǎo)體晶片進(jìn)行劃線的劃線裝置中，由于在檢測(cè)形成于半導(dǎo)體晶片表面的刻道之后，需要進(jìn)行切削，所以，在照亮半導(dǎo)體晶片表面的狀態(tài)下進(jìn)行攝像，檢測(cè)刻道。而且，作為對(duì)半導(dǎo)體晶片表面進(jìn)行照明的照明器具，由于接近于自然光等原因，可使用例如鹵素?zé)?例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。
日本專(zhuān)利公報(bào)特開(kāi)平10-284449號(hào)發(fā)明內(nèi)容但是，這樣的照明器具，若反復(fù)地進(jìn)行開(kāi)/關(guān)，則會(huì)縮短使用壽命，所以存在即使在不需要對(duì)半導(dǎo)體晶片進(jìn)行照明期間，如果劃線裝置處于運(yùn)轉(zhuǎn)中，也使其為持續(xù)開(kāi)燈的狀態(tài)，從而會(huì)無(wú)益地消耗著電力的問(wèn)題。
另外，由于鹵素?zé)舻侥芊€(wěn)定地進(jìn)行照明的恢復(fù)時(shí)間較長(zhǎng)，所以若頻繁地進(jìn)行開(kāi)/關(guān)的話，則也存在花費(fèi)變成能檢測(cè)要切削的刻道的狀態(tài)的時(shí)間，從而會(huì)降低生產(chǎn)率的問(wèn)題。
這樣的問(wèn)題不僅存在于劃線裝置，而且存在于必須對(duì)要加工的區(qū)域進(jìn)行照明的所有的加工裝置。
因此，本發(fā)明要解決的問(wèn)題是，在需要用于檢測(cè)要加工的區(qū)域的照明的加工裝置中，不縮短照明器具的使用壽命，也不無(wú)益地消耗電力。
本發(fā)明所提供的加工裝置的特征是至少具備保持晶片的吸盤(pán)；對(duì)保持在吸盤(pán)上的晶片進(jìn)行攝像，并檢測(cè)加工區(qū)域的調(diào)整機(jī)構(gòu)；對(duì)保持在吸盤(pán)上的晶片進(jìn)行加工的加工機(jī)構(gòu)。調(diào)整機(jī)構(gòu)具備光學(xué)系統(tǒng)；將光學(xué)系統(tǒng)取入的光變換成電信號(hào)的攝像部；對(duì)晶片的加工區(qū)域進(jìn)行照明的照明器具。照明器具與對(duì)供給到照明器具的電壓值進(jìn)行調(diào)整的電壓值調(diào)整機(jī)構(gòu)相連接。電壓值調(diào)整機(jī)構(gòu)包含，將供給到照明器具的電壓值切換成照明器具使用時(shí)的電壓值和待機(jī)時(shí)的電壓值的切換部。而且，照明器具最好是鹵素?zé)簟?br> 使用時(shí)的電壓值是在調(diào)整機(jī)構(gòu)檢測(cè)加工區(qū)域時(shí)用于獲得足夠的照明的電壓值。另一方面，待機(jī)時(shí)的電壓值，是不使照明器具為關(guān)閉的狀態(tài)、而為空載狀態(tài)程度的電壓值，最好是能在短時(shí)間內(nèi)切換到打開(kāi)狀態(tài)程度的電壓值。
本發(fā)明的切換部，由于能在照明器具的使用時(shí)和待機(jī)時(shí)切換電壓值，所以，在不對(duì)加工區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)的期間，并不完全停止對(duì)照明器具供給電壓，而是能供給很小的電壓，使其為空載狀態(tài)。因此，即使反復(fù)地變換使用狀態(tài)和不使用狀態(tài)，也不需要反復(fù)地開(kāi)/關(guān)，所以，能防止縮短照明器具的使用壽命，而且與通常的保持打開(kāi)狀態(tài)的情況相比，也能節(jié)約電力的消耗。另外，如果從空載狀態(tài)切換到供給使用時(shí)的電壓，則變成能立即檢測(cè)加工區(qū)域的狀態(tài)，所以，不會(huì)降低生產(chǎn)率。


圖1是表示加工裝置的一例子的立體圖。
圖2是表示構(gòu)成加工裝置的調(diào)整機(jī)構(gòu)、電壓值調(diào)整機(jī)構(gòu)和圖象處理機(jī)構(gòu)的示意圖。
圖3是表示在對(duì)晶片進(jìn)行刻線時(shí)的電壓值的變化的示意圖。
具體實(shí)施例方式
圖1所示的切削裝置1具備收容半導(dǎo)體晶片等晶片的盒子2；從盒子2中取出晶片、而且將切削后的晶片收容到盒子2中的取出放入機(jī)構(gòu)3；暫時(shí)放置從盒子2中取出的晶片或即將放入到盒子2中的晶片的暫放區(qū)域4；輸送晶片的第一輸送機(jī)構(gòu)5；保持晶片的吸盤(pán)6；對(duì)保持在吸盤(pán)6上的晶片進(jìn)行攝像、并檢測(cè)要加工的加工區(qū)域的調(diào)整機(jī)構(gòu)7；對(duì)保持在吸盤(pán)6上的晶片進(jìn)行切削加工的切削機(jī)構(gòu)8；對(duì)切削后的晶片進(jìn)行清洗的清洗機(jī)構(gòu)9；將切削后的晶片從吸盤(pán)6輸送到清洗機(jī)構(gòu)9的第二輸送機(jī)構(gòu)10。
如圖1所示，要切削的晶片W處于通過(guò)保持帶T與框架F為一體的狀態(tài)，在該狀態(tài)下，收容在盒子2中的半導(dǎo)體晶片W，在由取出放入機(jī)構(gòu)3輸送到暫放區(qū)域4后，由第一輸送機(jī)構(gòu)5輸送并保持在吸盤(pán)6上。保持在吸盤(pán)6上的半導(dǎo)體晶片W通過(guò)沿吸盤(pán)6的+X方向的移動(dòng)，被放置在調(diào)整機(jī)構(gòu)7的正下方。
在此，如圖2所示，調(diào)整機(jī)構(gòu)7具備具備半透反射鏡700的光學(xué)系統(tǒng)70；將光學(xué)系統(tǒng)70取入的光變換成電信號(hào)的攝像部71；對(duì)晶片的加工區(qū)域進(jìn)行照明的照明器具72。攝像部71與對(duì)在攝像部71取得的電信號(hào)進(jìn)行種種處理的圖象處理機(jī)構(gòu)73相連接。另外，對(duì)供給到照明器具72的電壓值進(jìn)行調(diào)整的電壓值調(diào)整機(jī)構(gòu)74與照明器具72相連接。
照明器具72與光學(xué)系統(tǒng)70相連接，通過(guò)半透反射鏡700對(duì)晶片W的表面進(jìn)行照明。照明器具72由例如鹵素?zé)魳?gòu)成。
光學(xué)系統(tǒng)70具備與晶片W對(duì)峙的物鏡，對(duì)晶片W的表面的像進(jìn)行放大，并傳送到攝像部71。攝像部71，將光變換成電信號(hào)，并傳送到圖象處理機(jī)構(gòu)73。
電壓值調(diào)整機(jī)構(gòu)74由與圖象處理機(jī)構(gòu)73連接的判斷部740和與照明器具72連接的切換部741構(gòu)成。判斷部740依據(jù)來(lái)自圖象處理機(jī)構(gòu)73的信號(hào)，判斷是否讀取晶片W上所拍攝的圖象。另一方面，切換部741依據(jù)判斷部740的判斷結(jié)果，將供給到照明器具72的電壓切換成使用時(shí)的電壓值和待機(jī)時(shí)的電壓值的任意一個(gè)電壓值。
如圖2所示，若晶片W位于調(diào)整機(jī)構(gòu)7的正下方，則由攝像部71對(duì)晶片W的表面進(jìn)行攝像，由圖象處理機(jī)構(gòu)73進(jìn)行處理。例如，在檢測(cè)要切削的刻道的情況下，由于進(jìn)行模式匹配等處理，從而將上述信息從圖象處理機(jī)構(gòu)73傳送到判斷部740，由判斷部740讀取圖象。
若判定為判斷部740正在讀取圖象，則將這一情況通知切換部741。切換部741為了確保圖象處理所需要的亮度，向照明器具72供給照明器具72對(duì)晶片W進(jìn)行照明所需要的足夠的電壓(例如100伏)。而且，若在剛要開(kāi)始讀取圖象之前供給足夠的電壓，則在開(kāi)始讀取圖象時(shí)便能獲得足夠的亮度。
另一方面，若在判斷部740判定為并未進(jìn)行讀取圖象的場(chǎng)合，由于為了照明并不需要將足夠大的電壓供給到照明器具72，所以，切換部741將比讀取圖象時(shí)低的電壓供給到照明器具72。但是，若完全停止供給電壓，則由于即使從再次開(kāi)始供給電壓時(shí)到能穩(wěn)定地進(jìn)行照明之前也需要時(shí)間，而且，會(huì)縮短照明器具72的壽命，所以，要使其為在開(kāi)始讀取圖象后能立即進(jìn)行穩(wěn)定照明的程度的電壓(例如20伏)。即，使其為空載狀態(tài)。這樣一來(lái)，由于在不讀取圖象期間使照明器具72為空載狀態(tài)，所以，能減少電力消耗，而且，能在以后縮短開(kāi)始進(jìn)行調(diào)整時(shí)的照明器具72的恢復(fù)時(shí)間，能延長(zhǎng)使用壽命。特別是，在是在使用象鹵素?zé)裟菢拥碾娏ο拇蟮臒襞莸膱?chǎng)合，是比較經(jīng)濟(jì)的。
如圖3所示，若從圖1所示的盒子2中取出晶片W到輸送到吸盤(pán)6上之前需要30秒，由調(diào)整機(jī)構(gòu)7進(jìn)行調(diào)整需要10秒，由切削機(jī)構(gòu)8進(jìn)行劃線需要3分鐘，將劃線后的晶片W輸送到清洗機(jī)構(gòu)9以及進(jìn)行清洗需要30秒，將清洗后的晶片W輸送到暫放區(qū)域4以及收容到盒子2中需要30秒，則由于在剛要開(kāi)始進(jìn)行調(diào)整之前，例如即使在開(kāi)始進(jìn)行調(diào)整之前5秒，使供給到照明器具72的電壓為100伏，在1個(gè)周期(4分40秒)中需要100伏電壓的時(shí)間也不過(guò)是15秒，剩下的時(shí)間，僅供給待機(jī)時(shí)的電壓值-20伏就可以了，所以能大幅地降低電力的消耗。
本發(fā)明通過(guò)在不需要進(jìn)行照明時(shí)，降低供給的電壓值，能節(jié)約消耗電力；在需要進(jìn)行照明時(shí)，提高電壓值，能立即進(jìn)行調(diào)整，所以能應(yīng)用于照明器具的使用狀態(tài)和不使用狀態(tài)反復(fù)轉(zhuǎn)換的加工裝置。
權(quán)利要求
1.一種加工裝置，其特征是至少具備保持晶片的吸盤(pán)；對(duì)保持在該吸盤(pán)上的晶片進(jìn)行攝像，并檢測(cè)加工區(qū)域的調(diào)整機(jī)構(gòu)；對(duì)保持在該吸盤(pán)上的晶片進(jìn)行加工的加工機(jī)構(gòu)，該調(diào)整機(jī)構(gòu)具備光學(xué)系統(tǒng)；將該光學(xué)系統(tǒng)取入的光變換成電信號(hào)的攝像部；對(duì)該晶片的加工區(qū)域進(jìn)行照明的照明器具，該照明器具與對(duì)供給到該照明器具的電壓值進(jìn)行調(diào)整的電壓值調(diào)整機(jī)構(gòu)相連接，該電壓值調(diào)整機(jī)構(gòu)包含將供給到該照明器具的電壓值切換成該照明器具使用時(shí)的電壓值和待機(jī)時(shí)的電壓值的切換部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的加工裝置，其特征是上述照明器具是鹵素?zé)簟?br> 全文摘要
需要用于檢測(cè)要加工的區(qū)域的照明的加工裝置，使其不縮短照明器具的使用壽命，且不無(wú)益地消耗電力。具備對(duì)保持在吸盤(pán)(6)上的晶片(W)進(jìn)行攝像、并檢測(cè)加工區(qū)域的調(diào)整機(jī)構(gòu)(7)的加工裝置(1)。調(diào)整機(jī)構(gòu)(7)具備光學(xué)系統(tǒng)(70)；將光學(xué)系統(tǒng)(70)取入的光變換成電信號(hào)的攝像部(71)；對(duì)晶片(W)的加工區(qū)域進(jìn)行照明的照明器具(72)。照明器具(72)與對(duì)供給到照明器具(72)的電壓值進(jìn)行調(diào)整的電壓值調(diào)整機(jī)構(gòu)(74)相連接。電壓值調(diào)整機(jī)構(gòu)(74)具備將供給到照明器具的電壓切換成照明器具使用時(shí)的電壓值和待機(jī)時(shí)的電壓值的切換部(741)。
文檔編號(hào)H01L21/77GK1612319SQ200410085738
公開(kāi)日2005年5月4日 申請(qǐng)日期2004年10月11日 優(yōu)先權(quán)日2003年10月31日
發(fā)明者關(guān)家一馬, 根岸克治 申請(qǐng)人:株式會(huì)社迪思科