技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種涂布頭及涂布機(jī),該涂布頭包括:本體部和噴嘴;在所述本體部內(nèi)的兩側(cè)分別設(shè)置有光阻注入槽;所述噴嘴設(shè)置在所述本體部的下方,所述噴嘴與其中一側(cè)的光阻注入槽連通。本發(fā)明的涂布頭及涂布機(jī),提高了生產(chǎn)效率。
技術(shù)研發(fā)人員:但清華
受保護(hù)的技術(shù)使用者:武漢華星光電技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.04.24
技術(shù)公布日:2017.07.11