電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置，能夠增加每單位時間輸送的電子部件的數(shù)量。電子部件輸送裝置具備能夠配置并輸送多個電子部件的輸送部、能夠把持多個上述電子部件并將它們配置于上述輸送部的供給把持部、以及能夠把持多個上述電子部件并進(jìn)行供給和回收的供給回收把持部，上述供給把持部的電子部件把持間距能夠調(diào)節(jié)為與上述輸送部的電子部件配置間距相同，上述供給回收把持部的電子部件把持間距比上述輸送部的電子部件配置間距大，上述供給把持部將多個上述電子部件配置于上述輸送部，上述供給回收把持部將多個上述電子部件分多次從上述輸送部取出。
【專利說明】
電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，公知有檢查例如IC器件等電子部件的電特性的電子部件檢查裝置，在該電子部件檢查裝置組裝有用于將IC器件輸送到檢查部的保持部的電子部件輸送裝置。在檢查IC器件時將IC器件配置于保持部，使設(shè)置于保持部的多個探針與IC器件的各端子接觸。
[0003]上述電子部件輸送裝置具有預(yù)先加熱或者冷卻IC器件將IC器件調(diào)整為適于檢查的溫度的浸泡板、將被浸泡板調(diào)整溫度后的IC器件輸送到檢查部的附近的供給梭、進(jìn)行配置有IC器件的托盤與浸泡板之間的IC器件的輸送和浸泡板與供給梭之間的IC器件的輸送的第一器件輸送頭、輸送檢查后的IC器件的回收梭、進(jìn)行供給梭與檢查部之間的IC器件的輸送和檢查部與回收梭之間的IC器件的輸送的第二器件輸送頭、以及進(jìn)行回收梭與配置被回收的IC器件的托盤之間的IC器件的輸送的第三器件輸送頭等。
[0004]第一器件輸送頭、第二器件輸送頭以及第三器件輸送頭分別具有多個把持IC器件的手單元。另外，各手單元分別具有吸附IC器件的噴嘴，利用該噴嘴吸附從而把持IC器件90。另外，供給梭以及回收梭分別具有配置多個IC器件的兜部，檢查部具有配置多個IC器件的保持部。
[0005]另外，專利文獻(xiàn)I公開了能夠調(diào)節(jié)多聯(lián)吸附頭80的各吸附頭81的吸附頭間隔90的IC處理用器件輸送裝置。
[0006]在該IC處理用器件輸送裝置中，使吸附頭間隔90是用戶托盤100的器件收納兜部間隔202的N倍，一次吸附/釋放多個被試驗器件(DUT)。
[0007]專利文獻(xiàn)I:日本特開平8-264993號公報
[0008]在現(xiàn)有的電子部件輸送裝置中，將檢查部的保持部的間距、與供給梭的兜部的間距設(shè)定為相同。在該情況下，若供給梭的兜部的間距為第一器件輸送頭的手單元的噴嘴的最大間距以下，則將第一器件輸送頭的手單元的噴嘴的間距調(diào)節(jié)為與供給梭的兜部的間距相同，由此第一器件輸送頭的全部手單元能夠同時將IC器件配置于供給梭的兜部。
[0009]然而，在供給梭的兜部的間距比第一器件輸送頭的手單元的噴嘴的最大間距大的情況下，第一器件輸送頭的全部手單元無法同時將IC器件配置于供給梭的兜部，第一器件輸送頭分多次將IC器件配置于供給梭的兜部。因此，每單位時間輸送的IC器件的數(shù)量減少。第三器件輸送頭也同樣。
[0010]另外，在專利文獻(xiàn)I所記載的IC處理用器件輸送裝置中，利用多聯(lián)吸附頭80，在用戶托盤100中一次吸附/釋放開多個被試驗器件，但在專利文獻(xiàn)I中沒有記載如何將多個被試驗器件配置于檢查部的多個保持部。因此，在專利文獻(xiàn)I所記載的IC處理用器件輸送裝置中，無法增加每單位時間輸送的IC器件的數(shù)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本發(fā)明的目的是提供能夠增加每單位時間輸送的電子部件的數(shù)量的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置。
[0012]本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，能夠作為以下的方式或者應(yīng)用例實現(xiàn)。
[0013]應(yīng)用例I
[0014]本發(fā)明的電子部件輸送裝置的特征在于，具備:能夠配置并輸送多個電子部件的輸送部、能夠把持多個上述電子部件并將它們配置于上述輸送部的供給把持部、以及能夠把持多個上述電子部件并進(jìn)行供給和回收的供給回收把持部，上述供給把持部的電子部件把持間距能夠調(diào)節(jié)為與上述輸送部的電子部件配置間距相同，上述供給回收把持部的電子部件把持間距比上述輸送部的電子部件配置間距大，上述供給把持部將多個上述電子部件配置于上述輸送部，上述供給回收把持部將多個上述電子部件分多次從上述輸送部取出。
[0015]由此，能夠增加每單位時間輸送的電子部件的數(shù)量。
[0016]應(yīng)用例2
[0017]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選，上述供給把持部將多個上述電子部件統(tǒng)一配置于上述輸送部。
[0018]由此，能夠增加每單位時間輸送的電子部件的數(shù)量。
[0019]應(yīng)用例3
[0020]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選，上述供給回收把持部從把持到配置上述電子部件的時間比上述供給把持部從把持到配置上述電子部件的時間短。
[0021]由此，能夠增加每單位時間輸送的電子部件的數(shù)量。
[0022]應(yīng)用例4
[0023]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選，上述供給把持部能夠朝配置多個上述電子部件的方向、和與配置多個上述電子部件的方向正交的方向移動。
[0024]由此，能夠容易把持電子部件。
[0025]應(yīng)用例5
[0026]本發(fā)明的電子部件輸送裝置的特征在于，具備:能夠配置并輸送多個電子部件的輸送部、能夠把持配置于上述輸送部的多個上述電子部件并將它們從上述輸送部取出的回收把持部、以及能夠把持多個上述電子部件并進(jìn)行供給和回收的供給回收把持部，上述回收把持部的電子部件把持間距能夠調(diào)節(jié)為與上述輸送部的電子部件配置間距相同，上述供給回收把持部的電子部件把持間距比上述輸送部的電子部件配置間距大，上述供給回收把持部將多個上述電子部件分多次配置于上述輸送部，上述回收把持部將多個上述電子部件從上述輸送部取出。
[0027]由此，能夠增加每單位時間輸送的電子部件的數(shù)量。
[0028]應(yīng)用例6
[0029]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選，上述回收把持部將多個上述電子部件統(tǒng)一從上述輸送部取出。
[0030]由此，能夠增加每單位時間輸送的電子部件的數(shù)量。
[0031]應(yīng)用例7
[0032]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選，上述供給回收把持部從把持到配置上述電子部件的時間比上述回收把持部從把持到配置上述電子部件的時間短。
[0033]由此，能夠增加每單位時間輸送的電子部件的數(shù)量。
[0034]應(yīng)用例8
[0035]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選，上述回收把持部能夠朝配置多個上述電子部件的方向、和與配置多個上述電子部件的方向正交的方向移動。
[0036]由此，能夠容易把持電子部件。
[0037]應(yīng)用例9
[0038]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選，在上述輸送部中配置多個上述電子部件的方向與上述輸送部的輸送方向相同。
[0039]由此，能夠縮短供給回收把持部配置或者取出電子部件的情況下所需要的時間。
[0040]應(yīng)用例10
[0041]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選，在上述供給回收把持部配置或者取出上述電子部件的情況下，上述供給回收把持部能夠朝與配置多個上述電子部件的方向正交的方向移動，上述輸送部能夠朝配置多個上述電子部件的方向移動。
[0042]由此，能夠縮短供給回收把持部配置或者取出電子部件的情況下所需要的時間。
[0043]應(yīng)用例11
[0044]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選，在將配置于上述輸送部的多個上述電子部件的間距設(shè)為a，將上述供給回收把持部把持的多個上述電子部件的間距設(shè)為b時，b/a是2以上的整數(shù)。
[0045]由此，在供給回收把持部配置或者取出電子部件的情況下，能夠以最小限度的次數(shù)配置或者取出電子部件。
[0046]應(yīng)用例12
[0047]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選，具有能夠保持上述電子部件的保持部，上述供給回收把持部能夠向上述保持部按壓上述電子部件。
[0048]由此，能夠通過檢查用把持部按壓電子部件而使電子部件的端子與設(shè)置于保持部的探針電連接。
[0049]應(yīng)用例13
[0050]在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選，上述供給回收把持部和上述輸送部分別設(shè)置有2個。
[0051]由此，兩個輸送部以及兩個供給回收把持部彼此在時間上進(jìn)行補(bǔ)充，能夠進(jìn)一步增加每單位時間輸送的電子部件的數(shù)量。
[0052]應(yīng)用例14
[0053]本發(fā)明的電子部件檢查裝置的特征在于，具備:能夠配置并輸送多個電子部件的輸送部、能夠把持多個上述電子部件并將它們配置于上述輸送部的供給把持部、能夠把持多個上述電子部件并進(jìn)行供給和回收的供給回收把持部、以及檢查上述電子部件的檢查部，上述供給把持部的電子部件把持間距能夠調(diào)節(jié)為與上述輸送部的電子部件配置間距相同，上述供給回收把持部的電子部件把持間距比上述輸送部的電子部件配置間距大，上述供給把持部將多個上述電子部件配置于上述輸送部，上述供給回收把持部將多個上述電子部件分多次從上述輸送部取出。
[0054]由此，能夠增加每單位時間輸送的電子部件的數(shù)量。由此，能夠減少檢查部不運(yùn)轉(zhuǎn)的時間，增加每單位時間的電子部件的檢查數(shù)量。
[0055]應(yīng)用例15
[0056]本發(fā)明的電子部件檢查裝置的特征在于，具備:能夠配置并輸送多個電子部件的輸送部、能夠把持配置于上述輸送部的多個上述電子部件并將它們從上述輸送部取出的回收把持部、能夠把持多個上述電子部件并進(jìn)行供給和回收的供給回收把持部、以及檢查上述電子部件的檢查部，上述回收把持部的電子部件把持間距能夠調(diào)節(jié)為與上述輸送部的電子部件配置間距相同，上述供給回收把持部的電子部件把持間距比上述輸送部的電子部件配置間距大，上述供給回收把持部將多個上述電子部件分多次配置于上述輸送部，上述回收把持部將多個上述電子部件從上述輸送部取出。
[0057]由此，能夠增加每單位時間輸送的電子部件的數(shù)量。由此，能夠減少檢查部不運(yùn)轉(zhuǎn)的時間，增加每單位時間的電子部件的檢查數(shù)量。
[0058]應(yīng)用例16
[0059]本發(fā)明的電子部件檢查裝置中，優(yōu)選，上述供給回收把持部能夠?qū)ι鲜鰴z查部供給和回收上述電子部件。
[0060]由此，能夠利用供給回收把持部將電子部件供給至檢查部并進(jìn)行檢查，并能夠在檢查后利用供給回收把持部將電子部件從檢查部回收。
【附圖說明】
[0061]圖1是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第一實施方式的簡要俯視圖。
[0062]圖2是圖1所示的電子部件檢查裝置的框圖。
[0063]圖3是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的檢查部的主要部位的俯視圖。
[0064]圖4是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的檢查部的主要部位的剖視圖。
[0065]圖5是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的器件供給部的主要部位的剖視圖。
[0066]圖6是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的器件回收部的主要部位的剖視圖。
[0067]圖7是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的第二器件輸送頭的主要部位的剖視圖。
[0068]圖8是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的第一器件輸送頭的主要部位的剖視圖。
[0069]圖9是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的第三器件輸送頭的主要部位的剖視圖。
[0070]圖10是用于說明圖1所示的電子部件檢查裝置以及現(xiàn)有的電子部件檢查裝置的動作的圖。
[0071]圖11是用于說明圖1所示的電子部件檢查裝置以及現(xiàn)有的電子部件檢查裝置的動作的圖。
[0072]圖12是用于說明圖1所示的電子部件檢查裝置以及現(xiàn)有的電子部件檢查裝置的動作的圖。
[0073]圖13是用于說明圖1所示的電子部件檢查裝置以及現(xiàn)有的電子部件檢查裝置的動作的圖。
[0074]圖14是用于說明圖1所示的電子部件檢查裝置以及現(xiàn)有的電子部件檢查裝置的動作的圖。
[0075]圖15是用于說明圖1所示的電子部件檢查裝置以及現(xiàn)有的電子部件檢查裝置的動作的圖。
[0076]圖16是用于說明圖1所示的電子部件檢查裝置以及現(xiàn)有的電子部件檢查裝置的動作的圖。
[0077]圖17是表示圖1所示的電子部件檢查裝置以及現(xiàn)有的電子部件檢查裝置的動作所需要的時間的圖表。
[0078]圖18是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第二實施方式的簡要俯視圖。
【具體實施方式】
[0079]以下，根據(jù)附圖所示的實施方式詳細(xì)說明本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置。
[0080]第一實施方式
[0081]圖1是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第一實施方式的簡要俯視圖。圖2是圖1所示的電子部件檢查裝置的框圖。圖3是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的檢查部的主要部位的俯視圖。圖4是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的檢查部的主要部位的剖視圖。圖5是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的器件供給部的主要部位的剖視圖。圖6是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的器件回收部的主要部位的剖視圖。圖7是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的第二器件輸送頭的主要部位的剖視圖。圖8是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的第一器件輸送頭的主要部位的剖視圖。圖9是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的第三器件輸送頭的主要部位的剖視圖。圖10?圖16分別是用于說明圖1所示的電子部件檢查裝置以及現(xiàn)有的電子部件檢查裝置的動作的圖。圖17是表示圖1所示的電子部件檢查裝置以及現(xiàn)有的電子部件檢查裝置的動作所需要的時間的圖表。圖18是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第二實施方式的簡要俯視圖。
[0082]此外，以下，為了便于說明，如圖1所示，將相互正交的3個軸設(shè)為X軸、Y軸以及Z軸(圖18也同樣)。另外，將包含X軸和Y軸在內(nèi)的XY平面設(shè)為水平，將Z軸設(shè)為鉛垂。另外，將平行于X軸的方向稱為“X方向”，平行于Y軸的方向稱為“Y方向”，平行于Z軸的方向稱為“Z方向”。另外，將X軸、Y軸以及Z軸各軸的箭頭的方向稱為正側(cè)，將與箭頭相反的方向稱為負(fù)側(cè)。另外，將電子部件的輸送方向的上游側(cè)簡稱為“上游側(cè)”，將下游側(cè)簡稱為“下游側(cè)”。另外，在本申請說明書中提到的“水平”不限定于完全水平，只要不阻礙電子部件的輸送，也包含相對于水平稍微(例如小于5°左右)傾斜的狀態(tài)。
[0083]另外，以下，為了便于說明，將圖4?圖9中的上側(cè)稱為“上”或者“上方”，下側(cè)稱為“下”或者“下方”，右側(cè)稱為“右”，左側(cè)稱為“左” O
[0084]此外，在圖10?圖16中，為了便于理解，對現(xiàn)有的檢查裝置也標(biāo)注與本實施方式的檢查裝置I相同的附圖標(biāo)記。
[0085]圖1所示的檢查裝置(電子部件檢查裝置)1例如是用于檢查/試驗(以下簡稱為“檢查”)BGA(Ball grid array)封裝、LGA(Land grid array)封裝等IC器件、LCD(LiquidCrystal Display)、CIS(CM0S Image Sensor)等電子部件的電特性的裝置。此外，以下為了便于說明，以使用IC器件作為進(jìn)行檢查的上述電子部件的情況為代表進(jìn)行說明，記為“1C器件90” ο
[0086]如圖1所示，檢查裝置I分為托盤供給區(qū)域Al、器件供給區(qū)域(以下簡稱為“供給區(qū)±|Γ)Α2、檢查區(qū)域A3、器件回收區(qū)域(以下簡稱為“回收區(qū)域”)A4、托盤除去區(qū)域A5。上述各區(qū)域彼此被未圖示的壁部、百葉窗等分隔。而且，供給區(qū)域A2成為被壁部、百葉窗等劃分而成的第一室Rl，另外，檢查區(qū)域A3成為被壁部、百葉窗等劃分而成的第二室R2，另外，回收區(qū)域A4成為被壁部、百葉窗等劃分而成的第三室R3。另外，第一室Rl (供給區(qū)域A2)、第二室R2(檢查區(qū)域A3)以及第三室R3 (回收區(qū)±|^A4)分別構(gòu)成為能夠確保氣密性、隔熱性。由此，第一室Rl、第二室R2以及第三室R3分別能夠盡可能維持濕度、溫度。此外，第一室Rl以及第二室R2內(nèi)分別由規(guī)定的濕度以及規(guī)定的溫度控制。
[0087]IC器件90從托盤供給區(qū)域Al到托盤除去區(qū)域A5按順序經(jīng)由上述各區(qū)域，在中途的檢查區(qū)域A3進(jìn)行檢查。這樣檢查裝置I具備在各區(qū)域輸送IC器件90并具有控制部80的電子部件輸送裝置、在檢查區(qū)域A3內(nèi)進(jìn)行檢查的檢查部16、以及未圖示的檢查控制部。此外，在檢查裝置I中，由除了檢查部16以及檢查控制部之外的結(jié)構(gòu)構(gòu)成了電子部件輸送裝置。
[0088]托盤供給區(qū)域Al是被供給排列有未檢查狀態(tài)的多個IC器件90的托盤200的區(qū)域。在托盤供給區(qū)域Al中，能夠?qū)盈B多個托盤200。
[0089]供給區(qū)域A2是將來自托盤供給區(qū)域Al的托盤200上的多個IC器件90分別供給到檢查區(qū)域A3的區(qū)域。此外，以跨越托盤供給區(qū)域Al和供給區(qū)域A2的方式設(shè)置有逐個輸送托盤200的第一托盤輸送機(jī)構(gòu)11A、第二托盤輸送機(jī)構(gòu)IIB。
[0090]在供給區(qū)域A2設(shè)置有作為配置IC器件90的配置部的溫度調(diào)整部(浸泡板)12、第一器件輸送頭(供給把持部)13、以及第三托盤輸送機(jī)構(gòu)15。
[0091]溫度調(diào)整部12是加熱或者冷卻多個IC器件90將該IC器件90調(diào)整(控制)為適于檢查的溫度的裝置。即，溫度調(diào)整部12是配置IC器件90并能夠?qū)υ揑C器件90進(jìn)行加熱以及冷卻的溫度控制部件(部件)。在圖1所示的結(jié)構(gòu)中，溫度調(diào)整部12沿Y方向配置、固定有2個。而且，通過第一托盤輸送機(jī)構(gòu)IlA從托盤供給區(qū)域Al被搬入(輸送來)的托盤200上的IC器件90被輸送、載置于某一溫度調(diào)整部12。
[0092]第一器件輸送頭13在供給區(qū)域A2內(nèi)被支承為能夠沿X方向(第一方向)、Y方向(第三方向)以及Z方向(第二方向)移動。由此，第一器件輸送頭13負(fù)責(zé)從托盤供給區(qū)域Al被搬入的托盤200與溫度調(diào)整部12之間的IC器件90的輸送、和溫度調(diào)整部12與后述的器件供給部14之間的IC器件90的輸送。
[0093]如圖8所示，第一器件輸送頭13具有作為把持IC器件90的把持部的多個手單元
131。該手單元131的數(shù)量只要是多個則沒有特別限定，在本實施方式中，作為一個例子而說明8個的情況。此外，8個手單元131呈行列狀，X方向配置有4個，Y方向配置有2個，圖8中僅能看到沿X方向的I列排列的4個手單元131。各手單元131的結(jié)構(gòu)相同，所以以下代表性地說明一個手單元131。另外，在動作的說明中，代表性地說明能被看到的4個手單元131。手單元131具備吸附噴嘴132，通過吸附把持IC器件90。即，手單元131在吸附噴嘴132的前端部配置有IC器件90的狀態(tài)下，驅(qū)動未圖示的栗吸引空氣(流體)，使吸附噴嘴132的內(nèi)腔成為負(fù)壓狀態(tài)，從而利用吸附噴嘴132的前端部把持(吸附把持)IC器件90。另外，驅(qū)動未圖示的其它栗供給空氣將吸附噴嘴132的內(nèi)腔的負(fù)壓狀態(tài)解除，從而將被吸附噴嘴132把持著的IC器件90放開。
[0094]另外，手單元131的間距(電子部件把持間距)Ρ5能夠調(diào)節(jié)(調(diào)整)，可適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)。在本實施方式中，對在檢查部16以及器件供給部14中將手單元131的間距Ρ5調(diào)節(jié)(設(shè)定)為與檢查部16的保持部161的間距(電子部件配置間距)P1以及第二器件輸送頭17的手單元175的吸附噴嘴176的間距(電子部件把持間距)P4(b)的1/2、器件供給部14的兜部141的間距(電子部件配置間距)P2(a)相同的情況進(jìn)行說明。
[0095]第三托盤輸送機(jī)構(gòu)15是將全部的IC器件90被除去的狀態(tài)的空的托盤200沿X方向輸送的機(jī)構(gòu)。而且，在該輸送后，空的托盤200通過第二托盤輸送機(jī)構(gòu)IlB從供給區(qū)域A2返回托盤供給區(qū)域Al。
[0096]檢查區(qū)域A3是檢查IC器件90的區(qū)域。在該檢查區(qū)域A3設(shè)置有作為能夠配置并輸送IC器件90的輸送部(供給輸送部)的器件供給部(供給梭)14、檢查部16、第二器件輸送頭(供給回收把持部)17、以及作為能夠配置并輸送IC器件90的輸送部(回收輸送部)的器件回收部(回收梭)18。
[0097]器件供給部14具有配置IC器件90的配置板、和能夠沿X方向移動的器件供給部主體，配置板以能夠裝卸的方式設(shè)置于器件供給部主體。該器件供給部14是將被溫度調(diào)整(溫度控制)后的IC器件90輸送到檢查部16附近的裝置，被支承為能夠在供給區(qū)域A2與檢查區(qū)域A3之間沿X方向移動。溫度調(diào)整部12上的IC器件90被第一器件輸送頭13輸送并載置于器件供給部14。此外，在器件供給部14中，與溫度調(diào)整部12相同，能夠加熱或者冷卻IC器件90，將該IC器件90調(diào)整為適于檢查的溫度。
[0098]更詳細(xì)地說明器件供給部14，如圖5所示，在器件供給部14的上表面設(shè)置有收納(配置)IC器件90的多個凹部、亦即兜部(電子部件配置部)141。各IC器件90被收納于各兜部141，由此配置于器件供給部14。
[0099]各兜部141的形狀、大小(尺寸)以及配置(位置)根據(jù)檢查的IC器件90的形狀、大小(尺寸)、檢查部16的保持部161的配置等設(shè)定。在本實施方式中，對將兜部141的間距P2設(shè)定為檢查部16的保持部161的間距Pl以及手單元175的吸附噴嘴176的間距P4的1/2的情況進(jìn)行說明。
[0100]此外，間距P2(a)與間距Pl以及間距P4(b)的大小關(guān)系只要間距Pl以及間距P4比間距P2大則沒有特別限定，優(yōu)選PI /P2以及P4 (b) /P2 (a)是2以上的整數(shù)。
[0101 ]另外，在本實施方式中，從圖1中的Z方向觀察，兜部141的外形是與IC器件90的外形對應(yīng)的形狀即四邊形。
[0102]另外，兜部141的數(shù)量只要是多個則沒有特別限定，在本實施方式中，作為一個例子而說明8(4 X 2)個的情況。此外，8個兜部141呈行列狀，X方向配置有4個，Y方向配置有2個，圖5中僅能看到沿X方向的I列排列的4個兜部141。另外，在動作的說明中，代表性地說明能被看到的4個兜部141。
[0103]檢查部16是檢查/試驗IC器件90的電特性的單元，即在檢查IC器件90的情況下保持該IC器件90的部件。在檢查部16設(shè)置有在保持有IC器件90的狀態(tài)下與該IC器件90的端子電連接的多個探針。而且，IC器件90的端子與探針電連接(接觸)，經(jīng)由探針進(jìn)行IC器件90的檢查。IC器件90的檢查根據(jù)與檢查部16連接的未圖示的檢驗器所具備的檢查控制部的存儲部中存儲的程序進(jìn)行。此外，在檢查部16中，與溫度調(diào)整部12相同，能夠加熱或者冷卻IC器件90，將該IC器件90調(diào)整為適于檢查的溫度。
[0104]更詳細(xì)地說明檢查部16，如圖3以及圖4所示，在檢查部16的上表面設(shè)置有收納(保持)IC器件90的多個凹部、亦即保持部(電子部件配置部)161。各IC器件90被收納于各保持部161，由此配置于檢查部16。
[0105]各保持部161的形狀、大小(尺寸)以及配置(位置)根據(jù)檢查的IC器件90的形狀、大小(尺寸)等設(shè)定。在本實施方式中，將保持部161的間距Pl設(shè)定為與第二器件輸送頭17的手單元175的吸附噴嘴176的間距P4相同。
[0106]此外，在本實施方式中，從圖1中的Z方向觀察(俯視)，IC器件90的外形呈四邊形，因此，保持部161的外形是與IC器件90的外形對應(yīng)的形狀即四邊形。
[0107]另外，保持部161的數(shù)量只要是多個則沒有特別限定，在本實施方式中，作為一個例子而說明8個的情況。此外，8個保持部161呈行列狀，X方向配置有4個，Y方向配置有2個。另外，在動作的說明中，代表性地說明沿X方向的I列排列的4個保持部161。
[0108]第二器件輸送頭17在檢查區(qū)域A3內(nèi)被支承為能夠沿Y方向以及Z方向移動。另外，第二器件輸送頭17能夠?qū)墓┙o區(qū)域A2被搬入的器件供給部14上的IC器件90輸送并載置于檢查部16上，另外，能夠?qū)z查部16上的IC器件90輸送并載置于器件回收部18上。另外，在檢查IC器件90情況下，第二器件輸送頭17向檢查部16按壓IC器件90，由此使IC器件90與檢查部16抵接。由此，如上所述，IC器件90的端子與檢查部16的探針電連接。
[0109]如圖7所示，第二器件輸送頭17具有多個手單元175作為把持IC器件90的把持部。該手單元175的數(shù)量只要是多個則沒有特別限定，在本實施方式中，作為一個例子而說明8個的情況。此外，8個手單元175呈行列狀，X方向配置有4個，Y方向配置有2個，圖7中僅能看到沿X方向的I列排列的4個手單元175。各手單元175的結(jié)構(gòu)相同，所以以下代表性地說明一個手單元175。另外，在動作的說明中，代表性地說明能被看到的4個手單元175。手單元175具備吸附噴嘴176，通過吸附把持IC器件90。即，手單元175在吸附噴嘴176的前端部配置有IC器件90的狀態(tài)下，驅(qū)動未圖示的栗吸引空氣(流體)，使吸附噴嘴176的內(nèi)腔成為負(fù)壓狀態(tài)，從而利用吸附噴嘴176的前端部把持(吸附把持)IC器件90。另外，驅(qū)動未圖示的其它栗供給空氣，將吸附噴嘴176的內(nèi)腔的負(fù)壓狀態(tài)解除，從而將被吸附噴嘴176把持的IC器件90放開。
[0110]另外，將手單元175的間距(電子部件把持間距)P4、和檢查部16的保持部161的間距Pl設(shè)定為相同。
[0111]另外，在各手單元175中，與溫度調(diào)整部12相同，能夠加熱或者冷卻IC器件90，將IC器件90調(diào)整為適于檢查的溫度。
[0112]器件回收部18具有配置IC器件90的配置板、和能夠沿X方向移動的器件回收部主體，配置板以能夠裝卸的方式設(shè)置于器件回收部主體。該器件回收部18是將在檢查部16的檢查結(jié)束了的IC器件90輸送到回收區(qū)域A4的裝置，被支承為能夠在檢查區(qū)域A3與回收區(qū)域A4之間沿X方向移動。檢查部16上的IC器件90被第二器件輸送頭17輸送并載置于器件回收部18。
[0113]更詳細(xì)地說明器件回收部18，如圖6所示，在器件回收部18的上表面設(shè)置有作為收納(配置)IC器件90的多個凹部的兜部(電子部件配置部)181。各IC器件90被收納于各兜部181，由此配置于器件回收部18。
[0114]各兜部181的形狀、大小(尺寸)以及配置(位置)根據(jù)檢查的IC器件90的形狀、大小(尺寸)、檢查部16的保持部161的配置等設(shè)定。在本實施方式中，對將兜部181的間距(電子部件配置間距)P3設(shè)定為檢查部16的保持部161的間距Pl以及手單元175的吸附噴嘴176的間距P4的1/2的情況進(jìn)行說明。
[0115]此外，間距P3(a)與間距Pl以及間距P4(b)的大小關(guān)系只要是間距Pl以及間距P4比間距P3大則沒有特別限定，優(yōu)選P1/P3以及P4(b)/P3(a)是2以上的整數(shù)。
[0116]另外，在本實施方式中，從圖1中的Z方向觀察，兜部181的外形是與IC器件90的外形對應(yīng)的形狀即四邊形。
[0117]另外，兜部181的數(shù)量只要是多個則沒有特別限定，在本實施方式中，作為一個例子而說明8(4 X 2)個的情況。此外，8個兜部181呈行列狀，X方向配置有4個，Y方向配置有2個，圖6中僅能看到沿X方向的I列排列的4個兜部181。另外，在動作的說明中，代表性地說明能被看到的4個兜部181。
[0118]回收區(qū)域A4是回收檢查結(jié)束的IC器件90的區(qū)域。在該回收區(qū)域A4設(shè)置有回收用托盤19、第三器件輸送頭(回收把持部)20以及第六托盤輸送機(jī)構(gòu)21。另外，還在回收區(qū)域A4準(zhǔn)備了空的托盤200。
[0119]回收用托盤19固定于回收區(qū)域A4內(nèi)，在圖1所示的結(jié)構(gòu)中，沿X方向配置有3個。另夕卜，空的托盤200也沿X方向配置有3個。而且，移動到回收區(qū)域A4的器件回收部18上的IC器件90被輸送和載置于上述回收用托盤19以及空的托盤200中的任意一個。由此，根據(jù)檢查結(jié)果回收和分類IC器件90。
[0120]第三器件輸送頭20在回收區(qū)域A4內(nèi)被支承為能夠沿X方向、Y方向以及Z方向移動。由此，第三器件輸送頭20能夠?qū)C器件90從器件回收部18輸送至回收用托盤19、空的托盤200。
[0121]如圖9所示，第三器件輸送頭20具有多個手單元201作為把持IC器件90的把持部。該手單元201的數(shù)量只要是多個則沒有特別限定，在本實施方式中，作為一個例子而說明8個的情況。此外，8個手單元201呈行列狀，X方向配置有4個，Y方向配置有2個，圖9中僅能看到沿X方向的I列排列的4個手單元201 ο各手單元201的結(jié)構(gòu)相同，所以以下代表性地說明一個手單元201。另外，在動作的說明中，代表性地說明能被看到的4個手單元201。手單元201具備吸附噴嘴202，通過吸附把持IC器件90。即，手單元201在吸附噴嘴202的前端部配置有IC器件90的狀態(tài)下，驅(qū)動未圖示的栗吸引空氣(流體)，使吸附噴嘴202的內(nèi)腔成為負(fù)壓狀態(tài)，從而利用吸附噴嘴202的前端部把持(吸附把持)IC器件90。另外，驅(qū)動未圖示的其它栗供給空氣，將吸附噴嘴202的內(nèi)腔的負(fù)壓狀態(tài)解除，從而將被吸附噴嘴202把持著的IC器件90放開。
[0122]另外，手單元201的間距(電子部件把持間距)P6能夠調(diào)節(jié)(調(diào)整)，可適當(dāng)?shù)卣{(diào)整。在本實施方式中，對在檢查部16以及器件回收部18中將手單元201的間距P6調(diào)節(jié)(設(shè)定)為與檢查部16的保持部161的間距Pl以及第二器件輸送頭17的手單元175的吸附噴嘴176的間距P4的1/2、器件回收部18的兜部181的間距P3(a)相同的情況進(jìn)行說明。
[0123]第六托盤輸送機(jī)構(gòu)21是將從托盤除去區(qū)域A5被搬入的空的托盤200沿X方向輸送的機(jī)構(gòu)。而且，在該輸送后，空的托盤200配置于回收IC器件90的位置，即成為上述3個空的托盤200中的任意一個。
[0124]托盤除去區(qū)域A5是回收和除去排列有檢查完畢狀態(tài)的多個IC器件90的托盤200的區(qū)域。在托盤除去區(qū)域A5中，能夠?qū)盈B多個托盤200。
[0125]另外，以跨越回收區(qū)域A4和托盤除去區(qū)域A5的方式，設(shè)置有逐個輸送托盤200的第四托盤輸送機(jī)構(gòu)2 2A、第五托盤輸送機(jī)構(gòu)2 2B。
[0126]第四托盤輸送機(jī)構(gòu)22A是將載置有檢查完畢的IC器件90的托盤200從回收區(qū)域A4輸送至托盤除去區(qū)域A5的機(jī)構(gòu)。第五托盤輸送機(jī)構(gòu)22B是將用于回收IC器件90的空的托盤200從托盤除去區(qū)域A5輸送至回收區(qū)域A4的機(jī)構(gòu)。
[0127]上述檢驗器的檢查控制部根據(jù)例如存儲于未圖示的存儲部的程序，進(jìn)行配置于檢查部16的IC器件90的電特性的檢查等。
[0128]另外，如圖2所示，檢查裝置I具有控制部80、和與控制部80電連接并進(jìn)行檢查裝置I的各操作的操作部6 ο控制部80例如控制第一托盤輸送機(jī)構(gòu)11A、第二托盤輸送機(jī)構(gòu)IIB、溫度調(diào)整部12、第一器件輸送頭13、器件供給部14、第三托盤輸送機(jī)構(gòu)15、檢查部16、第二器件輸送頭17、器件回收部18、第三器件輸送頭20、第六托盤輸送機(jī)構(gòu)21、第四托盤輸送機(jī)構(gòu)22A、第五托盤輸送機(jī)構(gòu)22B、顯示部62等各部的驅(qū)動。
[0129]另外，操作部6具有進(jìn)行各輸入的輸入部61、和顯示圖像的顯示部62。輸入部61沒有特別限定，例如可舉出鍵盤、鼠標(biāo)等。另外，顯示部62沒有特別限定，例如可舉出液晶顯示面板、有機(jī)EL顯示面板等。作業(yè)者(操作者)的操作部6的操作例如通過操作輸入部61使光標(biāo)移動至在顯示部62上顯示的各操作按鈕(圖標(biāo))的位置并選擇(點(diǎn)擊)來完成。
[0130]此外，輸入部61并不局限于上述結(jié)構(gòu)，例如可舉出按鈕等機(jī)械式的操作按鈕等。另夕卜，操作部6并不局限于上述結(jié)構(gòu)，例如可舉出能夠進(jìn)行觸摸面板等輸入以及圖像的顯示的器件等。此外，由上述操作部6的顯示部62構(gòu)成報告部。
[0131 ]接下來，說明輸送檢查裝置I的IC器件90時的動作。
[0132]另外，為了便于理解，同時也說明輸送現(xiàn)有的檢查裝置的IC器件90時的動作。
[0133]前提檢查裝置I的檢查部16的保持部161的間距P1、和第二器件輸送頭17的手單元175的吸附噴嘴176的間距P4超過第一器件輸送頭13的手單元131的吸附噴嘴132的間距P5的最大間距、和第三器件輸送頭20的手單元201的吸附噴嘴202的間距P6的最大間距，在該情況下，檢查裝置I能夠增加每單位時間輸送的IC器件90的數(shù)量而構(gòu)成。
[0134]首先，本實施方式的檢查裝置I的各部的尺寸如上所述，將檢查部16的保持部161的間距P1、和第二器件輸送頭17的手單元175的吸附噴嘴176的間距P4設(shè)定為相同。此外，Pl以及P4例如是60mm。
[0135]另外，器件供給部14的兜部141的間距P2、器件回收部18的兜部181的間距P3、第一器件輸送頭13的手單元131的吸附噴嘴132的間距P5、第三器件輸送頭20的手單元201的吸附噴嘴202的間距P6相同，該間距P2、P3、P5以及P6是間距PI以及P4的I /2。此外，P2、P3、P5以及P6例如是30mm。
[0136]另一方面，現(xiàn)有的檢查裝置的各部的尺寸如圖10(b)所示，將器件供給部14的兜部141的間距P12、檢查部16的保持部161的間距Pll、器件回收部18的兜部181的間距P13、第二器件輸送頭17的手單元175的吸附噴嘴176的間距P14設(shè)定為相同。
[0137]此外，P11、P12、P13以及 P14 例如是 60_。
[0138]另外，第一器件輸送頭13的手單元131的吸附噴嘴132的間距P15、與第三器件輸送頭20的手單元201的吸附噴嘴202的間距P16相同，該間距P15以及P16是間距P11、P12、P13以及P14的1/2。此外，P15以及P16例如是30mm。
[0139]首先，說明現(xiàn)有的檢查裝置的動作。
[0140][工序2-1]
[0141]在現(xiàn)有的檢查裝置中，如圖10(b)所示，第一器件輸送頭13利用各手單元131，對配置于溫度調(diào)整部12的IC器件90進(jìn)行把持，朝Z方向正側(cè)移動，朝X方向和Y方向的至少I個方向移動即朝器件供給部14的上方移動，朝Z方向負(fù)側(cè)移動，將4個IC器件90中的兩個IC器件90配置于器件供給部14的4個兜部141中的兩個兜部141。將該工序2-1所需要的時間設(shè)為“I”。此外，上述所需要的時間不帶有“秒”等單位，而是以相對值來表示，另外，不是精確的值而是粗略的值。
[0142][工序2-2]
[0143]接下來，如圖11(b)所示，第一器件輸送頭13朝Z方向正側(cè)移動，朝X方向正側(cè)移動，朝Z方向負(fù)側(cè)移動，將剩余的兩個IC器件90配置于器件供給部14的剩余的兩個兜部141。將該工序2-2所需要的時間設(shè)為“I”。這樣，在現(xiàn)有的檢查裝置中，第一器件輸送頭13將把持著的4個(多個)IC器件90分2次(多次)配置于器件供給部14的各兜部141。
[0144][工序2-3]
[0145]接下來，如圖12(b)所示，器件供給部14朝X方向正側(cè)移動即朝第二器件輸送頭17的下方移動。將該工序2-3所需要的時間設(shè)為“0.5”。
[0146][工序2-4]
[0147]接下來，如圖13(b)所示，第二器件輸送頭17朝Z方向負(fù)側(cè)移動，利用各手單元175，對配置于器件供給部14的各IC器件90進(jìn)行把持(取出)，朝Z方向正側(cè)移動，朝Y方向負(fù)側(cè)移動即以使各IC器件90位于檢查部16的各保持部161的上方的方式移動，朝Z方向負(fù)側(cè)移動，將各IC器件90配置于檢查部16的各保持部161。將該工序2-4所需要的時間設(shè)為“0.5”。這樣，在現(xiàn)有的檢查裝置中，第二器件輸送頭17將4個IC器件90統(tǒng)一從器件供給部14的各兜部141取出，并統(tǒng)一配置于檢查部16的各保持部161。
[0148]此外，接下來，利用第二器件輸送頭17向各保持部161按壓各IC器件90并且利用檢查部16進(jìn)行各IC器件90的檢查。
[0149][工序2-5]
[0150]接下來，如圖14(b)所示，第二器件輸送頭17利用各手單元175，對配置于檢查部16的各保持部161的IC器件90進(jìn)行把持，朝Z方向正側(cè)移動，朝Y方向正側(cè)移動即朝器件回收部18的上方移動，朝Z方向負(fù)側(cè)移動，將各IC器件90配置于器件回收部18的各兜部181。將該工序2-5所需要的時間設(shè)為“0.5”。這樣，在現(xiàn)有的檢查裝置中，第二器件輸送頭17將4個IC器件90統(tǒng)一從檢查部16的各保持部161取出，并統(tǒng)一配置于器件回收部18的各兜部181。
[0151][工序2-6]
[0152]接下來，如圖15(b)所示，器件回收部18朝X方向正側(cè)移動。
[0153]而且，第三器件輸送頭20朝X方向和Y方向的至少I個方向移動即朝器件回收部18的上方移動，朝Z方向負(fù)側(cè)移動，利用4個手單元201中的4個手單元201，對配置于器件回收部18的4個IC器件90中的兩個IC器件90進(jìn)行把持。
[0154]將該工序2-6所需要的時間設(shè)為“I”。
[0155][工序2-7]
[0156]接下來，如圖16(b)所示，第三器件輸送頭20朝Z方向正側(cè)移動，朝X方向正側(cè)移動，朝Z方向負(fù)側(cè)移動，對器件回收部18的剩余的兩個IC器件90進(jìn)行把持。將該工序2-7所需要的時間設(shè)為“I”。這樣，在現(xiàn)有的檢查裝置中，第三器件輸送頭20分2次將配置于器件回收部18的4個IC器件90取出。
[0157]此外，接下來，第三器件輸送頭20根據(jù)檢查結(jié)果，將各IC器件90輸送至回收用托盤19以及空的托盤200中的某一個。
[0158]這里，第二器件輸送頭17把持IC器件90之后到配置的時間比第一器件輸送頭13把持IC器件90之后到配置的時間短。其理由之一是在第一器件輸送頭13向器件供給部14配置IC器件90的情況下，第一器件輸送頭13不僅沿Z方向移動，還沿X方向移動，而在第二器件輸送頭17從器件供給部14取出IC器件90的情況下以及向器件回收部18配置IC器件90的情況下，第二器件輸送頭17沿Z方向移動，器件供給部14以及器件回收部18沿X方向移動。
[0159]同樣，第二器件輸送頭17把持IC器件90之后到配置的時間比第三器件輸送頭20把持IC器件90之后到配置的時間短。其理由之一同樣是在第三器件輸送頭20向器件回收部18配置于IC器件90的情況下，第三器件輸送頭20不僅沿Z方向移動，還沿X方向移動，而在第二器件輸送頭17從器件供給部14取出IC器件90的情況下以及向器件回收部18配置IC器件90的情況下，第二器件輸送頭17沿Z方向移動，器件供給部14以及器件回收部18沿X方向移動。
[0160]然而，在現(xiàn)有的檢查裝置中，第二器件輸送頭17將4個IC器件90統(tǒng)一從檢查部16的各保持部161取出，并統(tǒng)一配置于器件回收部18的各兜部181，第一器件輸送頭13分2次將把持著的4個IC器件90配置于器件供給部14的各兜部141，另外，第三器件輸送頭20分2次將配置于器件回收部18的4個IC器件90取出。即，需要時間短的第二器件輸送頭17的動作次數(shù)在IC器件90的供給時為I次，在IC器件90回收時為I次，即合計2次(工序2-4、工序2-5)，但需要時間長的第一器件輸送頭13以及第三器件輸送頭20的動作次數(shù)分別為2次，即合計4回(工序2-1、工序2-2、工序2-6、工序2-7)。因此，在現(xiàn)有的檢查裝置中，IC器件90的輸送所需要的時間變長，每單位時間輸送的IC器件90的數(shù)量減少。
[0161]接下來，說明本實施方式的檢查裝置I的動作。
[0162][工序1-1]
[0163]在本實施方式的檢查裝置I中，如圖10(a)所示，第一器件輸送頭13利用各手單元131，對配置于溫度調(diào)整部12的IC器件90進(jìn)行把持，朝Z方向正側(cè)移動，朝X方向和Y方向的至少I個方向移動即朝器件供給部14的上方移動，朝Z方向負(fù)側(cè)移動，將各IC器件90配置于器件供給部14的各兜部141。將該工序1-1所需要的時間設(shè)為“I”。這樣，在檢查裝置I中，第一器件輸送頭13將把持著的4個(多個)IC器件90統(tǒng)一配置于器件供給部14的各兜部141。
[0164][工序1-2]
[0165]接下來，如圖11(a)所示，器件供給部14朝X方向正側(cè)移動即朝第二器件輸送頭17的下方移動。
[0166]另外，第二器件輸送頭17朝Z方向負(fù)側(cè)移動，利用4個手單元175中的兩個手單元175，對配置于器件供給部14的4個IC器件90中的兩個IC器件90進(jìn)行把持(取出)。將該工序1-2所需要的時間設(shè)為“0.5”。
[0167][工序1-3]
[0168]接下來，如圖12(a)所示，第二器件輸送頭17朝Z方向正側(cè)移動，器件供給部14朝X方向正側(cè)移動，第二器件輸送頭17朝Z方向負(fù)側(cè)移動，利用剩余的兩個手單元175，對配置于器件供給部14的剩余的兩個IC器件90進(jìn)行把持。將該工序1-3所需要的時間設(shè)為“0.5”。這樣，在檢查裝置I中，第二器件輸送頭17分2次(多次)將4個(多個)IC器件90從器件供給部14的各兜部141取出。
[0169][工序1-4]
[0170]接下來，如圖13(a)所示，第二器件輸送頭17朝Z方向正側(cè)移動，朝Y方向負(fù)側(cè)移動即以使各IC器件90位于檢查部16的各保持部161的上方的方式移動，朝Z方向負(fù)側(cè)移動，將各IC器件90配置于檢查部16的各保持部161。將該工序1-4所需要的時間設(shè)為“0.5”。這樣，在檢查裝置I中，第二器件輸送頭17將4個IC器件90統(tǒng)一配置于檢查部16的各保持部161。
[0171]此外，接下來，利用第二器件輸送頭17向各保持部161按壓各IC器件90并且利用檢查部16進(jìn)行各IC器件90的檢查。
[0172][工序1-5]
[0173]接下來，如圖14(a)所示，第二器件輸送頭17利用各手單元175，對配置于檢查部16的各保持部161的IC器件90進(jìn)行把持，朝Z方向正側(cè)移動，朝Y方向正側(cè)移動即朝器件回收部18的上方移動，朝Z方向負(fù)側(cè)移動，將4個IC器件90中的兩個IC器件90配置于器件回收部18的4個兜部181中的兩個兜部181。將該工序1-5所需要的時間設(shè)為“0.5”。
[0174][工序1-6]
[0175]接下來，如圖15(a)所示，第二器件輸送頭17朝Z方向正側(cè)移動，器件回收部18朝X方向正側(cè)移動，第二器件輸送頭17朝Z方向負(fù)側(cè)移動，將剩余的兩個IC器件90配置于器件回收部18的剩余的兩個兜部181。將該工序1-6所需要的時間設(shè)為“0.5”。這樣，在檢查裝置I中，第二器件輸送頭17將4個IC器件90分2次配置于器件回收部18的各兜部181。
[0176][工序1-7]
[0177]接下來，如圖16(a)所示，器件回收部18朝X方向正側(cè)移動。
[0178]而且，第三器件輸送頭20朝X方向和Y方向的至少I個方向移動即朝器件回收部18的上方移動，朝Z方向負(fù)側(cè)移動，利用各手單元201，對配置于器件回收部18的各IC器件90進(jìn)行把持。將該工序1-6所需要的時間設(shè)為“I”。這樣，在檢查裝置I中，第三器件輸送頭20將配置于器件回收部18的4個IC器件90統(tǒng)一取出。
[0179]此外，接下來，第三器件輸送頭20根據(jù)檢查結(jié)果，將各IC器件90輸送至回收用托盤19以及空的托盤200中的某一個。
[0180]在檢查裝置I中，第二器件輸送頭17將4個IC器件90分2次從器件供給部14的各兜部141取出，另外，將4個IC器件90分2次配置于器件回收部18的各兜部181，而第一器件輸送頭13將把持著的4個IC器件90統(tǒng)一配置于器件供給部14的各兜部141，另外，第三器件輸送頭20統(tǒng)一把持配置于器件回收部18的4個IC器件90。即，需要時間短的第二器件輸送頭17的動作次數(shù)在IC器件90的供給時為2次，在IC器件90的回收時為2次，即合計4次(工序1-2、工序1-3、工序1-5、工序1-6)，而需要時間長的第一器件輸送頭13以及第三器件輸送頭20的動作次數(shù)分別為I次，即合計2次(工序1-1、工序1-7)。因此，在檢查裝置I中，IC器件90的輸送所需要的時間變短，能夠增加每單位時間輸送的IC器件90的數(shù)量。
[0181]圖17的圖表示出了以上的結(jié)果。圖17的橫軸是本實施方式的檢查裝置I的動作的各工序1-1?1-7、和現(xiàn)有的檢查裝置的動作的各工序2-1?2-7，縱軸是本實施方式的檢查裝置I的各工序1-1?1-7所需要的時間(所要時間)、和現(xiàn)有的檢查裝置的各工序2-1?2-7所需要的時間。
[0182]如圖17所示，在本實施方式的檢查裝置I中，工序1-2以及工序1-6需要的時間分別縮短為現(xiàn)有的檢查裝置的工序2-2以及工序2-6的所要時間的一半，由此可知，在檢查裝置I中，與現(xiàn)有的檢查裝置相比，IC器件90的輸送所需要的時間被縮短。
[0183]如以上說明那樣，根據(jù)該檢查裝置I，能夠增加每單位時間輸送的IC器件90的數(shù)量。
[0184]由此，能夠減少檢查部16不運(yùn)轉(zhuǎn)的時間，能夠增大每單位時間的IC器件90的檢查數(shù)量。
[0185]第二實施方式
[0186]圖18是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第二實施方式的簡要俯視圖。
[0187]以下說明第二實施方式，但以與上述第一實施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說明，省略相同的事項的說明。
[0188]如圖18所示，在第二實施方式的檢查裝置I中，器件供給部14、器件回收部18以及第二器件輸送頭17分別沿Y方向配置有2個。由此，能夠增加每單位時間輸送的IC器件90的數(shù)量，能夠增加每單位時間的IC器件90的檢查數(shù)量。
[0189]另外，具有2個器件供給部14，所以彼此能夠在時間上進(jìn)行補(bǔ)充，同樣，具有2個器件回收部18，所以彼此能夠在時間上進(jìn)行補(bǔ)充，同樣，具有2個第二器件輸送頭17，所以彼此能夠在時間上進(jìn)行補(bǔ)充。
[0190]由此，能夠進(jìn)一步增加每單位時間輸送的IC器件90的數(shù)量，能夠進(jìn)一步增加每單位時間的IC器件90的檢查數(shù)量。
[0191]通過以上那樣的第二實施方式，能夠發(fā)揮與上述第一實施方式相同的效果。
[0192]以上，根據(jù)圖示的實施方式說明來本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置，但本發(fā)明不限定于此，各部分結(jié)構(gòu)可以置換為具有相同功能的任意結(jié)構(gòu)。另外，也可以附加其它任意結(jié)構(gòu)物。
[0193]另外，本發(fā)明也可以將上述各實施方式中的任意2個以上的結(jié)構(gòu)(特征)組合。
[0194]附圖標(biāo)記的說明
[0195]I…檢查裝置(電子部件檢查裝置)；IIA…第一托盤輸送機(jī)構(gòu)；IIB…第二托盤輸送機(jī)構(gòu)；12...溫度調(diào)整部(浸泡板)；13…第一器件輸送頭；131…手單元；132…吸附噴嘴；14...器件供給部(供給梭)；141…兜部；15…第三托盤輸送機(jī)構(gòu)；16…檢查部；161.??保持部；17...第二器件輸送頭；175…手單元；176…吸附噴嘴；18...器件回收部(回收梭)；181...兜部；19…回收用托盤;20…第三器件輸送頭;201…手單元;202…吸附噴嘴;21...第六托盤輸送機(jī)構(gòu);22A…第四托盤輸送機(jī)構(gòu);22B...第五托盤輸送機(jī)構(gòu);6…操作部;61...輸入部;62...顯示部;80...控制部;90-_IC器件;200…托盤;Al...托盤供給區(qū)域;A2...器件供給區(qū)域(供給區(qū)域);A3…檢查區(qū)域;A4...器件回收區(qū)域(回收區(qū)域)；A5…托盤除去區(qū)域;Rl...第一室;R2...第二室;R3...第三室;Pl?P6…間距;Pll?P16...間距。
【主權(quán)項】
1.一種電子部件輸送裝置，其特征在于，具備: 輸送部，其能夠配置并輸送多個電子部件； 供給把持部，其能夠把持多個上述電子部件并將多個上述電子部件配置于上述輸送部；以及 供給回收把持部，其能夠把持多個上述電子部件并供給和回收多個上述電子部件，上述供給把持部的電子部件把持間距能夠調(diào)節(jié)為與上述輸送部的電子部件配置間距相同， 上述供給回收把持部的電子部件把持間距比上述輸送部的電子部件配置間距大， 上述供給把持部將多個上述電子部件配置于上述輸送部， 上述供給回收把持部將多個上述電子部件分多次從上述輸送部取出。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 上述供給把持部將多個上述電子部件統(tǒng)一配置于上述輸送部。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 上述供給回收把持部從把持到配置上述電子部件的時間比上述供給把持部從把持到配置上述電子部件的時間短。4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 上述供給把持部能夠朝配置多個上述電子部件的方向、和與配置多個上述電子部件的方向正交的方向移動。5.一種電子部件輸送裝置，其特征在于，具備: 輸送部，其能夠配置并輸送多個電子部件； 回收把持部，其能夠把持配置于上述輸送部的多個上述電子部件并將多個上述電子部件從上述輸送部取出；以及 供給回收把持部，其能夠把持多個上述電子部件并供給和回收多個上述電子部件，上述回收把持部的電子部件把持間距能夠調(diào)節(jié)為與上述輸送部的電子部件配置間距相同， 上述供給回收把持部的電子部件把持間距比上述輸送部的電子部件配置間距大， 上述供給回收把持部將多個上述電子部件分多次配置于上述輸送部， 上述回收把持部將多個上述電子部件從上述輸送部取出。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 上述回收把持部將多個上述電子部件統(tǒng)一從上述輸送部取出。7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 上述供給回收把持部從把持到配置上述電子部件的時間比上述回收把持部從把持到配置上述電子部件的時間短。8.根據(jù)權(quán)利要求5?7中任一項所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 上述回收把持部能夠朝配置多個上述電子部件的方向、和與配置多個上述電子部件的方向正交的方向移動。9.根據(jù)權(quán)利要求1?8中任一項所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 在上述輸送部配置多個上述電子部件的方向與上述輸送部的輸送方向相同。10.根據(jù)權(quán)利要求1?9中任一項所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 在上述供給回收把持部配置或者取出上述電子部件的情況下，上述供給回收把持部能夠朝與配置多個上述電子部件的方向正交的方向移動，上述輸送部能夠朝配置多個上述電子部件的方向移動。11.根據(jù)權(quán)利要求1?10中任一項所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 在將配置于上述輸送部的多個上述電子部件的間距設(shè)為a，將上述供給回收把持部把持的多個上述電子部件的間距設(shè)為b時，b/a是2以上的整數(shù)。12.根據(jù)權(quán)利要求1?11中任一項所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 上述電子部件輸送裝置具有能夠保持上述電子部件的保持部， 上述供給回收把持部能夠向上述保持部按壓上述電子部件。13.根據(jù)權(quán)利要求1?12中任一項所述的電子部件輸送裝置，其特征在于， 上述供給回收把持部和上述輸送部各自設(shè)有2個。14.一種電子部件檢查裝置，其特征在于，具備: 輸送部，其能夠配置并輸送多個電子部件； 供給把持部，其能夠把持多個上述電子部件并將多個上述電子部件配置于上述輸送部； 供給回收把持部，其能夠把持多個上述電子部件并供給和回收多個上述電子部件；以及 檢查部，其對上述電子部件進(jìn)行檢查， 上述供給把持部的電子部件把持間距能夠調(diào)節(jié)為與上述輸送部的電子部件配置間距相同， 上述供給回收把持部的電子部件把持間距比上述輸送部的電子部件配置間距大， 上述供給把持部將多個上述電子部件配置于上述輸送部， 上述供給回收把持部將多個上述電子部件分多次從上述輸送部取出。15.一種電子部件檢查裝置，其特征在于，具備: 輸送部，其能夠配置并輸送多個電子部件； 回收把持部，其能夠把持配置于上述輸送部的多個上述電子部件并將多個上述電子部件從上述輸送部取出； 供給回收把持部，其能夠把持多個上述電子部件并供給和回收多個上述電子部件；以及 檢查部，其對上述電子部件進(jìn)行檢查， 上述回收把持部的電子部件把持間距能夠調(diào)節(jié)為與上述輸送部的電子部件配置間距相同， 上述供給回收把持部的電子部件把持間距比上述輸送部的電子部件配置間距大， 上述供給回收把持部將多個上述電子部件分多次配置于上述輸送部， 上述回收把持部將多個上述電子部件從上述輸送部取出。16.根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的電子部件檢查裝置，其特征在于， 上述供給回收把持部能夠?qū)ι鲜鰴z查部供給和回收上述電子部件。
【文檔編號】G01R31/01GK105905600SQ201610055013
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年1月27日
【發(fā)明人】清水博之, 下島聰興
【申請人】精工愛普生株式會社