1.一種光罩檢測裝置，其特征在于包含：
檢測基座，所述檢測基座一面上設(shè)有支架；
沿所述檢測基座作第一方向的位移的移動(dòng)平臺(tái)，設(shè)于所述檢測基座的所述面上，且位于所述檢測基座與所述支架之間；
沿所述移動(dòng)平臺(tái)作垂直所述第一方向的第二方向的位移的轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)，設(shè)于所述移動(dòng)平臺(tái)之上；
承載平臺(tái)，設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)的一面上，所述承載平臺(tái)承載光罩，所述光罩包含基板與多邊形框架，所述多邊形框架設(shè)于所述基板的一面上；
照射所述光罩的發(fā)光單元，設(shè)于所述支架的一側(cè)；
測量所述多邊形框架的若干個(gè)內(nèi)壁面的若干個(gè)檢測區(qū)域，且對(duì)應(yīng)各個(gè)檢測區(qū)域產(chǎn)生測距信號(hào)的雷射測距模塊，設(shè)于所述支架的一側(cè)；
依據(jù)測距信號(hào)控制所述移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)的處理模塊，連結(jié)所述移動(dòng)平臺(tái)及所述雷射測距模塊；以及，
當(dāng)所述移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)后，采集對(duì)應(yīng)測距信號(hào)的檢測區(qū)域的檢測影像，且所述處理模塊是依據(jù)檢測影像產(chǎn)生檢測信息的影像擷取模塊，設(shè)于所述支架的一側(cè)并連結(jié)所述處理模塊；
其中，當(dāng)所述影像擷取模塊采集完其中一個(gè)內(nèi)壁面的若干個(gè)檢測區(qū)域的若干個(gè)檢測影像之后，所述轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)預(yù)設(shè)角度，使所述影像擷取模塊采集另一個(gè)內(nèi)壁面的若干個(gè)檢測區(qū)域的若干個(gè)檢測影像。
2.如權(quán)利要求1所述的光罩檢測裝置，其特征在于，其中所述移動(dòng)平臺(tái)包含導(dǎo)軌，所述轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)沿著所述導(dǎo)軌發(fā)生位移。
3.如權(quán)利要求1所述的光罩檢測裝置，其特征在于，其中所述雷射測距模塊位于其所測量的其中一個(gè)內(nèi)壁面的斜上方。
4.如權(quán)利要求1所述的光罩檢測裝置，其特征在于，其中所述影像擷取模塊位于其所采集的其中一個(gè)內(nèi)壁面的斜上方。
5.如權(quán)利要求1所述的光罩檢測裝置，其特征在于，其中所述多邊形框架為四邊形框架。
6.如權(quán)利要求1所述的光罩檢測裝置，其特征在于，其中所述預(yù)設(shè)角度為90度。
7.如權(quán)利要求1所述的光罩檢測裝置，其特征在于，其中所述發(fā)光單元為條狀光發(fā)光單元。
8.如權(quán)利要求1所述的光罩檢測裝置，其特征在于，其中所述檢測信息包含微粒位置、微粒尺寸或其組合。
9.如權(quán)利要求1所述的光罩檢測裝置，其特征在于，其中所述預(yù)設(shè)角度為0至360度。