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涂布方法及涂布裝置與流程

文檔序號(hào):11526779閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
在該墨水涂布方法中,使墨水(22)附著于涂布針(24)的前端部(24a),將涂布針(24)配置在MEMS(40)的機(jī)構(gòu)部(40a)的上方,使涂布針(24)下降而使前端部(24a)與機(jī)構(gòu)部(40a)的表面接觸并待機(jī)一定時(shí)間。接下來(lái),一邊使涂布針(24)與MEMS(40)沿水平方向相對(duì)移動(dòng),一邊使涂布針(24)上升而使涂布針(24)的前端部(24a)從機(jī)構(gòu)部(40a)的表面脫離,在機(jī)構(gòu)部(40a)的表面形成墨水層(22a)。與僅使涂布針(24)沿垂直方向上升的情況相比,能減輕機(jī)構(gòu)部(40a)被墨水(22)的粘著力拉伸的力。

技術(shù)研發(fā)人員:大庭博明
受保護(hù)的技術(shù)使用者:NTN株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日:2015.09.07
技術(shù)公布日:2017.08.18
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