本發(fā)明涉及電子部件運(yùn)送裝置、以及電子部件檢查裝置。

背景技術(shù)：

以往，公知有例如對(duì)ic器件等電子部件的電特性進(jìn)行檢查的電子部件檢查裝置。該電子部件檢查裝置一般具有：檢查ic器件的檢查部、以及具有用于將ic器件運(yùn)送至檢查部的運(yùn)送部的電子部件運(yùn)送裝置。在上述電子部件檢查裝置中，為了使細(xì)致地配置的ic器件的外部端子準(zhǔn)確地與檢查部的測(cè)定端子抵接，需要ic器件的應(yīng)用例如進(jìn)行對(duì)中心等的對(duì)位機(jī)構(gòu)。

作為這樣的ic器件的對(duì)位機(jī)構(gòu)的一個(gè)例子，例如專利文獻(xiàn)1公開(kāi)有，在吸附噴嘴(吸附部)吸附ic器件，利用與通過(guò)活塞驅(qū)動(dòng)的擴(kuò)開(kāi)部件的動(dòng)作連動(dòng)而移動(dòng)的爪部件對(duì)ic器件的四個(gè)側(cè)面以直角按壓，邊進(jìn)行定位(對(duì)中心)邊保持的結(jié)構(gòu)的定位用卡盤(pán)裝置。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)平5-48299號(hào)公報(bào)

然而，例如在專利文獻(xiàn)1公開(kāi)的以往的對(duì)位機(jī)構(gòu)中，除了用于保持ic器件(電子部件)的吸附源，還需要進(jìn)行ic器件(電子部件)的定位(對(duì)中心)的機(jī)構(gòu)的例如活塞等驅(qū)動(dòng)源。換言之，為了進(jìn)行ic器件(電子部件)的定位(對(duì)中心)，必須使用復(fù)雜的機(jī)構(gòu)。

另外，ic器件(電子部件)的形成中，在以切割槽(槽部)為起點(diǎn)而割斷的情況下，有時(shí)在ic器件(電子部件)的側(cè)面產(chǎn)生例如由突起狀的毛刺(向外側(cè)伸出的部分)、凹口(向內(nèi)側(cè)凹陷的部分)等引起的外形形狀的錯(cuò)亂，由于該外形形狀的錯(cuò)亂使ic器件(電子部件)的定位(對(duì)中心)困難。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是為了解決上述的課題的至少一部分而完成的，能夠作為以下的方式或者應(yīng)用例而實(shí)現(xiàn)。

[應(yīng)用例1]本應(yīng)用例的電子部件運(yùn)送裝置的特征在于，具備：基部；保持部，其配置為能夠相對(duì)于上述基部移動(dòng)，并能夠在電子部件的第1面保持上述電子部件；抵接部，其配置為能夠相對(duì)于上述基部移動(dòng)，并能夠與上述電子部件的同上述第1面不同的第2面抵接，對(duì)上述抵接部而言，在上述保持部相對(duì)于上述基部沿第1方向移動(dòng)時(shí)，能夠向與上述第1方向不同的第2方向上對(duì)上述電子部件進(jìn)行按壓。

根據(jù)本應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置，在保持部相對(duì)于基部沿第1方向移動(dòng)時(shí)，抵接部在與第1方向不同的第2方向上對(duì)電子部件進(jìn)行按壓，由此能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)容易地進(jìn)行電子部件的定位(對(duì)中心)。

[應(yīng)用例2]在上述應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置中，優(yōu)選上述電子部件能夠通過(guò)吸附被保持于上述保持部。

根據(jù)本應(yīng)用例，能夠容易地變更電子部件的吸附力。由此，能夠通過(guò)抵接部的按壓容易地使被保持的電子部件的位置移動(dòng)，從而能夠容易地進(jìn)行定位(對(duì)中心)。

[應(yīng)用例3]在上述應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置中，優(yōu)選上述電子部件的吸附以及上述保持部相對(duì)于上述基部的移動(dòng)通過(guò)相同吸氣源進(jìn)行。

根據(jù)本應(yīng)用例，電子部件的吸附、以及保持部相對(duì)于基部的移動(dòng)通過(guò)相同吸氣源進(jìn)行，因此能夠通過(guò)更簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)進(jìn)行吸附和保持。

[應(yīng)用例4]在上述應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置中，優(yōu)選上述抵接部配置為能夠相對(duì)于上述基部轉(zhuǎn)動(dòng)。

根據(jù)本應(yīng)用例，通過(guò)使抵接部相對(duì)于基部能夠轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)在第2方向上對(duì)電子部件進(jìn)行按壓。

[應(yīng)用例5]在上述應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置中，優(yōu)選上述抵接部與上述保持部抵接，并與上述保持部的移動(dòng)連動(dòng)地轉(zhuǎn)動(dòng)。

根據(jù)本應(yīng)用例，使保持部沿第1方向的移動(dòng)成為抵接部的轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)源，因此能夠通過(guò)容易且簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)使保持部的移動(dòng)與抵接部的轉(zhuǎn)動(dòng)連動(dòng)。

[應(yīng)用例6]在上述應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置中，優(yōu)選上述第2方向是與上述第1方向正交的方向。

根據(jù)本應(yīng)用例，相對(duì)于電子部件的被保持的面，從正交的方向?qū)﹄娮硬考M(jìn)行按壓，因此能夠準(zhǔn)確地進(jìn)行電子部件的定位(對(duì)中心)。

[應(yīng)用例7]在上述應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置中，優(yōu)選上述抵接部配置有多個(gè)，多個(gè)上述抵接部中的第1抵接部以及第2抵接部沿著第1移動(dòng)方向相互向相反方向移動(dòng)，對(duì)上述電子部件進(jìn)行按壓。

根據(jù)本應(yīng)用例，多個(gè)抵接部分別沿著第1移動(dòng)方向相互從相反方向?qū)﹄娮硬考M(jìn)行按壓，因此能夠容易且準(zhǔn)確地進(jìn)行電子部件的定位(對(duì)中心)。

[應(yīng)用例8]在上述應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置中，優(yōu)選上述第1抵接部以及上述第2抵接部分別能夠移動(dòng)相同的移動(dòng)量。

根據(jù)本應(yīng)用例，能夠通過(guò)各自相同的移動(dòng)量的抵接部，準(zhǔn)確地進(jìn)行電子部件的定位(對(duì)中心)。

[應(yīng)用例9]在上述應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置中，優(yōu)選具備第3抵接部以及第4抵接部，上述第3抵接部以及上述第4抵接部沿著與上述第1移動(dòng)方向正交的第2移動(dòng)方向相互向相反方向移動(dòng)，對(duì)上述電子部件進(jìn)行按壓。

根據(jù)本應(yīng)用例，多個(gè)抵接部能夠通過(guò)從正交的兩個(gè)方向的移動(dòng)(第1移動(dòng)方向以及第2移動(dòng)方向)抵接并按壓于電子部件，從而能夠容易且更可靠地進(jìn)行電子部件的定位(對(duì)中心)。

[應(yīng)用例10]在上述應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置中，優(yōu)選上述第3抵接部以及上述第4抵接部分別能夠移動(dòng)相同的移動(dòng)量。

根據(jù)本應(yīng)用例，通過(guò)分別移動(dòng)相同的移動(dòng)量的第3抵接部以及第4抵接部，能夠準(zhǔn)確地進(jìn)行電子部件的定位(對(duì)中心)。

[應(yīng)用例11]在上述應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置中，優(yōu)選上述抵接部具備：能夠變更與上述電子部件的抵接位置的調(diào)整部。

根據(jù)本應(yīng)用例，能夠通過(guò)調(diào)整部對(duì)抵接部與電子部件的抵接位置進(jìn)行微小地設(shè)定，因此能夠更細(xì)致地進(jìn)行電子部件的定位(對(duì)中心)。

[應(yīng)用例12]本應(yīng)用例的電子部件檢查裝置的特征在于，具備：保持部，其以能夠移動(dòng)的方式配置于基部，并能夠?qū)⑸鲜鲭娮硬考３衷陔娮硬考牡?面；抵接部，其配置為能夠相對(duì)于上述基部移動(dòng)，并能夠與上述電子部件的同上述第1面不同的第2面抵接；電子部件載置部，其能夠載置上述電子部件；以及檢查部，其對(duì)電子部件進(jìn)行檢查，上述抵接部在上述保持部相對(duì)于基部沿第1方向移動(dòng)時(shí)，向與上述第1方向不同的第2方向?qū)ι鲜鲭娮硬考M(jìn)行按壓。

根據(jù)本應(yīng)用例記載的電子部件檢查裝置，能夠提供能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)容易且準(zhǔn)確地進(jìn)行電子部件的定位(對(duì)中心)的電子部件檢查裝置。

[應(yīng)用例13]本應(yīng)用例的電子部件運(yùn)送裝置的特征在于，是能夠運(yùn)送沿著具有壁面的槽部而被割斷的電子部件的電子部件運(yùn)送裝置，該電子部件運(yùn)送裝置具備：部件配置部，其與上述電子部件的第1面抵接而能夠配置上述電子部件；以及抵接部，其以配置為能夠相對(duì)于上述部件配置部移動(dòng)，并能夠與同上述電子部件的第1面交叉的上述電子部件的第2面抵接，上述第2面包括上述壁面，上述抵接部與上述壁面抵接。

根據(jù)本應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置，抵接部與沿著第1面與部件配置部抵接而配置的電子部件的與第1面交叉的第2面亦即槽部而被割斷(分割)的電子部件的槽部的壁面抵接，能夠進(jìn)行電子部件的定位(例如，對(duì)中心)。電子部件的槽部的壁面通過(guò)例如切割裝置等形成，因此相對(duì)于該電子部件的位置精度高，并且成為沒(méi)有例如折斷時(shí)的毛刺(向外側(cè)伸出的部分)、凹口(向內(nèi)側(cè)凹陷的部分)等而平整的表面狀態(tài)。因此，通過(guò)抵接部與電子部件的槽部的壁面(第2面)抵接的簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)能夠容易地進(jìn)行電子部件的定位(對(duì)中心)。

[應(yīng)用例14]在上述應(yīng)用例13記載的電子部件運(yùn)送裝置中，優(yōu)選上述部件配置部具備：保持部，其保持上述電子部件并能夠移動(dòng)；以及載置部，其配置為能夠在與上述第2面正交的第2方向上移動(dòng)并能夠載置上述電子部件，上述抵接部通過(guò)上述保持部與上述載置部的相對(duì)移動(dòng)能夠按壓上述電子部件。

根據(jù)本應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置，電子部件通過(guò)保持部與載置部的相對(duì)移動(dòng)而被按壓于抵接部。這樣，能夠通過(guò)基于抵接部的按壓的簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)使被保持為能夠移動(dòng)的電子部件的位置移動(dòng)，從而能夠容易地進(jìn)行定位(對(duì)中心)。

[應(yīng)用例15]在上述應(yīng)用例14記載的電子部件運(yùn)送裝置中，優(yōu)選上述抵接部具有抵接面，將上述抵接面在上述載置部配置為能夠與被保持于上述保持部的上述電子部件的上述壁面抵接。

根據(jù)本應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置，通過(guò)使抵接部的抵接面與被保持于保持部的電子部件的壁面抵接，從而電子部件容易隨著該抵接面滑動(dòng)，從而能夠容易地修正電子部件的旋轉(zhuǎn)方向的偏移(使第1面成為正面時(shí)的俯視中的傾斜)。

[應(yīng)用例16]在上述應(yīng)用例14記載的電子部件運(yùn)送裝置中，優(yōu)選上述抵接部具有抵接面，將上述抵接面在上述保持部配置為能夠與載置于上述載置部的上述電子部件的上述壁面抵接。

根據(jù)本應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置，通過(guò)使抵接面與載置于載置部的電子部件的壁面抵接，使得電子部件容易隨著抵接面滑動(dòng)，從而能夠容易地修正電子部件的旋轉(zhuǎn)方向的偏移(使第1面成為正面時(shí)的俯視中的傾斜)。

[應(yīng)用例17]在上述應(yīng)用例13～16的任一個(gè)例子記載的電子部件運(yùn)送裝置中，優(yōu)選上述抵接部配置有多個(gè)，并配置為至少能夠從上述第2方向、以及與上述第2方向正交的第3方向?qū)ι鲜霰诿孢M(jìn)行按壓。

根據(jù)本應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置，通過(guò)配置了多個(gè)的抵接部，從第2方向以及第3方向?qū)Ρ诿孢M(jìn)行按壓，因此能夠容易地修正電子部件的旋轉(zhuǎn)方向的偏移(使第1面成為正面時(shí)的俯視中的傾斜)。

[應(yīng)用例18]在上述應(yīng)用例13～17的任一個(gè)例子記載的電子部件運(yùn)送裝置中，優(yōu)選上述電子部件通過(guò)吸附被保持于上述保持部或者上述載置部。

根據(jù)本應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置，能夠容易地變更電子部件的吸附力，從而能夠得到適當(dāng)?shù)奈搅ΑＳ纱?，能夠通過(guò)抵接部的按壓而容易地使被保持的電子部件移動(dòng)(滑動(dòng))，從而能夠容易地進(jìn)行定位(對(duì)中心)。

[應(yīng)用例19]在上述應(yīng)用例18記載的電子部件運(yùn)送裝置中，優(yōu)選被保持于上述保持部或者上述載置部的上述電子部件的上述按壓方向上的相對(duì)于上述保持部或者上述載置部的摩擦力小于基于上述抵接部的按壓力。

根據(jù)本應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置，相比基于抵接部的按壓力，該按壓方向上的電子部件相對(duì)于保持部或者載置部的摩擦力更小(弱)，因此能夠通過(guò)抵接部的按壓容易地使電子部件移動(dòng)(滑動(dòng))，從而能夠進(jìn)行電子部件的定位(對(duì)中心)。

[應(yīng)用例20]在上述應(yīng)用例18或者19記載的電子部件運(yùn)送裝置中，優(yōu)選上述抵接部與相對(duì)于上述保持部或者上述載置部的保持位置而在上述抵接部所配置的方向上具有規(guī)定的偏移并與被保持的上述電子部件的上述壁面抵接。

根據(jù)本應(yīng)用例記載的電子部件運(yùn)送裝置，電子部件從偏移地配置的方向?qū)Φ纸硬窟M(jìn)行按壓，由此能夠準(zhǔn)確并可靠地進(jìn)行電子部件的定位(對(duì)中心)。

[應(yīng)用例21]本應(yīng)用例的電子部件檢查裝置的特征在于，是能夠運(yùn)送沿著具有壁面的槽部而被割斷的電子部件的電子部件檢查裝置，該電子部件檢查裝置具備：部件配置部，其與上述電子部件的第1面抵接而能夠配置上述電子部件；抵接部，其配置為能夠相對(duì)于上述部件配置部移動(dòng)并能夠與同上述電子部件的第1面交叉的上述電子部件的第2面抵接；檢查部，其對(duì)上述電子部件進(jìn)行檢查，上述第2面包括上述壁面，上述抵接部與上述壁面抵接。

根據(jù)本應(yīng)用例記載的電子部件檢查裝置，抵接部與沿著第1面與部件配置部抵接而配置的電子部件的與第1面交叉的第2面亦即槽部而被割斷(分割)的電子部件的槽部的壁面抵接，能夠進(jìn)行電子部件的定位(例如，對(duì)中心)。電子部件的槽部的壁面通過(guò)例如切割裝置等形成，因此相對(duì)于該電子部件的位置精度高，并且沒(méi)有例如折斷時(shí)的毛刺等殘留從而壁面的表面狀態(tài)平整。因此，能夠提供通過(guò)抵接部與電子部件的槽部的壁面(第2面)抵接的簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)而能夠容易且準(zhǔn)確地進(jìn)行電子部件的定位(對(duì)中心)的電子部件檢查裝置。

附圖說(shuō)明

圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的概要的配置圖。

圖2是表示第1實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的運(yùn)送部以及檢查部的概要的俯視圖。

圖3是表示電子部件檢查裝置的運(yùn)送部的臂單元以及檢查部的剖視圖(垂直剖視圖)。

圖4是表示基于臂單元的電子部件的按壓狀態(tài)的剖視圖(垂直剖視圖)。

圖5示出臂單元的卡盤(pán)部的配置例，且為沿圖3的a-a線視俯視圖。

圖6是表示臂單元的卡盤(pán)部的變形例1的剖視圖(垂直剖視圖)。

圖7是表示臂單元的卡盤(pán)部的變形例2的剖視圖(垂直剖視圖)。

圖8是本發(fā)明的第2實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的運(yùn)送部的臂單元的剖視圖(垂直剖視圖)。

圖9是本發(fā)明的第3實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的運(yùn)送部的臂單元的剖視圖(垂直剖視圖)。

圖10是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的概要的配置圖。

圖11是表示第4實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的運(yùn)送部以及檢查部的概要的俯視圖。

圖12是表示電子部件檢查裝置的運(yùn)送部的臂單元以及檢查部的剖視圖(垂直剖視圖)。

圖13是表示電子部件(ic器件)的割斷(分割)的概要(割斷前)的剖視圖。

圖14是表示割斷(分割)的電子部件(ic器件)的剖視圖。

圖15a是表示從y軸方向觀察時(shí)的被保持于偏移位置的電子部件(ic器件)的剖視圖。

圖15b是表示使一方的抵接部與被保持于偏移位置的電子部件(ic器件)對(duì)峙的狀態(tài)的剖視圖(y軸方向觀察)。

圖15c是表示通過(guò)一方的抵接部而定位的電子部件(ic器件)的剖視圖(y軸方向觀察)。

圖16a是表示從x軸方向觀察時(shí)的被保持于偏移位置的電子部件(ic器件)的剖視圖。

圖16b是表示另一方的抵接部與被保持于偏移位置的電子部件(ic器件)對(duì)峙的狀態(tài)的剖視圖(x軸方向觀察)。

圖16c是表示通過(guò)另一方的抵接部而定位的電子部件(ic器件)的剖視圖(x軸方向觀察)。

圖17a是表示從z軸方向觀察時(shí)的被保持于偏移位置的電子部件(ic器件)的俯視圖。

圖17b是表示使抵接部與被保持于偏移位置的電子部件(ic器件)對(duì)峙的狀態(tài)的俯視圖(z軸方向觀察)。

圖17c是表示通過(guò)抵接部而定位的電子部件(ic器件)的俯視圖(z軸方向觀察)。

圖18是表示本發(fā)明的第5實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的運(yùn)送部(臂單元以及往復(fù)裝置)的剖視圖(垂直剖視圖)。

圖19a是表示從y軸方向觀察時(shí)的相對(duì)于吸附部而被保持于偏移位置的電子部件(ic器件)的剖視圖。

圖19b是表示使一方的抵接部與被保持于偏移位置的電子部件(ic器件)對(duì)峙的狀態(tài)的剖視圖(y軸方向觀察)。

圖19c是表示通過(guò)一方的抵接部而定位的電子部件(ic器件)的剖視圖(y軸方向觀察)。

圖20a是表示從x軸方向觀察時(shí)的相對(duì)于吸附部被保持于偏移位置的電子部件(ic器件)的剖視圖。

圖20b是表示使另一方的抵接部與被保持于偏移位置的電子部件(ic器件)對(duì)峙的狀態(tài)的剖視圖(x軸方向觀察)。

圖20c是表示通過(guò)另一方的抵接部而定位的電子部件(ic器件)的剖視圖(x軸方向觀察)。

圖21是表示本發(fā)明的第6實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的概要的配置圖。

附圖標(biāo)記的說(shuō)明

1...檢查裝置；2...供給部；3...供給側(cè)排列部；341...載置工作臺(tái)；4...運(yùn)送部；41...往復(fù)裝置；411...凹處；42...供給機(jī)器人；421...支承框架；422...移動(dòng)框架；423...臂單元；43...檢查機(jī)器人；430...吸引流路；433...臂單元；434...襯墊；437...襯墊；438...螺旋彈簧；439...襯墊；44...回收機(jī)器人；441...支承框架；442...移動(dòng)框架；443...臂單元；45...第1基部；452...貫通孔；46...第2基部；462...第2貫通孔；463...第1貫通孔；467...凹部；47...作為基部的支承部；471...內(nèi)腔部；472...卡盤(pán)支承部；473...內(nèi)環(huán)；474...外環(huán)；476...端面；48...下端部；49...作為保持部的吸附部；491...上端部；492...內(nèi)腔部；493...吸附面；494...凸緣部；495...凹部；496...連接孔；497...吸附口；5...檢查部；51...載置部(電子部件載置部)；52...凹部；522...探針；523...側(cè)壁部；524...底部；525...退讓槽；526...布線；54...負(fù)載板(電路基板)；6...回收側(cè)排列部；61...卡盤(pán)部(第1卡盤(pán)部)；62...卡盤(pán)部(第2卡盤(pán)部)；61m、62m...釋放時(shí)的卡盤(pán)部；611、621...連接部；612、622...軸；613、623...另一個(gè)端部；614、624...一個(gè)端部；615、625...連接部；63...卡盤(pán)部(第3卡盤(pán)部)；64...卡盤(pán)部(第4卡盤(pán)部)；7...回收部；8...控制部；9...ic器件；91...主體部；92...端子；10...運(yùn)送裝置；11...基座；111...基座面；12...罩；13...噴射器；m1...箭頭；m2、m3...箭頭(第2方向(第1移動(dòng)方向))；g...重心；φd1...吸附口的直徑；φd2...端面的直徑。

具體實(shí)施方式

以下，基于附圖所示的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明的電子部件運(yùn)送裝置以及電子部件檢查裝置詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。

此外，以下，為了方便說(shuō)明，如圖所示，使相互正交的3軸設(shè)為x軸、y軸以及z軸。另外，包含x軸與y軸的xy平面成為水平，z軸鉛垂。另外，也將與x軸平行的方向稱為“x方向”或者“第2方向”，將與y軸平行的方向稱為“y方向”或者“第3方向”，將與z軸平行的方向稱為“z方向”或者“第1方向”。另外，也將x軸、y軸以及z軸的各軸的箭頭的方向稱為正側(cè)(正方向)，將與箭頭相反的方向稱為負(fù)側(cè)(負(fù)方向)。另外，本申請(qǐng)說(shuō)明書(shū)所說(shuō)的“水平”不限定于完全的水平，只要不阻礙電子部件的運(yùn)送，也包括相對(duì)于水平稍微(例如不足5°左右)傾斜的狀態(tài)。

此外，以下的實(shí)施方式中，將附圖上的z方向正側(cè)稱為“上”或者“上方”，將z方向負(fù)側(cè)稱為“下”或者“下方”。

另外，以下的圖所示的檢查裝置(電子部件檢查裝置)是用于對(duì)例如包括bga(ballgridarray)封裝、lga(landgridarray)封裝等ic器件、lcd(liquidcrystaldisplay)、oled(organicelectroluminescencedisplay)、電子紙張等顯示設(shè)備、cis(cmosimagesensor)、ccd(chargecoupleddevice)、加速度傳感器、陀螺儀傳感器、壓力傳感器等的各種傳感器、進(jìn)一步包含水晶振子的各種振子等的電子部件的電特性進(jìn)行檢查、試驗(yàn)(以下僅稱為“檢查”)的裝置。此外，以下，為了方便說(shuō)明，作為進(jìn)行檢查的電子部件以使用了上述ic器件的情況為代表進(jìn)行說(shuō)明，將其設(shè)為“ic器件9”。

＜第1實(shí)施方式＞

首先，參照?qǐng)D1～圖5對(duì)本發(fā)明的第1實(shí)施方式的電子部件檢查裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的概要的配置圖。圖2是表示第1實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的運(yùn)送部以及檢查部的概要的俯視圖。圖3是電子部件檢查裝置的運(yùn)送部的臂單元以及檢查部的剖視圖(垂直剖視圖)。圖4是表示基于圖3所示的臂單元的電子部件的按壓狀態(tài)的剖視圖(垂直剖視圖)。圖5示出臂單元的卡盤(pán)部的配置例，且是從圖3的a-a的位置觀察的俯視圖。另外，圖3以及圖4中，圖示出運(yùn)送部的多個(gè)臂單元中的一個(gè)。

如圖1所示，作為電子部件檢查裝置的檢查裝置1具有：供給部2、供給側(cè)排列部3、運(yùn)送部4、檢查部5、回收側(cè)排列部6、回收部7、以及進(jìn)行這些各部的控制的控制部8。另外，檢查裝置1具有：基座11，其用于配置供給部2、供給側(cè)排列部3、運(yùn)送部4、檢查部5、回收側(cè)排列部6以及回收部7；以及罩12，其以收納供給側(cè)排列部3、運(yùn)送部4、檢查部5以及回收側(cè)排列部6的方式覆蓋于基座11。此外，作為基座11的上表面的基座面111幾乎成為水平，在該基座面111配置有供給側(cè)排列部3、運(yùn)送部4、檢查部5、回收側(cè)排列部6的構(gòu)成部件。

這樣的檢查裝置1構(gòu)成為，供給部2對(duì)供給側(cè)排列部3供給ic器件9，將被供給的ic器件9排列于供給側(cè)排列部3，運(yùn)送部4將排列的ic器件9運(yùn)送至檢查部5，檢查部5對(duì)被運(yùn)送來(lái)的ic器件9進(jìn)行檢查，運(yùn)送部4將結(jié)束了檢查的ic器件9運(yùn)送/排列至回收側(cè)排列部6，回收部7回收排列于回收側(cè)排列部6的ic器件9。

根據(jù)這樣的檢查裝置1，能夠自動(dòng)地進(jìn)行ic器件9的供給、檢查、回收。此外，在檢查裝置1中，通過(guò)除了檢查部5的結(jié)構(gòu)即供給部2、供給側(cè)排列部3、運(yùn)送部4、回收側(cè)排列部6、回收部7以及控制部8的一部分等構(gòu)成運(yùn)送裝置(電子部件運(yùn)送裝置)10。運(yùn)送裝置10進(jìn)行ic器件9的運(yùn)送等。

此外，如圖3所示，ic器件9具有：主體部91、和設(shè)置于主體部91的外部的多個(gè)端子(電極)92。各個(gè)端子92與主體部91的內(nèi)部的電路部電連接。主體部91的形狀未特別限定，但在本實(shí)施方式中，主體部91大體呈板狀，另外，從z方向觀察時(shí)即俯視中呈四邊形。另外，該四邊形在本實(shí)施方式中為正方形或者長(zhǎng)方形。另外，各端子92設(shè)置于主體部91的下部(或者側(cè)部)，例如呈球狀、半球狀或平板狀等。

以下，對(duì)運(yùn)送部4、以及檢查部5的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。

《運(yùn)送部》

如圖2所示，構(gòu)成電子部件運(yùn)送裝置的運(yùn)送部4是將配置在供給側(cè)排列部3的載置工作臺(tái)341上的ic器件9運(yùn)送至檢查部5，并將結(jié)束了檢查部5的檢查的ic器件9運(yùn)送至回收側(cè)排列部6的單元。這樣的運(yùn)送部4具有往復(fù)裝置41、供給機(jī)器人42、檢查機(jī)器人43以及回收機(jī)器人44。

-往復(fù)裝置-

往復(fù)裝置41是用于將載置工作臺(tái)341上的ic器件9運(yùn)送至檢查部5的附近，進(jìn)一步用于將由檢查部5檢查出的檢查完畢的ic器件9運(yùn)送至回收側(cè)排列部6的附近的往復(fù)裝置。在這樣的往復(fù)裝置41，用于收納ic器件9的四個(gè)凹處411沿x方向并列形成。另外，往復(fù)裝置41通過(guò)直線運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)件被引導(dǎo)，通過(guò)直線電動(dòng)機(jī)等驅(qū)動(dòng)源能夠沿x方向進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)。

-供給機(jī)器人-

供給機(jī)器人42是將配置在載置工作臺(tái)341上的ic器件9運(yùn)送至往復(fù)裝置41的機(jī)器人。這樣的供給機(jī)器人42具有：被基座11支承的支承框架421、被支承框架421支承并相對(duì)于支承框架421能夠沿y方向往復(fù)移動(dòng)的移動(dòng)框架422、以及被移動(dòng)框架422支承的四個(gè)臂單元(把持機(jī)器人)423。各臂單元423具備升降機(jī)構(gòu)以及吸附噴嘴，并能夠通過(guò)吸附來(lái)保持ic器件9。

-檢查機(jī)器人-

檢查機(jī)器人43是將收納于往復(fù)裝置41的ic器件9朝檢查部5運(yùn)送并且將結(jié)束了檢查的ic器件9從檢查部5朝往復(fù)裝置41運(yùn)送的機(jī)器人。另外，檢查機(jī)器人43在檢查時(shí)，也能夠通過(guò)臂單元433的吸附部49將ic器件9按壓于檢查部5，對(duì)ic器件9外加規(guī)定的檢查壓。

如圖2所示，這樣的檢查機(jī)器人43具有：被基座11支承的支承框架431、被支承框架431支承并相對(duì)于支承框架431能夠沿y方向往復(fù)移動(dòng)的移動(dòng)框架432、以及被移動(dòng)框架432支承的四個(gè)臂單元(把持機(jī)器人)433。各臂單元433的配置未特別限定，圖示的配置是一個(gè)例子。此外，如后述那樣，各臂單元433具備對(duì)ic器件9進(jìn)行吸附的吸附部49(參照?qǐng)D3)等。

-回收機(jī)器人-

回收機(jī)器人44是將結(jié)束了檢查部5的檢查的ic器件9運(yùn)送至回收側(cè)排列部6的機(jī)器人。這樣的回收機(jī)器人44具有：被基座11支承的支承框架441、被支承框架441支承并相對(duì)于支承框架441能夠沿y方向往復(fù)移動(dòng)的移動(dòng)框架442、以及被移動(dòng)框架442支承的四個(gè)臂單元(把持機(jī)器人)443。各臂單元443具備升降機(jī)構(gòu)以及吸附噴嘴，并能夠通過(guò)吸附來(lái)保持ic器件9。

這樣的運(yùn)送部4如以下那樣運(yùn)送ic器件9。首先，往復(fù)裝置41向圖中左側(cè)(負(fù)x方向)移動(dòng)，供給機(jī)器人42將載置工作臺(tái)341上的ic器件9運(yùn)送至往復(fù)裝置41(step1)。接下來(lái)，往復(fù)裝置41朝中央(正x方向)移動(dòng)，檢查機(jī)器人43將往復(fù)裝置41上的ic器件9朝檢查部5運(yùn)送(step2)。接下來(lái)，檢查機(jī)器人43將結(jié)束了檢查部5的檢查的ic器件9朝往復(fù)裝置41運(yùn)送(step3)。接下來(lái)，往復(fù)裝置41朝圖中右側(cè)(正x方向)移動(dòng)，回收機(jī)器人44將往復(fù)裝置41上的檢查完畢的ic器件9運(yùn)送至回收側(cè)排列部6(step4)。通過(guò)反復(fù)這樣的step1～step4，能夠?qū)⑴渲迷诠┙o側(cè)排列部3的載置工作臺(tái)341上的ic器件9經(jīng)由檢查部5朝回收側(cè)排列部6運(yùn)送。

以上，對(duì)運(yùn)送部4的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說(shuō)明，但作為運(yùn)送部4的結(jié)構(gòu)，只要能夠?qū)⑤d置工作臺(tái)341上的ic器件9朝檢查部5運(yùn)送，將結(jié)束了檢查的ic器件9朝回收側(cè)排列部6運(yùn)送，未被特別限定。例如，也可以省略往復(fù)裝置41，而通過(guò)供給機(jī)器人42、檢查機(jī)器人43以及回收機(jī)器人44的任一個(gè)機(jī)器人，進(jìn)行從載置工作臺(tái)341朝檢查部5的運(yùn)送、以及從檢查部5朝回收側(cè)排列部6的運(yùn)送。

《檢查部》

檢查部5是對(duì)ic器件9的電特性進(jìn)行檢查、試驗(yàn)的單元(測(cè)試儀)。如圖3所示，檢查部5在內(nèi)置于該檢查部5的負(fù)載板(電路基板)54上以能夠拆裝的方式安裝載置部(電子部件載置部)51而使用。

載置部51是保持并載置ic器件9的例如樹(shù)脂制的插口，并根據(jù)ic器件9的種類能夠更換。在該載置部51的上表面設(shè)置有收納ic器件9的四個(gè)凹部52(參照?qǐng)D2)、以及后述的卡盤(pán)部61、62下降時(shí)的退讓槽525。凹部52(參照?qǐng)D2)能夠一個(gè)一個(gè)收納載置ic器件9。此外，凹部52的形成數(shù)在本實(shí)施方式中是四個(gè)，但不局限于此，也可以是一個(gè)、兩個(gè)、三個(gè)或者五個(gè)以上。另外，凹部52的配置方式在本實(shí)施方式中沿著x方向配置為1列，但不局限于此，也可以沿x方向以及y方向分別以多個(gè)行列狀配置，也可以沿著y方向配置為1列。

如圖3所示，各凹部52的側(cè)壁部523成為傾斜的斜坡?tīng)?，從而ic器件9的進(jìn)出變?nèi)菀住Ａ硗?，在凹?2的底部524設(shè)置有能夠與ic器件9的多個(gè)端子92電連接的(能夠接觸)的多個(gè)探針(第1導(dǎo)電部件)522。各探針522經(jīng)由設(shè)置于負(fù)載板54的布線526而與控制部8電連接。

載置于各凹部52的ic器件9的各端子92分別通過(guò)檢查機(jī)器人43的臂單元433的按壓以規(guī)定的檢查壓被按壓于各探針522(參照?qǐng)D4)。由此，ic器件9的各端子92與各探針522電連接(接觸)，經(jīng)由探針522進(jìn)行ic器件9的檢查。ic器件9的檢查基于存儲(chǔ)于控制部8的程序進(jìn)行。此外，各探針522也可以構(gòu)成為相對(duì)于底部524能夠伸縮。

《控制部》

控制部8例如具有檢查控制部和驅(qū)動(dòng)控制部。檢查控制部例如基于存儲(chǔ)于未圖示的存儲(chǔ)器內(nèi)的程序，進(jìn)行配置于檢查部5的ic器件9的電特性的檢查等。另外，驅(qū)動(dòng)控制部例如對(duì)供給部2、供給側(cè)排列部3、運(yùn)送部4、檢查部5、回收側(cè)排列部6、以及回收部7的各部的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制，進(jìn)行ic器件9的運(yùn)送等。另外，控制部8也能夠進(jìn)行ic器件9的溫度控制。

那么，在對(duì)ic器件9執(zhí)行電特性的檢查的情況下，需要使ic器件9的各端子92的位置與檢查部5的各探針522的位置正確地匹配，將ic器件9設(shè)置于載置部51。特別是，對(duì)于小型的封裝、或多針腳結(jié)構(gòu)的ic器件9而言，各端子92間的間距極其狹窄，伴隨于此各探針522間的間距也狹窄，因此準(zhǔn)確地進(jìn)行ic器件9的各端子92與檢查部5的各探針522的對(duì)位更重要。當(dāng)然，若各端子92的位置與各探針522的位置錯(cuò)位，則無(wú)法進(jìn)行所希望的檢查，可判斷經(jīng)由這樣的檢查得到的ic器件9作為產(chǎn)品的可靠性低。以下，對(duì)具有用于防止這樣的ic器件9的位置偏移的對(duì)位功能(對(duì)中心功能)的臂單元433的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。

-臂單元-

如圖3以及圖4所示，臂單元433具有：保持ic器件9(參照?qǐng)D3)、并能夠?qū)⒈３值臓顟B(tài)的ic器件9按壓于載置部51的(參照?qǐng)D4)結(jié)構(gòu)。

臂單元433具有從上方依次配置的第1基板45、第2基板46、作為基部的支承部47、下端部48、作為保持部的吸附部49、以及作為抵接部的卡盤(pán)部61、62。此外，作為圖3以及圖4所示的ic器件9的定位用發(fā)揮功能的作為抵接部的卡盤(pán)部61、62配置有多個(gè)。在本實(shí)施方式中，如圖5所示，設(shè)置有沿著x軸方向隔著吸附部49而設(shè)置于兩側(cè)的卡盤(pán)部61、62、以及沿著y軸方向隔著吸附部49而設(shè)置于兩側(cè)的卡盤(pán)部63、64。在本實(shí)施方式中，示出四個(gè)卡盤(pán)部61、62、63、64，但不局限于此，能夠適當(dāng)?shù)馗淖兣渲脭?shù)、配置位置等。

此外，在本實(shí)施方式中，卡盤(pán)部61與作為第1抵接部的第1卡盤(pán)部相當(dāng)，卡盤(pán)部62與作為第2抵接部的第2卡盤(pán)部相當(dāng)，卡盤(pán)部63與作為第3抵接部的第3卡盤(pán)部相當(dāng)，卡盤(pán)部64與作為第4抵接部的第4卡盤(pán)部相當(dāng)?？ūP(pán)部61、62、63、64各自成為相同的結(jié)構(gòu)，以下的說(shuō)明中，例示卡盤(pán)部61、62進(jìn)行說(shuō)明。

第1基板45承擔(dān)相對(duì)于移動(dòng)框架432(參照?qǐng)D2)而支承臂單元433等的功能。第1基板45具有呈平面狀的上表面以及下表面。另外，在第1基板45，構(gòu)成吸引流路430的一部分的貫通孔452在上下表面開(kāi)口而形成，在上表面?zhèn)扰c作為吸氣源的噴射器13連接。而且，通過(guò)噴射器13工作，吸引流路430成為負(fù)壓狀態(tài)(真空狀態(tài))，從而能夠通過(guò)吸附部49吸附ic器件9。

另外，通過(guò)噴射器13工作，吸引流路430內(nèi)的由貫通孔452、462、463等構(gòu)成的空間成為負(fù)壓狀態(tài)(真空狀態(tài))，從而能夠使吸附部49相對(duì)于支承部47向上方(正z方向)移動(dòng)。這樣，能夠通過(guò)相同吸氣源(噴射器13)進(jìn)行ic器件9的吸附、以及吸附部的移動(dòng)，能夠成為更簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)。此外，為了解除該吸附，能夠通過(guò)進(jìn)行基于噴射器13的真空破壞而進(jìn)行。

第2基板46在本實(shí)施方式中由板部件構(gòu)成，并具有呈平面狀的上表面以及下表面。在臂單元433中，第1基板45的下表面與第2基板46的上表面抵接。另外，在第2基板46形成有在上表面開(kāi)口而形成的第1貫通孔463、以及與第1貫通孔463連通并在下表面開(kāi)口的第2貫通孔462，在上表面?zhèn)扰c第1基板45的貫通孔452連通。由此，第1貫通孔463以及第2貫通孔462能夠與貫通孔452共同構(gòu)成吸引流路430的一部分。

在第2基板46的上表面形成有與第1貫通孔463以及第2貫通孔462同心地形成的環(huán)狀的凹部464。環(huán)狀的襯墊434以壓縮狀態(tài)插入該凹部464，由此，能夠維持構(gòu)成吸引流路430的一部分的第1貫通孔463以及第2貫通孔462與貫通孔452之間的氣密性。

此外，作為第1基板45以及第2基板46的構(gòu)成材料，未被特別限定，例如能夠使用各種金屬材料，這些中優(yōu)選使用鋁或鋁合金。通過(guò)使用鋁或鋁合金，能夠?qū)崿F(xiàn)臂單元433的輕型化。

作為基部的支承部47將對(duì)ic器件9進(jìn)行吸附的吸附部(保持部)49支承為能夠沿上下方向移動(dòng)(滑動(dòng))。此外，支承部47將卡盤(pán)部61、62支承為能夠轉(zhuǎn)動(dòng)。該支承部47在本實(shí)施方式中由成為圓板狀的部件構(gòu)成，平面狀的上表面與第2基板46的下表面抵接。另外，支承部47成為具有內(nèi)環(huán)473、與該內(nèi)環(huán)473同心地配置的外環(huán)474、以及設(shè)置于外環(huán)474的卡盤(pán)支承部472的構(gòu)造。

內(nèi)環(huán)473的內(nèi)腔部471在上表面?zhèn)?正z方向側(cè))與第2基板46的第2貫通孔462連通。由此，內(nèi)腔部471能夠構(gòu)成吸引流路430的一部分。此外，在該內(nèi)腔部471從下表面?zhèn)?負(fù)z方向側(cè))插入有吸附部49的一部分(上端部491)。

在內(nèi)環(huán)473以及外環(huán)474的連接部分的上方形成有與內(nèi)環(huán)473同心地形成的環(huán)狀的凹部467。環(huán)狀的襯墊437以壓縮狀態(tài)插入該凹部467，由此，能夠維持內(nèi)腔部471與第1貫通孔463以及第2貫通孔462之間的氣密性。

另一方面，在內(nèi)環(huán)473的外側(cè)且比外環(huán)474更靠下方配設(shè)有作為彈性部件的螺旋彈簧438。該螺旋彈簧438在伸長(zhǎng)狀態(tài)下，上端與外環(huán)474連接，下端與吸附部49的凸緣部494連接。由此，能夠?qū)ξ讲?9朝向下方施力。另外，在螺旋彈簧438的內(nèi)側(cè)插入有內(nèi)環(huán)473。由此，螺旋彈簧438從內(nèi)側(cè)被支承，由此能夠穩(wěn)定地伸縮(參照?qǐng)D3以及圖4)。

另外，卡盤(pán)支承部472配設(shè)于內(nèi)環(huán)473的外側(cè)且位于比配設(shè)有螺旋彈簧438的位置更靠外側(cè)的外環(huán)474的下方?？ūP(pán)支承部472設(shè)置于分別與四個(gè)卡盤(pán)部61、62、63、64對(duì)應(yīng)的位置?？ūP(pán)支承部472具備能夠使卡盤(pán)部61、62(63、64)分別以能夠移動(dòng)的方式嵌入的槽部，通過(guò)后述的軸612、622將卡盤(pán)部61、62分別支承為能夠轉(zhuǎn)動(dòng)。

作為保持部的吸附部49是對(duì)ic器件9進(jìn)行吸附并向載置部51按壓的部件。吸附部49成為圓筒狀，其上端部491以“間隙配合”或者“過(guò)度配合”的狀態(tài)嵌入支承部47的內(nèi)環(huán)473的內(nèi)腔部471。由此，吸附部49能夠沿上下方向穩(wěn)定地移動(dòng)。

吸附部49在移動(dòng)下端的位置與ic器件9的上表面(第1面)抵接。此外，在吸附部49的移動(dòng)下端的位置，成為后述的卡盤(pán)部61、62后退而敞開(kāi)的狀態(tài)。而且，通過(guò)使吸引流路430成為負(fù)壓狀態(tài)(真空狀態(tài))，吸附部49通過(guò)吸附面493吸附ic器件9并且向移動(dòng)上端的位置移動(dòng)(向圖3箭頭m1所示的第1方向移動(dòng))。此時(shí)，后述的定位用的卡盤(pán)部61、62與吸附部49的移動(dòng)連動(dòng)而向朝向ic器件9的方向(圖3中用箭頭m2、m3示出的第2方向)移動(dòng)，與ic器件9的外周面(第2面)抵接，由此能夠進(jìn)行該ic器件9的對(duì)中心。并且，吸附部49把隨著臂單元433的下降而向下方(第1方向的相反方向)移動(dòng)，將ic器件9向載置部51按壓(參照?qǐng)D4)，按壓后，伴隨著臂單元433的上升而向上方移動(dòng)。而且，通過(guò)將吸引流路430的負(fù)壓狀態(tài)(真空狀態(tài))解除，吸附部49解除ic器件9的吸附并且向移動(dòng)下端的位置移動(dòng)。此外，吸附部49的移動(dòng)下端以及移動(dòng)上端的位置能夠根據(jù)例如ic器件9的種類而改變。

吸附部49的內(nèi)腔部492一方的開(kāi)口與第2基板46的第1貫通孔463連通，另一方經(jīng)由連接孔496與吸附口497連通。由此，內(nèi)腔部492、連接孔496以及吸附口497能夠構(gòu)成吸引流路430的一部分。而且，如上述那樣，通過(guò)噴射器13工作，該吸引流路430成為負(fù)壓狀態(tài)(真空狀態(tài))，從而能夠吸附ic器件9。此時(shí)，吸附部49的吸附面493與ic器件9的主體部91的上表面相互緊貼，通過(guò)該緊貼，將吸引流路430氣密地密封。由此，可維持吸引流路430的負(fù)壓狀態(tài)，由此，能夠防止ic器件9從吸附部49脫落。

在吸附部49的外周部形成有由外徑進(jìn)行了擴(kuò)徑的擴(kuò)徑部構(gòu)成的凸緣部494。該凸緣部494的上表面抵接連接螺旋彈簧438的下端的彈簧座、以及卡盤(pán)部61、62的一個(gè)端部614、624，作為上下移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)面發(fā)揮功能。另外，凸緣部494的下表面具有作為在吸附部49向下方移動(dòng)時(shí)與下端部48抵接而使吸附部49的移動(dòng)停止的限位器(抵接件)的功能。

在嵌入支承部47的內(nèi)環(huán)473的內(nèi)腔部471的吸附部49的上端部491形成有與上端部491同心地形成的環(huán)狀的凹部495。環(huán)狀的襯墊439以壓縮狀態(tài)插入于該凹部495。襯墊439具有彈性，由此，能夠抑制吸附部49與內(nèi)環(huán)473(內(nèi)腔部471)接觸的接觸面積，由此，也可減少滑動(dòng)阻力，吸附部49能夠在內(nèi)環(huán)473內(nèi)順利地移動(dòng)。另外，通過(guò)襯墊439，即使吸附部49在移動(dòng)(滑動(dòng))中，也能夠維持吸引流路430的氣密性。

作為抵接部的卡盤(pán)部61、62(卡盤(pán)部63、64)具有進(jìn)行被吸附部49吸附的ic器件9的對(duì)位(對(duì)中心)的功能?？ūP(pán)部61、62經(jīng)由軸612、622而與在作為基部的支承部47的外環(huán)474設(shè)置的卡盤(pán)支承部472連接，并配置為能夠以該軸612、622為中心轉(zhuǎn)動(dòng)(移動(dòng))。

卡盤(pán)部61、62具有：位于吸附部49的凸緣部494側(cè)的一個(gè)端部614、624、以及相對(duì)于軸612、622而位于相反的一側(cè)的另一個(gè)端部613、623。一個(gè)端部614、624與凸緣部494的上表面抵接，另一個(gè)端部613、623與ic器件9的外周面(第2面)抵接。此外，ic器件9的外周面(第2面)也能夠稱為ic器件9的側(cè)面。而且，一個(gè)端部614、624與抵接的吸附部49的凸緣部494的沿著第1方向的移動(dòng)連動(dòng)而移動(dòng)。通過(guò)該一個(gè)端部614、624的移動(dòng)使卡盤(pán)部61、62以軸612、622為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，由此另一個(gè)端部613、623能夠沿與第1方向正交的第2方向(第1移動(dòng)方向)(圖3所示的箭頭m2、m3的方向)移動(dòng)。

詳細(xì)而言，卡盤(pán)部(第1卡盤(pán)部)61與卡盤(pán)部(第2卡盤(pán)部)62在與第1方向正交的第2方向(第1移動(dòng)方向)上，相互向相反方向移動(dòng)相同的移動(dòng)量，對(duì)ic器件9的外周面(第2面)進(jìn)行按壓。這樣，多個(gè)卡盤(pán)部(第1卡盤(pán)部)61以及卡盤(pán)部(第2卡盤(pán)部)62分別在第1移動(dòng)方向上相互從相反方向以相同的移動(dòng)量進(jìn)行移動(dòng)，對(duì)ic器件9進(jìn)行按壓，因此能夠容易且準(zhǔn)確地進(jìn)行ic器件9的定位(對(duì)中心)。

此外，沿著圖5所示的y軸方向隔著吸附部49而設(shè)置于兩側(cè)的卡盤(pán)部(第3卡盤(pán)部)63與卡盤(pán)部(第4卡盤(pán)部)64沿著與上述的第1移動(dòng)方向正交的第2移動(dòng)方向，相互向相反方向移動(dòng)相同的移動(dòng)量，對(duì)ic器件9的外周面(第2面)進(jìn)行按壓。換句話說(shuō)，通過(guò)卡盤(pán)部(第3卡盤(pán)部)63以及卡盤(pán)部(第4卡盤(pán)部)64，能夠?qū)ξ挥谂c供卡盤(pán)部(第1卡盤(pán)部)61以及卡盤(pán)部(第2卡盤(pán)部)62按壓的ic器件9的外周面(第2面)正交的方向的ic器件9的外周面(第2面)進(jìn)行按壓。

這樣，多個(gè)抵接部(卡盤(pán)部61、62、63、64)通過(guò)從正交的兩個(gè)方向的移動(dòng)(第1移動(dòng)方向以及第2移動(dòng)方向)能夠抵接并按壓于ic器件9的外周面(第2面)，從而能夠容易且更可靠地進(jìn)行ic器件9的定位(對(duì)中心)。

此外，優(yōu)選與一個(gè)端部614、624的凸緣部494的上表面抵接的前端部、以及與另一個(gè)端部613、623的ic器件9的外周面(第2面)抵接的前端部分別成為球狀或半球狀。特別是，與一個(gè)端部614、624的凸緣部494的上表面抵接的前端部一邊在凸緣部494的上表面滑動(dòng)一邊在第1方向上移動(dòng)，因此為了減少因滑動(dòng)產(chǎn)生的摩擦阻力，優(yōu)選成為球狀或半球狀。

這樣，卡盤(pán)部61、62相對(duì)于設(shè)置于支承部47的外環(huán)474的卡盤(pán)支承部472而能夠轉(zhuǎn)動(dòng)，由此能夠通過(guò)簡(jiǎn)易的機(jī)構(gòu)在第2方向上按壓ic器件9。另外，使吸附部49的凸緣部494的朝第1方向的移動(dòng)成為卡盤(pán)部61、62的轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)源，因此能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)使吸附部49的移動(dòng)與卡盤(pán)部61、62的轉(zhuǎn)動(dòng)連動(dòng)。另外，相對(duì)于ic器件9的保持的上表面(第1面)，從正交的方向(第2方向)對(duì)ic器件9的外周面(第2面)進(jìn)行按壓，因此能夠可靠且正確地進(jìn)行ic器件9的對(duì)位(對(duì)中心)。

另外，一方的一個(gè)端部614與另一個(gè)端部613通過(guò)連接部615、611連接，在連接部611設(shè)置有與軸612嵌合的嵌合孔(未圖示)。另外，另一方的一個(gè)端部624與另一個(gè)端部623通過(guò)連接部625、621連接，在連接部621設(shè)置有與軸622嵌合的嵌合孔(未圖示)。構(gòu)成為，連接部615、611相對(duì)于z方向具有傾斜，卡盤(pán)部61的重心g位于比軸612更靠上方且在吸附部49側(cè)。同樣，構(gòu)成為連接部625、621相對(duì)于z方向具有傾斜，卡盤(pán)部62的重心g位于比軸622更靠上方且在吸附部49側(cè)。通過(guò)像這樣使重心g定位，能夠通過(guò)卡盤(pán)部61、62的自重使一個(gè)端部614、624與凸緣部494抵接，從而能夠使卡盤(pán)部61、62的設(shè)置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。

卡盤(pán)部61、62與使吸附部49向下方(第1方向的相反方向)移動(dòng)連動(dòng)，另一個(gè)端部613、623向與吸附部49遠(yuǎn)離的方向(第2方向的相反方向)移動(dòng)。移動(dòng)后的吸附部49以及卡盤(pán)部61、62的狀態(tài)在圖3中由雙點(diǎn)劃線示出。即，與使吸附部49向下方(第1方向的相反方向)移動(dòng)連動(dòng)，卡盤(pán)部61、62向另一個(gè)端部613、623敞開(kāi)的方向轉(zhuǎn)動(dòng)，并成為雙點(diǎn)劃線示出的卡盤(pán)部61m、62m的狀態(tài)。此外，吸附部49在卡盤(pán)部61、62敞開(kāi)的狀態(tài)下的吸附部49的移動(dòng)下端的位置與ic器件9的上表面(第1面)抵接。

另外，卡盤(pán)部61、62與使吸附部49向上方(圖中箭頭m1所示的第1方向)移動(dòng)連動(dòng)，向另一個(gè)端部613、623朝向吸附部49側(cè)的方向(圖中用箭頭m2、m3示出的第2方向)移動(dòng)。而且，卡盤(pán)部61、62通過(guò)沿該第2方向的移動(dòng)，另一個(gè)端部613、623將ic器件9的外周面(第2面)分別向朝向中心側(cè)而相向的方向按壓，通過(guò)該按壓使ic器件9移動(dòng)，從而能夠進(jìn)行該ic器件9的對(duì)位(對(duì)中心)。

此時(shí)，吸附部49通過(guò)使吸引流路430成為負(fù)壓狀態(tài)(真空狀態(tài))，在吸附面493吸附ic器件9。此處，ic器件9的吸附力f1需要比ic器件9的重量w1大。另外，在ic器件9的對(duì)位(對(duì)中心)中，通過(guò)卡盤(pán)部61、62的按壓使被吸附的ic器件9的吸附位置移動(dòng)并修正，因此相比將ic器件9吸附于吸附面493的吸附力f1需要使卡盤(pán)部61、62的按壓力p更大。即，成為p＞f1＞w1···(1)的關(guān)系。

此外，ic器件9的吸附力f1通過(guò)吸附口497的利用直徑φd1求出的截面積與作為吸氣源的噴射器13的吸氣力的相關(guān)(積)求出。另外，卡盤(pán)部61、62的按壓力p通過(guò)吸附部49向上方移動(dòng)的移動(dòng)力f2、與以卡盤(pán)部61、62的軸612、622為支點(diǎn)的一個(gè)端部614、624以及另一個(gè)端部613、623的位置(杠桿原理)的相關(guān)來(lái)決定。

另外，吸附部49朝上方的移動(dòng)一邊通過(guò)卡盤(pán)部61、62的按壓使吸附的ic器件9移動(dòng)一邊進(jìn)行。因此，將吸附部49朝上方移動(dòng)的移動(dòng)力f2設(shè)定為，比將吸附部49與內(nèi)環(huán)473(包括內(nèi)腔部471以及襯墊439)的接觸阻力(摩擦力)r1、與螺旋彈簧438的彈簧力c1、以及卡盤(pán)部61、62的按壓力p相加的值大。即，成為f2＞r1+c1+p···(2)的關(guān)系。

此外，吸附部49向上方移動(dòng)的移動(dòng)力f2通過(guò)吸附部49的利用上端部491的端面476的直徑φd2求出的截面積、與作為吸氣源的噴射器13的吸氣力的相關(guān)(積)求出。

此處，作為吸氣源的噴射器13的吸氣力相同，因此通過(guò)選定吸附口497的直徑φd1與吸附部49的上端部491的端面476的直徑φd2，能夠設(shè)定吸附力f1與移動(dòng)力f2。

如圖4所示，下端部48在臂單元433將ic器件9向載置部51按壓時(shí)，能夠與載置部51抵接。下端部48由成為環(huán)狀的部件構(gòu)成，并與設(shè)置于支承部47的外環(huán)474的卡盤(pán)支承部472連接。下端部48的上表面作為與吸附部49的凸緣部494抵接來(lái)決定吸附部49的下方側(cè)的停止位置的抵接件(限位器)發(fā)揮功能。而且，下端部48配置于與同ic器件9直接接觸的吸附部49不同的位置即以包圍吸附部49的方式與該吸附部49同心地配置。此外，下端部48的下表面481是臂單元433的除了與ic器件9接觸的吸附部49的部分的最下表面。因此，下端部48包括臂單元433的上述最下表面。

作為上述的支承部(基部)47、下端部48以及吸附部(保持部)49的構(gòu)成材料，未特別限定，例如能夠使用各種金屬材料，這些中優(yōu)選使用碳鋼，其他也可以是鋁、銅等。碳鋼強(qiáng)度穩(wěn)定且耐磨性好從而優(yōu)選。

此外，具有下端部48的部分(以下稱為“前者”)與供下端部48抵接的部分(以下稱為“后者”)在本實(shí)施方式中，前者是檢查機(jī)器人43的臂單元433，后者是檢查部5的載置部51，但不限定于此。例如，也可以前者是供給機(jī)器人42的臂單元423，后者是往復(fù)裝置41，也可以前者是檢查機(jī)器人43的臂單元433，后者是往復(fù)裝置41。

根據(jù)上述的第1實(shí)施方式的檢查裝置(電子部件檢查裝置)1，具備作為電子部件運(yùn)送裝置的運(yùn)送部4。由此，作為對(duì)作為電子部件的ic器件9進(jìn)行吸附的保持部的吸附部49在相對(duì)于作為基部的支承部47沿第1方向移動(dòng)時(shí)，作為抵接部的卡盤(pán)部61、62向與第1方向不同的(正交)第2方向?qū)c器件9進(jìn)行按壓，由此能夠進(jìn)行該ic器件9的定位(對(duì)中心)。這樣，通過(guò)簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)能夠容易地進(jìn)行ic器件9的定位(對(duì)中心)。

《抵接部的變形例》

此外，作為抵接部的卡盤(pán)部61、62能夠應(yīng)用以下所示那樣的變形例。以下，參照?qǐng)D6以及圖7對(duì)卡盤(pán)部61、62的變形例進(jìn)行說(shuō)明。圖6是表示臂單元433a的卡盤(pán)部的變形例1的剖視圖(垂直剖視圖)。圖7是表示臂單元433b的卡盤(pán)部的變形例2的剖視圖(垂直剖視圖)。此外，本變形例的說(shuō)明中，對(duì)與上述的第1實(shí)施方式不同的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明，對(duì)與第1實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注同附圖標(biāo)記而省略說(shuō)明。

(變形例1)

作為圖6所示的變形例1的抵接部的卡盤(pán)部61a、62a與第1實(shí)施方式相同，具有進(jìn)行被吸附部49吸附的ic器件9的對(duì)位(對(duì)中心)的功能。卡盤(pán)部61a、62a經(jīng)由軸612、622與在作為基部的支承部47的外環(huán)474設(shè)置的卡盤(pán)支承部472連接，并配置為能夠以該軸612、622為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。

卡盤(pán)部61a、62a具有：位于吸附部49的凸緣部494側(cè)的與第1實(shí)施方式相同的一個(gè)端部614、624、和相對(duì)于軸612、622位于相反的一側(cè)并與第1實(shí)施方式不同結(jié)構(gòu)的另一個(gè)端部(調(diào)整部)81、82。一個(gè)端部614、624與凸緣部494的上表面抵接，另一個(gè)端部81、82與ic器件9的外周面(第2面)抵接。

作為調(diào)整部的另一個(gè)端部81、82構(gòu)成為，具備半球狀的前端部812、822的螺紋部件811、821擰入設(shè)置于連接部611a、621a的未圖示的螺紋部(外螺紋)而被固定。作為調(diào)整部的另一個(gè)端部81、82以能夠變更與ic器件9的抵接位置的方式配置。

通過(guò)成為這樣的變形例1的結(jié)構(gòu)，能夠微調(diào)另一個(gè)端部81、82的與ic器件9的外周面(第2面)抵接位置，從而能夠容易地進(jìn)行基于卡盤(pán)部61a、62a的壓入量的微調(diào)。因此，能夠更細(xì)致地進(jìn)行ic器件9的定位(對(duì)中心)。

(變形例2)

作為圖7所示的變形例2的抵接部的卡盤(pán)部61b、62b與第1實(shí)施方式相同，具有進(jìn)行被吸附部49吸附的ic器件9的對(duì)位(對(duì)中心)的功能?？ūP(pán)部61b、62b經(jīng)由軸612、622與在作為基部的支承部47的外環(huán)474設(shè)置的卡盤(pán)支承部472連接，并配置為能夠以該軸612、622為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。

卡盤(pán)部61b、62b具有：位于吸附部49的凸緣部494側(cè)的與第1實(shí)施方式不同結(jié)構(gòu)的一個(gè)端部(調(diào)整部)85、86、和相對(duì)于軸612、622而位于相反的一側(cè)并與第1實(shí)施方式相同的另一個(gè)端部613、623。一個(gè)端部85、86與凸緣部494的上表面抵接，另一個(gè)端部613、623與ic器件9的外周面(第2面)抵接。

一個(gè)端部(調(diào)整部)85、86構(gòu)成為，具備半球狀的前端部852、862的螺紋部件851、861擰入設(shè)置于連接部615b、625b的未圖示的螺紋部(外螺紋)而被固定。作為調(diào)整部的一個(gè)端部85、86配置為能夠變更與凸緣部494的抵接位置。即，通過(guò)變更(調(diào)整)一個(gè)端部85、86與凸緣部494的抵接位置，從而能夠變更(調(diào)整)另一個(gè)端部613、623與ic器件9的外周面(第2面)的抵接位置，進(jìn)而能夠調(diào)整ic器件9的對(duì)中心位置。

通過(guò)成為這樣的變形例2的結(jié)構(gòu)，通過(guò)變更(調(diào)整)一個(gè)端部85、86與凸緣部494的抵接位置從而能夠微調(diào)與另一個(gè)端部613、623的ic器件9的外周面(第2面)抵接的位置，能夠容易地進(jìn)行卡盤(pán)部61b、62b(另一個(gè)端部613、623)的壓入量的微調(diào)。因此，能夠更細(xì)致地進(jìn)行ic器件9的定位(對(duì)中心)。

此外，也能夠應(yīng)用將變形例1的卡盤(pán)部61a、62a、以及變形例2的卡盤(pán)部61b、62b的結(jié)構(gòu)組合使用的結(jié)構(gòu)。例如，能夠使一方成為變形例1的卡盤(pán)部61a、另一方成為變形例2的卡盤(pán)部62b，或使一方成為變形例2的卡盤(pán)部61b，使另一方成為變形例1的卡盤(pán)部62a。

另外，在變形例1以及變形例2中，能夠應(yīng)用設(shè)置了同與卡盤(pán)部61a、62a或者卡盤(pán)部61b、62b正交的方向?qū)χ玫钠渌ūP(pán)部(與圖5所示的卡盤(pán)部(第3卡盤(pán)部)63以及卡盤(pán)部(第4卡盤(pán)部)64相當(dāng))的結(jié)構(gòu)。

＜第2實(shí)施方式＞

接下來(lái)，參照?qǐng)D8對(duì)本發(fā)明的第2實(shí)施方式的電子部件檢查裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖8是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的運(yùn)送部的臂單元的剖視圖(垂直剖視圖)。

以下，參照該圖8對(duì)本發(fā)明的電子部件運(yùn)送裝置以及電子部件檢查裝置的第2實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明，以與上述的第1實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，對(duì)相同的事項(xiàng)標(biāo)注相同附圖標(biāo)記，省略其說(shuō)明。

本第2實(shí)施方式的檢查裝置(電子部件檢查裝置)1c除了檢查機(jī)器人43c的各臂單元433c的作為保持部的吸附部49c、以及作為抵接部的卡盤(pán)部61c、62c的結(jié)構(gòu)與吸附部49以及卡盤(pán)部61、62不同以外，與上述的第1實(shí)施方式的檢查裝置(電子部件檢查裝置)1相同。

如圖8所示，在本實(shí)施方式的檢查裝置1c中，使卡盤(pán)部61c、62c的一個(gè)端部614c、624c與吸附部49c的凸緣部498的傾斜面498a抵接，與該傾斜面498a朝上下方向的移動(dòng)連動(dòng)而進(jìn)行卡盤(pán)部61c、62c的旋轉(zhuǎn)。以下，對(duì)該結(jié)構(gòu)詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。

作為保持部的吸附部49c成為圓筒狀，與第1實(shí)施方式相同，其上端部491以“間隙配合”或者“過(guò)度配合”的狀態(tài)嵌入支承部47的內(nèi)環(huán)473的內(nèi)腔部471。由此，吸附部49c能夠沿上下方向穩(wěn)定地移動(dòng)。而且，吸附部49c在后述的卡盤(pán)部61c、62c為打開(kāi)的狀態(tài)的移動(dòng)下端的位置與ic器件9的上表面(第1面)抵接。而且，通過(guò)使吸引流路430成為負(fù)壓狀態(tài)(真空狀態(tài))，吸附部49c在吸附面493吸附ic器件9，并且在第1方向上向移動(dòng)上端的位置移動(dòng)。此時(shí)，后述的卡盤(pán)部61c、62c與吸附部49c的移動(dòng)連動(dòng)而向朝向ic器件9的方向(第2方向)移動(dòng)，與ic器件9的外周面(第2面)抵接，從而能夠進(jìn)行該ic器件9的對(duì)中心。此外，關(guān)于吸附部49c的吸引流路430的結(jié)構(gòu)、以及ic器件9的吸附與第1實(shí)施方式相同，因此省略其說(shuō)明。

在吸附部49c的外周部形成有由外徑擴(kuò)徑的擴(kuò)徑部構(gòu)成的凸緣部498。該凸緣部498的上表面作為連接螺旋彈簧438的下端的彈簧座發(fā)揮功能。另外，凸緣部498的外周側(cè)面具有隨著朝向上方而縮徑的傾斜面498a，該傾斜面498a與卡盤(pán)部61c、62c的一個(gè)端部614c、624c抵接，并作為上下移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)面發(fā)揮功能。另外，凸緣部498的下表面具有作為在吸附部49c向下方移動(dòng)時(shí)，與下端部48抵接，使吸附部49c的移動(dòng)停止的限位器(抵接件)的功能。

作為抵接部的卡盤(pán)部61c、62c具有進(jìn)行被吸附部49c吸附的ic器件9的對(duì)位(對(duì)中心)的功能?？ūP(pán)部61c、62c經(jīng)由軸612、622與設(shè)置于作為基部的支承部47的外環(huán)474的卡盤(pán)支承部472連接，并配置為能夠以該軸612、622為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。

卡盤(pán)部61c、62c具有：位于吸附部49c的凸緣部498側(cè)的一個(gè)端部614c、624c、和相對(duì)于軸612、622位于相反的一側(cè)的另一個(gè)端部613、623。一個(gè)端部614c、624c與作為凸緣部498的外周側(cè)面的傾斜面498a抵接，另一個(gè)端部613、623與ic器件9的外周面(第2面)抵接。此外，ic器件9的外周面(第2面)也能夠稱為ic器件9的側(cè)面。而且，一個(gè)端部614c、624c與抵接的吸附部49c的凸緣部498的傾斜面498a的沿著第1方向的移動(dòng)(滑動(dòng))連動(dòng)而移動(dòng)。通過(guò)該一個(gè)端部614c、624c的移動(dòng)，卡盤(pán)部61c、62c以軸612、622為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，由此，另一個(gè)端部613、623能夠沿與第1方向正交的第2方向(第1移動(dòng)方向)移動(dòng)。此外，卡盤(pán)部61c、62c通過(guò)該卡盤(pán)部61c、62c或施力機(jī)構(gòu)(例如，螺旋彈簧、板簧等)使一個(gè)端部614c、624c被按壓于傾斜面498a。由此，一個(gè)端部614c、624c能夠隨著傾斜面498a的移動(dòng)而移動(dòng)。

詳細(xì)而言，卡盤(pán)部(第1卡盤(pán)部)61c與卡盤(pán)部(第2卡盤(pán)部)62c在與第1方向正交的第2方向(第1移動(dòng)方向)上，相互向相反方向通過(guò)相同的移動(dòng)量移動(dòng)，對(duì)ic器件9的外周面(第2面)進(jìn)行按壓。這樣，多個(gè)卡盤(pán)部(第1卡盤(pán)部)61c以及卡盤(pán)部(第2卡盤(pán)部)62c分別在第1移動(dòng)方向上相互從相反方向以相同的移動(dòng)量移動(dòng)，對(duì)ic器件9進(jìn)行按壓，因此能夠容易且準(zhǔn)確地進(jìn)行ic器件9的定位(對(duì)中心)。

以上說(shuō)明的第2實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)中，作為保持部的吸附部49c在相對(duì)于作為基部的支承部47在第1方向上移動(dòng)時(shí)，作為抵接部的卡盤(pán)部61c、62c在與第1方向不同(正交)的第2方向上對(duì)ic器件9進(jìn)行按壓，從而能夠進(jìn)行該ic器件9的定位(對(duì)中心)，其中上述保持部構(gòu)成作為電子部件運(yùn)送裝置的運(yùn)送部4c。這樣，能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)容易地進(jìn)行ic器件9的定位(對(duì)中心)。

＜第3實(shí)施方式＞

接下來(lái)，參照?qǐng)D9對(duì)本發(fā)明的第3實(shí)施方式的電子部件檢查裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖9是表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的運(yùn)送部的臂單元的剖視圖(垂直剖視圖)。

以下，參照?qǐng)D9對(duì)本發(fā)明的電子部件運(yùn)送裝置以及電子部件檢查裝置的第3實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明，但以與上述的第2實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，對(duì)相同的事項(xiàng)標(biāo)注相同附圖標(biāo)記，省略其說(shuō)明。此外，本第3實(shí)施方式的檢查裝置(電子部件檢查裝置)1d除了作為檢查機(jī)器人43d的各臂單元433d的抵接部的卡盤(pán)部65、66的結(jié)構(gòu)與卡盤(pán)部61c、62c不同以外，其他與上述的第2實(shí)施方式的檢查裝置1c相同。

此外，成為卡盤(pán)部65、66的移動(dòng)源的吸附部49c成為圓筒狀，并具有與第2實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)。因此，雖省略詳細(xì)的說(shuō)明，但在吸附部49c的外周部形成有由外徑擴(kuò)徑的擴(kuò)徑部構(gòu)成的凸緣部498。該凸緣部498的上表面作為連接螺旋彈簧438的下端的彈簧座發(fā)揮功能。另外，凸緣部498的外周側(cè)面具有隨著朝向上方而縮徑的傾斜面498a，該傾斜面498a成為卡盤(pán)部65、66的移動(dòng)源。另外，凸緣部498的下表面具有作為在吸附部49c向下方移動(dòng)時(shí)，與下端部48抵接，使吸附部49c的移動(dòng)停止的限位器(抵接件)的功能。

如圖9所示，本第3實(shí)施方式中，卡盤(pán)部65、66成為所謂井欄形狀(井筒形狀)而構(gòu)成?？ūP(pán)部65、66具有進(jìn)行被吸附部49c吸附的ic器件9的對(duì)位(對(duì)中心)的功能。在本方式的卡盤(pán)部(第1卡盤(pán)部)65以及卡盤(pán)部(第2卡盤(pán)部)66中，使構(gòu)成井欄形狀的后述的第1棒部件651、661的一個(gè)端部651a、661a與吸附部49c的凸緣部498的傾斜面498a抵接，與該傾斜面498a沿上下方向的移動(dòng)連動(dòng)地使卡盤(pán)部(第1卡盤(pán)部)65以及卡盤(pán)部(第2卡盤(pán)部)66進(jìn)行動(dòng)作(開(kāi)閉)。以下，對(duì)本方式的卡盤(pán)部65、66詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。

一方的卡盤(pán)部(第1卡盤(pán)部)65具備：沿著x方向相互并行配置的第1棒部件651以及第2棒部件652、以及與第1棒部件651以及第2棒部件652交叉、并沿著z方向相互并行配置的第3棒部件653以及第4棒部件654。

第1棒部件651使一個(gè)端部651a與吸附部49c的凸緣部498的傾斜面498a對(duì)置地配置，并經(jīng)由軸q11、q12以相互能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式連接于交叉的第3棒部件653以及第4棒部件654。第2棒部件652使一個(gè)端部652a與被吸附部49c吸附的ic器件9的外周面(第2面)對(duì)置地配置，并經(jīng)由軸q13、q14以能夠相互轉(zhuǎn)動(dòng)的方式連接于交叉的第3棒部件653以及第4棒部件654。

第3棒部件653在第1棒部件651與第2棒部件652的中央部，經(jīng)由軸c11與設(shè)置于支承部47d的外環(huán)474d的卡盤(pán)支承部472d連接，并以該軸c11為中心能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地配置。第4棒部件654在第1棒部件651與第2棒部件652的中央部，經(jīng)由軸c12與設(shè)置于支承部47d的外環(huán)474d的卡盤(pán)支承部472d連接，并以該軸c12為中心能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地配置。

這樣的結(jié)構(gòu)的卡盤(pán)部(第1卡盤(pán)部)65能夠使第2棒部件652向與第1棒部件651的移動(dòng)方向相反的方向移動(dòng)。詳細(xì)而言，例如若使第1棒部件651向x方向移動(dòng)，則第3棒部件653以及第4棒部件654的一個(gè)端部經(jīng)由軸q11、q12向上述方向連動(dòng)地移動(dòng)。由此，第3棒部件653以及第4棒部件654以軸c11、c12為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。第3棒部件653以及第4棒部件654以軸c11、c12為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，從而第3棒部件653以及第4棒部件654的另一個(gè)端部向與第1棒部件651的移動(dòng)方向相反方向的負(fù)x方向移動(dòng)。第2棒部件652與該移動(dòng)連動(dòng)地經(jīng)由軸q13、q14向負(fù)x方向移動(dòng)。本例子中，卡盤(pán)部(第1卡盤(pán)部)65向從ic器件9遠(yuǎn)離的方向即卡盤(pán)部(第1卡盤(pán)部)65敞開(kāi)的方向移動(dòng)。

另外，另一方的卡盤(pán)部(第2卡盤(pán)部)66具備：沿著x方向相互并行配置的第1棒部件661以及第2棒部件662、以及與第1棒部件661以及第2棒部件662交叉并沿著z方向相互并行配置的第3棒部件663以及第4棒部件664。

第1棒部件661使一個(gè)端部661a與吸附部49c的凸緣部498的傾斜面498a對(duì)置地配置，并經(jīng)由軸q21、q22以相互能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式與交叉的第3棒部件663以及第4棒部件664連接。第2棒部件662使一個(gè)端部662a與被吸附部49c吸附的ic器件9的外周面(第2面)對(duì)置地配置，并經(jīng)由軸q23、q24而以相互能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式與交叉的第3棒部件663以及第4棒部件664連接。

第3棒部件663在第1棒部件661與第2棒部件662的中央部，經(jīng)由軸c21與設(shè)置于支承部47d的外環(huán)474d的卡盤(pán)支承部472d連接，配置為能夠以該軸c21為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。第4棒部件664在第1棒部件661與第2棒部件662的中央部，經(jīng)由軸c22與設(shè)置于支承部47d的外環(huán)474d的卡盤(pán)支承部472d連接，并配置為能夠以該軸c22為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。

這樣的結(jié)構(gòu)的卡盤(pán)部(第2卡盤(pán)部)66通過(guò)與上述的卡盤(pán)部(第1卡盤(pán)部)65相同的動(dòng)作，能夠使第2棒部件662向與第1棒部件661的移動(dòng)方向相反的方向移動(dòng)。詳細(xì)而言，例如若使第1棒部件661向負(fù)x方向移動(dòng)，則第3棒部件663以及第4棒部件664的一個(gè)端部經(jīng)由軸q21、q22向上述方向連動(dòng)地移動(dòng)。由此，第3棒部件663以及第4棒部件664以軸c21、c22為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。第3棒部件663以及第4棒部件664以軸c21、c22為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，由此第3棒部件663以及第4棒部件664的另一個(gè)端部向與第1棒部件661的移動(dòng)方向相反方向的正x方向移動(dòng)。第2棒部件662與該移動(dòng)連動(dòng)地經(jīng)由軸q23、q24向正x方向移動(dòng)。本例中，卡盤(pán)部(第2卡盤(pán)部)66向從ic器件9遠(yuǎn)離的方向即卡盤(pán)部(第2卡盤(pán)部)66敞開(kāi)的方向移動(dòng)。

此外，在卡盤(pán)部(第1卡盤(pán)部)65、以及卡盤(pán)部(第2卡盤(pán)部)66中，作為用于使第1棒部件651、661的一個(gè)端部651a、661a與吸附部49c的凸緣部498的傾斜面498a抵接的施力機(jī)構(gòu)而設(shè)置螺旋彈簧655、665。

如上述那樣，在卡盤(pán)部(第1卡盤(pán)部)65以及卡盤(pán)部(第2卡盤(pán)部)66中，使第1棒部件651、661的一個(gè)端部651a、661a與吸附部49c的凸緣部498的傾斜面498a抵接，與該傾斜面498a朝上下方向的移動(dòng)連動(dòng)地使卡盤(pán)部(第1卡盤(pán)部)65以及卡盤(pán)部(第2卡盤(pán)部)66動(dòng)作。

此處，對(duì)基于卡盤(pán)部65、66的ic器件9的對(duì)位(對(duì)中心)動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明?？ūP(pán)部65、66與吸附部49c朝上方(圖中箭頭m1的方向)的移動(dòng)連動(dòng)地使第1棒部件651、661的一個(gè)端部651a、661a朝圖中箭頭p1、p3的方向移動(dòng)。伴隨于此，第3棒部件653、663以及第4棒部件654、664分別以軸c11、c12以及軸c21、c22為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，第2棒部件652、662朝圖中箭頭p2、p4的方向移動(dòng)，端部652a、662a對(duì)ic器件9的外周面(第2面)進(jìn)行按壓。這樣，多個(gè)卡盤(pán)部(第1卡盤(pán)部)65以及卡盤(pán)部(第2卡盤(pán)部)66分別在第1移動(dòng)方向(x方向)上相互從相反方向以相同的移動(dòng)量移動(dòng)，對(duì)ic器件9進(jìn)行按壓，因此能夠容易且準(zhǔn)確地進(jìn)行ic器件9的定位(對(duì)中心)。

在以上說(shuō)明的第3實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)中，作為構(gòu)成作為電子部件運(yùn)送裝置的運(yùn)送部4的保持部的吸附部49c在相對(duì)于作為基部的支承部47d沿第1方向移動(dòng)時(shí)，作為抵接部的卡盤(pán)部65、66在與第1方向不同(正交)的第2方向上對(duì)ic器件9進(jìn)行按壓，由此能夠進(jìn)行該ic器件9的定位(對(duì)中心)。這樣，能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)容易地進(jìn)行ic器件9的定位(對(duì)中心)。

＜第4實(shí)施方式＞

首先，參照?qǐng)D10～圖14對(duì)本發(fā)明的第4實(shí)施方式的電子部件檢查裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖10是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的概要的配置圖。圖11是表示第4實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的運(yùn)送部以及檢查部的概要的俯視圖。圖12是電子部件檢查裝置的運(yùn)送部的臂單元以及檢查部的剖視圖(垂直剖視圖)。圖13是表示電子部件(ic器件)的割斷(分割)的概要(割斷前)的剖視圖。圖14是表示被割斷(分割)的電子部件(ic器件)的剖視圖。

另外，圖12中示出運(yùn)送部的多個(gè)臂單元中的一個(gè)。

如圖10所示，作為電子部件檢查裝置的檢查裝置1a具有：供給部2、供給側(cè)排列部3、運(yùn)送部4a、檢查部5a、回收側(cè)排列部6、回收部7、以及進(jìn)行這些各部的控制的控制部8。另外，檢查裝置1a具有：配置供給部2、供給側(cè)排列部3、運(yùn)送部4a、檢查部5a、回收側(cè)排列部6以及回收部7的基座11、以及以收納供給側(cè)排列部3、運(yùn)送部4a、檢查部5a以及回收側(cè)排列部6的方式覆蓋于基座11的罩12。此外，作為基座11的上表面的基座面111幾乎成為水平，在該基座面111配置有供給側(cè)排列部3、運(yùn)送部4a、檢查部5a、回收側(cè)排列部6的構(gòu)成部件。

上述檢查裝置1a構(gòu)成為，供給部2向供給側(cè)排列部3供給ic器件9，將供給的ic器件9在供給側(cè)排列部3排列，運(yùn)送部4a將排列的ic器件9運(yùn)送至檢查部5a，檢查部5a對(duì)運(yùn)送來(lái)的ic器件9進(jìn)行檢查，運(yùn)送部4a將結(jié)束了檢查的ic器件9運(yùn)送/排列于回收側(cè)排列部6，回收部7對(duì)排列于回收側(cè)排列部6的ic器件9進(jìn)行回收。根據(jù)上述檢查裝置1a，能夠自動(dòng)地進(jìn)行ic器件9的供給、檢查、回收。此外，在檢查裝置1a中，通過(guò)除了檢查部5a的結(jié)構(gòu)即供給部2、供給側(cè)排列部3、運(yùn)送部4a、回收側(cè)排列部6、回收部7以及控制部8的一部分等，構(gòu)成運(yùn)送裝置(電子部件運(yùn)送裝置)10。運(yùn)送裝置10a進(jìn)行ic器件9的運(yùn)送等。

此外，如圖12所示，ic器件9具有：主體部91、和設(shè)置于主體部91的外部的多個(gè)端子(電極)92。各個(gè)端子92與主體部91的內(nèi)部的電路部電連接。主體部91的形狀未特別限定，但在本實(shí)施方式中，主體部91大體成為板狀，另外，從z方向觀察時(shí)即俯視中成為四邊形。另外，該四邊形在本實(shí)施方式中是正方形或者長(zhǎng)方形。另外，各端子92設(shè)置于主體部91的下部(或者側(cè)部)，例如成為球狀、半球狀或平板狀等。

以下，對(duì)運(yùn)送部4a以及檢查部5a的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。

《運(yùn)送部》

如圖11所示，構(gòu)成電子部件運(yùn)送裝置的運(yùn)送部4a是將配置在供給側(cè)排列部3的載置工作臺(tái)341上的ic器件9運(yùn)送至檢查部5a，將結(jié)束了檢查部5a的檢查的ic器件9運(yùn)送至回收側(cè)排列部6的單元。這樣的運(yùn)送部4a具有：往復(fù)裝置41、供給機(jī)器人42、檢查機(jī)器人43a以及回收機(jī)器人44。

-往復(fù)裝置-

往復(fù)裝置41是用于將載置工作臺(tái)341上的ic器件9運(yùn)送至檢查部5a的附近、進(jìn)一步用于將在檢查部5a進(jìn)行了檢查的檢查完畢的ic器件9運(yùn)送至回收側(cè)排列部6的附近的往復(fù)裝置。在這樣的往復(fù)裝置41沿x方向并列形成有用于收納ic器件9的四個(gè)凹處411。另外，往復(fù)裝置41通過(guò)直線運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)件被引導(dǎo)，通過(guò)直線電動(dòng)機(jī)等的驅(qū)動(dòng)源能夠沿x方向往復(fù)移動(dòng)。

-供給機(jī)器人-

供給機(jī)器人42是將配置在載置工作臺(tái)341上的ic器件9運(yùn)送至往復(fù)裝置41的機(jī)器人。這樣的供給機(jī)器人42具有：被基座11支承的支承框架421、被支承框架421支承并相對(duì)于支承框架421能夠沿y方向往復(fù)移動(dòng)的移動(dòng)框架422、以及被移動(dòng)框架422支承的四個(gè)臂單元(把持機(jī)器人)423。各臂單元423具備升降機(jī)構(gòu)以及吸附噴嘴，能夠通過(guò)對(duì)ic器件9進(jìn)行吸附來(lái)保持。

-檢查機(jī)器人-

檢查機(jī)器人43a是將收納于往復(fù)裝置41的ic器件9朝檢查部5a運(yùn)送并且將結(jié)束了檢查的ic器件9從檢查部5a朝往復(fù)裝置41運(yùn)送的機(jī)器人。另外，檢查機(jī)器人43a在檢查時(shí)，能夠通過(guò)臂單元433a的吸附部49(參照?qǐng)D12)將ic器件9按壓于檢查部5a，對(duì)ic器件9外加規(guī)定的檢查壓。

如圖11所示，這樣的檢查機(jī)器人43a具有：被基座11支承的支承框架431、被支承框架431支承并相對(duì)于支承框架431能夠沿y方向往復(fù)移動(dòng)的移動(dòng)框架432、以及被移動(dòng)框架432支承的四個(gè)臂單元(把持機(jī)器人)433a。各臂單元433a的配置未特別限定，但圖示的配置是一個(gè)例子。此外，如后述那樣，各臂單元433a具有對(duì)ic器件9進(jìn)行吸附的吸附部49(參照?qǐng)D12)等。

-回收機(jī)器人-

回收機(jī)器人44是將結(jié)束了檢查部5a的檢查的ic器件9運(yùn)送至回收側(cè)排列部6的機(jī)器人。這樣的回收機(jī)器人44具有：被基座11支承的支承框架441、被支承框架441支承并相對(duì)于支承框架441能夠沿y方向往復(fù)移動(dòng)的移動(dòng)框架442、以及被移動(dòng)框架442支承的四個(gè)臂單元(把持機(jī)器人)443。各臂單元443具備升降機(jī)構(gòu)以及吸附噴嘴，能夠通過(guò)對(duì)ic器件9進(jìn)行吸附來(lái)保持。

這樣的運(yùn)送部4a如以下那樣運(yùn)送ic器件9。首先，往復(fù)裝置41向圖中左側(cè)(負(fù)x方向)移動(dòng)，供給機(jī)器人42將載置工作臺(tái)341上的ic器件9運(yùn)送至往復(fù)裝置41(step1)。接下來(lái)，往復(fù)裝置41朝中央(正x方向)移動(dòng)，檢查機(jī)器人43a將往復(fù)裝置41上的ic器件9朝檢查部5a運(yùn)送(step2)。接下來(lái)，檢查機(jī)器人43a將結(jié)束了檢查部5a的檢查的ic器件9朝往復(fù)裝置41運(yùn)送(step3)。接下來(lái)，往復(fù)裝置41朝圖中右側(cè)(正x方向)移動(dòng)，回收機(jī)器人44將往復(fù)裝置41上的檢查完畢的ic器件9運(yùn)送至回收側(cè)排列部6(step4)。通過(guò)反復(fù)上述step1～step4，能夠?qū)c器件9經(jīng)由檢查部5a朝回收側(cè)排列部6運(yùn)送。

以上，對(duì)運(yùn)送部4a的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說(shuō)明，但作為運(yùn)送部4a的結(jié)構(gòu)，只要能夠?qū)⑤d置工作臺(tái)341上的ic器件9朝檢查部5a運(yùn)送，將結(jié)束了檢查的ic器件9朝回收側(cè)排列部6運(yùn)送，未特別限定。例如，也可以省略往復(fù)裝置41，通過(guò)供給機(jī)器人42、檢查機(jī)器人43a以及回收機(jī)器人44的任一個(gè)機(jī)器人進(jìn)行從載置工作臺(tái)341朝檢查部5a的運(yùn)送、以及從檢查部5a朝回收側(cè)排列部6的運(yùn)送。

《檢查部》

檢查部5a是對(duì)ic器件9的電特性進(jìn)行檢查、試驗(yàn)的單元(測(cè)試儀)。如圖12所示，檢查部5a在內(nèi)置于該檢查部5a的負(fù)載板(電路基板)54上以能夠拆裝的方式安裝載置部(部件配置部)51a而使用。

構(gòu)成部件配置部的載置部51a是保持、載置ic器件9的例如樹(shù)脂制的插口，且能夠根據(jù)ic器件9的種類更換。構(gòu)成該部件配置部的載置部51a具備：主體部56、以及從主體部向上方突出的載置臺(tái)57。載置臺(tái)57的上表面571載置ic器件9，并進(jìn)行使ic器件9滑動(dòng)的定位，因此優(yōu)選適于滑動(dòng)的表面狀態(tài)例如鏡面加工的表面狀態(tài)。載置臺(tái)57能夠一個(gè)一個(gè)載置ic器件9。在載置部51a的主體部56以及載置臺(tái)57設(shè)置有在上表面571開(kāi)口的吸氣孔504。此外，載置臺(tái)57的形成數(shù)在本實(shí)施方式中為四個(gè)，但并不局限于此，也可以是一個(gè)、兩個(gè)、三個(gè)或者五個(gè)以上。另外，載置臺(tái)57的配置方式在本實(shí)施方式中沿著x方向配置有1列，但并不局限于此，也可以在x方向以及y方向上分別多個(gè)以行列狀配置，也可以沿著y方向配置有1列。

如圖12所示，各載置臺(tái)57從主體部56向上方突出，從而能夠容易地在其上表面571載置ic器件9。另外，在載置臺(tái)57設(shè)置有能夠與ic器件9的多個(gè)端子92電連接(能夠接觸)的多個(gè)探針(第1導(dǎo)電部件)522。各探針522經(jīng)由設(shè)置于負(fù)載板54的未圖示的布線，與控制部8電連接。

載置于各載置臺(tái)57的ic器件9的各端子92分別通過(guò)檢查機(jī)器人43a的臂單元433a的按壓以規(guī)定的檢查壓被按壓于各探針522。由此，ic器件9的各端子92與各探針522電連接(接觸)，經(jīng)由探針522進(jìn)行ic器件9的檢查。ic器件9的檢查基于存儲(chǔ)于控制部8的程序進(jìn)行。此外，各探針522也可以構(gòu)成為能夠相對(duì)于上表面571伸縮。

《控制部》

控制部8例如具有檢查控制部和驅(qū)動(dòng)控制部。檢查控制部例如基于存儲(chǔ)于未圖示的存儲(chǔ)器內(nèi)的程序，進(jìn)行配置于檢查部5a的ic器件9的電特性的檢查等。另外，驅(qū)動(dòng)控制部例如對(duì)供給部2、供給側(cè)排列部3、運(yùn)送部4a、檢查部5a、回收側(cè)排列部6以及回收部7的各部的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制，進(jìn)行ic器件9的運(yùn)送等。另外，控制部8也能夠進(jìn)行ic器件9的溫度控制。

那么，在相對(duì)于ic器件9執(zhí)行電特性的檢查的情況下，需要使ic器件9的各端子92的位置與檢查部5a的各探針522的位置正確地匹配，將ic器件9設(shè)置于載置部51a。特別是，對(duì)于小型的封裝、或多針腳結(jié)構(gòu)的ic器件9而言，各端子92間的間距極其狹窄，伴隨于此，各探針522間的間距也狹窄，因此準(zhǔn)確地進(jìn)行ic器件9的各端子92與檢查部5a的各探針522的對(duì)位更重要。當(dāng)然，若各端子92的位置與各探針522的位置錯(cuò)位，則無(wú)法進(jìn)行所希望的檢查，可判斷為經(jīng)由這樣的檢查得到的ic器件9作為產(chǎn)品的可靠性低。以下，對(duì)具有用于防止這樣的ic器件9的位置偏移的對(duì)位功能(對(duì)中心功能)的臂單元433a的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。

此外，如圖13所示那樣，對(duì)這里使用的ic器件9而言，通過(guò)例如旋轉(zhuǎn)的切割刀(圓盤(pán)狀的砂輪)db等進(jìn)行磨削(研磨)的所謂切割將供ic器件9多個(gè)并列配置的基板900割斷，從而單片化。本說(shuō)明書(shū)中，將沿著切割的槽切斷(切割)基板900稱為割斷或分割。詳細(xì)而言，在切割刀db抵接而形成的槽部918的部分被切斷(割斷)，由此能夠得到單片化的ic器件9。在本實(shí)施方式中，使用像這樣進(jìn)行了單片化的ic器件9。而且，可知在這樣被切斷(割斷)的ic器件9中，通過(guò)切割刀db被切削的槽部918的兩側(cè)的壁面(第2面)913、914形狀穩(wěn)定(形狀精度好)，但切割刀db的未達(dá)到的切斷(割斷)部分產(chǎn)生例如圖14所示那樣的突起(毛刺)919b、凹陷(凹口)919c等，形狀不穩(wěn)定(形狀精度差)。

-臂單元-

如圖12所示，臂單元433a具有：對(duì)ic器件9進(jìn)行保持、并能夠?qū)⒈３值臓顟B(tài)的ic器件9按壓于載置部51a的結(jié)構(gòu)。臂單元433a具有從上方依次配置的第1基板45、第2基板46、作為基部的支承部47d、下端部48a、作為構(gòu)成部件配置部的保持部的吸附部49、以及第1抵接部401和第2抵接部402(參照?qǐng)D17b)兩個(gè)抵接部。此外，在本實(shí)施方式中，如圖17b所示，第1抵接部401以及第2抵接部402從相互正交的兩個(gè)方向(第2方向以及第3方向)，與ic器件9的形狀穩(wěn)定的(形狀精度好)側(cè)面亦即壁面913、914(參照?qǐng)D14)抵接，并以能夠按壓的方式配置。

第1基板45承擔(dān)相對(duì)于移動(dòng)框架432(參照?qǐng)D11)對(duì)臂單元433a進(jìn)行支承等的功能。第1基板45具有成為平面狀的上表面以及下表面。另外，在第1基板45，構(gòu)成吸引流路430的一部分的貫通孔452在上下表面開(kāi)口而形成，在上表面?zhèn)扰c作為吸氣源的噴射器13連接。而且，通過(guò)噴射器13工作，使吸引流路430成為負(fù)壓狀態(tài)(真空狀態(tài))，從而能夠通過(guò)吸附部49吸附ic器件9。此外，能夠通過(guò)進(jìn)行基于噴射器13的真空破壞來(lái)解除該吸附。

第2基板46在本實(shí)施方式中由板部件構(gòu)成，并具有成為平面狀的上表面以及下表面。臂單元433a中，第1基板45的下表面與第2基板46的上表面抵接。另外，在第2基板46形成有在上表面開(kāi)口而形成的第1貫通孔463、以及與第1貫通孔463連通并在下表面開(kāi)口的第2貫通孔462，在上表面?zhèn)扰c第1基板45的貫通孔452連通。由此，第1貫通孔463以及第2貫通孔462能夠與貫通孔452共同構(gòu)成吸引流路430的一部分。

在第2基板46的上表面形成有與第1貫通孔463以及第2貫通孔462同心地形成的環(huán)狀的凹部464。環(huán)狀的襯墊434以壓縮狀態(tài)插入于該凹部464，由此，能夠維持構(gòu)成吸引流路430的一部分的第1貫通孔463以及第2貫通孔462與貫通孔452之間的氣密性。

此外，作為第1基板45以及第2基板46的構(gòu)成材料，未特別限定，例如，能夠使用各種金屬材料，它們中優(yōu)選使用鋁或鋁合金。通過(guò)使用鋁或鋁合金，能夠?qū)崿F(xiàn)臂單元433a的輕型化。

作為基部的支承部47d將吸附ic器件9的吸附部(保持部)49支承為能夠沿上下方向移動(dòng)(滑動(dòng))。支承部47d在本實(shí)施方式由成為中圓板狀的部件構(gòu)成，平面狀的上表面與第2基板46的下表面抵接。另外，支承部47d成為具有內(nèi)環(huán)473、和與該內(nèi)環(huán)473同心地配置的外環(huán)474d的構(gòu)造。

內(nèi)環(huán)473的內(nèi)腔部471在上表面?zhèn)?正z方向側(cè))與第2基板46的第2貫通孔462連通。由此，內(nèi)腔部471能夠構(gòu)成吸引流路430的一部分。此外，在該內(nèi)腔部471從下表面?zhèn)?負(fù)z方向側(cè))插入有吸附部49的一部分(上端部491)。

在內(nèi)環(huán)473以及外環(huán)474d的連接部分的上方形成有與內(nèi)環(huán)473同心地形成的環(huán)狀的凹部467。環(huán)狀的襯墊437以壓縮狀態(tài)插入于該凹部467，由此，能夠維持內(nèi)腔部471與第1貫通孔463以及第2貫通孔462之間的氣密性。

另一方面，在內(nèi)環(huán)473的外側(cè)且比外環(huán)474d更靠下方配設(shè)有作為彈性部件的螺旋彈簧438。該螺旋彈簧438在伸長(zhǎng)狀態(tài)下上端與外環(huán)474d連接，下端與吸附部49的凸緣部494連接。由此，能夠?qū)ξ讲?9朝向下方施力。另外，內(nèi)環(huán)473插入螺旋彈簧438的內(nèi)側(cè)。由此，螺旋彈簧438從內(nèi)側(cè)被支承，由此，能夠穩(wěn)定地伸縮(參照?qǐng)D12)。

下端部48a由成為環(huán)狀的部件構(gòu)成，并與支承部47d的外環(huán)474d的下表面連接。下端部48a的上表面483作為與吸附部49的凸緣部494抵接，并決定吸附部49的下方側(cè)的停止位置的抵接件(限位器)發(fā)揮功能。而且，下端部48a配置于與同ic器件9直接接觸的吸附部49不同的位置即以包圍吸附部49的方式與該吸附部49同心地配置。而且，在下端部48a的下表面482連接有作為后述的抵接部的第1抵接部401以及第2抵接部402。此外，下端部48a的下表面482是臂單元433a的除了與ic器件9接觸的吸附部49、第1抵接部401以及第2抵接部402的部分的最下表面。另外，對(duì)下端部48a而言，也可以是在臂單元433a將ic器件9按壓于載置部51a時(shí)，下表面482能夠與載置部51a抵接。

作為保持部的吸附部49是對(duì)ic器件9進(jìn)行吸附并按壓于載置部51a的部件。吸附部49成為圓筒狀，且其上端部491在“間隙配合”或者“過(guò)度配合”的狀態(tài)下嵌入支承部47d的內(nèi)環(huán)473的內(nèi)腔部471。由此，吸附部49能夠沿上下方向穩(wěn)定地移動(dòng)。

吸附部49在移動(dòng)下端的位置與ic器件9的上表面911(參照?qǐng)D14)抵接。而且，通過(guò)使吸引流路430成為負(fù)壓狀態(tài)(真空狀態(tài))，吸附部49利用吸附面493吸附ic器件9。并且，吸附部49伴隨著臂單元433a的下降而向下方移動(dòng)，將ic器件9按壓于載置部51a(載置臺(tái)57)。而且，若載置的ic器件9經(jīng)由吸附部49被朝向該載置臺(tái)57的上表面571按壓，則吸附部49受到其反作用力而抵抗螺旋彈簧438的作用力向上方移動(dòng)。螺旋彈簧438僅壓縮吸附部49的移動(dòng)量，從而能夠僅以該壓縮的量進(jìn)一步按壓ic器件9。由此，能夠使ic器件9的各端子92與同該端子92對(duì)應(yīng)的探針522接觸。按壓后的吸附部49伴隨著臂單元433a的上升而向上方移動(dòng)。而且，通過(guò)解除吸引流路430的負(fù)壓狀態(tài)(真空狀態(tài))，吸附部49解除ic器件9的吸附。此外，吸附部49的移動(dòng)下端以及移動(dòng)上端的位置能夠例如根據(jù)ic器件9的種類而改變。

對(duì)吸附部49的內(nèi)腔部492而言，一方的開(kāi)口與第2基板46的第1貫通孔463連通，另一方經(jīng)由連接孔496與吸附口497連通。由此，內(nèi)腔部492、連接孔496以及吸附口497能夠構(gòu)成吸引流路430的一部分。而且，如上述那樣，通過(guò)噴射器13工作，該吸引流路430成為負(fù)壓狀態(tài)(真空狀態(tài))，從而能夠吸附ic器件9。此時(shí)，吸附部49的吸附面493與ic器件9的主體部91的上表面911(參照?qǐng)D14)相互緊貼，通過(guò)該緊貼，使得吸引流路430被氣密地密封。由此，吸引流路430的負(fù)壓狀態(tài)被維持，因此，能夠防止ic器件9從吸附部49脫落。

在吸附部49的外周部形成有由外徑擴(kuò)徑了的擴(kuò)徑部構(gòu)成的凸緣部494。該凸緣部494的上表面作為連接螺旋彈簧438的下端的彈簧座發(fā)揮功能。另外，凸緣部494的下表面具有作為在吸附部49向下方移動(dòng)時(shí)，與下端部48a抵接，使吸附部49的移動(dòng)停止的限位器(抵接件)的功能。

在嵌入于支承部47d的內(nèi)環(huán)473的內(nèi)腔部471的吸附部49的上端部491形成有與上端部491同心地形成的環(huán)狀的凹部495。環(huán)狀的襯墊439以壓縮狀態(tài)插入于該凹部495。襯墊439具有彈性，由此，能夠抑制吸附部49與內(nèi)環(huán)473(內(nèi)腔部471)接觸的接觸面積，因此，可減少滑動(dòng)阻力，吸附部49能夠在內(nèi)環(huán)473內(nèi)順利地移動(dòng)。另外，通過(guò)襯墊439，吸附部49在移動(dòng)(滑動(dòng))中，也能夠維持吸引流路430的氣密性。

作為與下端部48a的下表面482連接的抵接部的第1抵接部401以及第2抵接部402具有進(jìn)行載置于載置部51a(載置臺(tái)57)的ic器件9的對(duì)位(對(duì)中心)的功能。如圖17b所示，配置為第1抵接部401能夠從沿著x軸方向的第2方向抵接并按壓于作為ic器件9的第2面的壁面913，第2抵接部402能夠從沿著y軸方向的第3方向抵接并按壓于作為ic器件9的第2面的壁面914。這樣，使第1抵接部401以及第2抵接部402與作為ic器件9的第2面的壁面913、914抵接，因此第1抵接部401以及第2抵接部402的后述的抵接面403f、404f例如圖12所示配設(shè)在與ic器件9的上方(正z方向)對(duì)置的位置。

如圖12以及圖17b所示，第1抵接部401以及第2抵接部402具備：厚壁部405、406、以及從厚壁部405、406的下側(cè)延伸配置的薄壁部403、404。而且，對(duì)第1抵接部401以及第2抵接部402而言，厚壁部405、406的上表面與下端部48a的下表面482連接。薄壁部403、404作為其前端部的端面，具有設(shè)置為平面狀的抵接面403f、404f。抵接面403f、404f配置為能夠與作為ic器件9的第2面的壁面913、914抵接。而且，該抵接面403f、404f與作為ic器件9的第2面的壁面913、914抵接，進(jìn)行ic器件9的定位(對(duì)中心)。此外，優(yōu)選抵接面403f、404f的表面是例如鏡面加工等無(wú)凹凸的平滑的表面狀態(tài)。

這樣，通過(guò)使例如進(jìn)行了鏡面加工的面狀的抵接面403f、404f抵接并按壓于ic器件9的壁面913、914，使得ic器件9容易隨著抵接面403f、404f而滑動(dòng)，能夠容易地修正將作為第1面的ic器件9的上表面911(參照?qǐng)D14)成為正面時(shí)的俯視的旋轉(zhuǎn)方向的偏離(傾斜)，從而能夠準(zhǔn)確地進(jìn)行定位(對(duì)中心)。

作為上述的支承部(基部)47、下端部48a以及吸附部(保持部)49的構(gòu)成材料，未特別限定，例如能夠使用各種金屬材料，其中優(yōu)選使用碳鋼，其他也可以是鋁、銅等。碳鋼強(qiáng)度穩(wěn)定，并且耐磨性良好從而優(yōu)選。

此外，對(duì)具有下端部48a的部分(以下稱為“前者”)、下端部48a抵接的部分(以下稱為“后者”)而言，在本實(shí)施方式中，前者是檢查機(jī)器人43a的臂單元433a，后者是檢查部5a的載置部51a，但不限定于此。例如，也可以前者是供給機(jī)器人42的臂單元423，后者是往復(fù)裝置41，也可以前者是檢查機(jī)器人43a的臂單元433a，后者是往復(fù)裝置41。

-定位動(dòng)作-

以下，參照?qǐng)D15a～圖15c、圖16a～圖16c以及圖17a～圖17c，對(duì)第4實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的電子部件(ic器件9)的定位動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。圖15a是表示從y軸方向觀察時(shí)的被保持于偏移位置的作為電子部件的ic器件9的剖視圖。圖15b是表示使一方的抵接部(第1抵接部401)與被保持于偏移位置的ic器件9對(duì)峙的狀態(tài)的剖視圖(y軸方向觀察)。圖15c是表示通過(guò)一方的抵接部(第1抵接部401)而定位的ic器件9的剖視圖(y軸方向觀察)。圖16a是表示從x軸方向觀察時(shí)的被保持于偏移位置的作為電子部件的ic器件9的剖視圖。圖16b是表示使另一方的抵接部(第2抵接部402)與被保持于偏移位置的ic器件9對(duì)峙的狀態(tài)的剖視圖(x軸方向觀察)。圖16c是表示通過(guò)另一方的抵接部(第2抵接部402)定位的ic器件9的剖視圖(x軸方向觀察)。圖17a是表示從z軸方向觀察時(shí)(沿圖12的a-a線觀察)的被保持于偏移位置的作為電子部件的ic器件的俯視圖。圖17b是表示使抵接部(第1抵接部401以及第2抵接部402)與被保持于偏移位置的ic器件對(duì)峙的狀態(tài)的俯視圖(z軸方向觀察)。圖17c是表示通過(guò)抵接部(第1抵接部401以及第2抵接部402)定位的ic器件9的俯視圖(z軸方向觀察)。

首先，參照?qǐng)D15a、圖15b、圖15c、以及圖17a、圖17b、圖17c對(duì)從沿著x軸方向的第2方向與ic器件9的壁面913抵接的第1抵接部401的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。

如圖15a以及圖17a所示，ic器件9使作為第1面的下表面912朝向載置部51a的載置臺(tái)57的上表面571而載置。此外，ic器件9通過(guò)載置部51a的成為負(fù)壓的吸氣孔504被吸附并保持于載置臺(tái)57。這樣，若通過(guò)吸附來(lái)保持ic器件9，則能夠容易地變更吸附力，從而能夠通過(guò)按壓使ic器件9的位置容易移動(dòng)(滑動(dòng))。

此外，此時(shí)，ic器件9在第1抵接部401所配置的方向上(參照?qǐng)D15b)具有規(guī)定的偏移(預(yù)先錯(cuò)開(kāi)位置)而被保持。具體而言在本實(shí)施方式中，第1抵接部401位于負(fù)x方向，因此ic器件9以使ic器件9的中心位置相對(duì)于載置臺(tái)57的中心位置位于負(fù)x方向的方式偏移地配置。

接下來(lái)，如圖15b以及圖17b所示，使臂單元433a(參照?qǐng)D12)朝向ic器件9而向下方移動(dòng)，從而使吸附部(保持部)49在靠近ic器件9的上表面911的z方向上的規(guī)定的位置停止。這里的z方向的規(guī)定的位置是第1抵接部401的抵接面403f與ic器件9的壁面913對(duì)置的位置。此時(shí)，臂單元433a(參照?qǐng)D12)下降至在第1抵接部401的抵接面403f與ic器件9的壁面913之間設(shè)置了空間的位置。因此，吸附部(保持部)49的中心位置以與ic器件9同樣相對(duì)于載置臺(tái)57的中心位置位于負(fù)x方向的方式偏移地配置。

另外，通過(guò)使臂單元433a(參照?qǐng)D12)與載置部51a在沿著x方向的方向上(第2方向)相對(duì)移動(dòng)，從而第1抵接部401的抵接面403f抵接并按壓于ic器件9的壁面913。在本實(shí)施方式中，如圖15c以及圖17c所示，臂單元433a(參照?qǐng)D12)相對(duì)于固定的載置部51a而向圖中的箭頭m11的方向移動(dòng)，由此第1抵接部401的抵接面403f抵接并按壓于ic器件9的壁面913。由此，使ic器件9在載置臺(tái)57上滑動(dòng)(移動(dòng))至規(guī)定的位置，例如ic器件9的中心位置與吸附部(保持部)49的中心位置大致重疊的位置，進(jìn)行對(duì)位(對(duì)中心)。換言之，ic器件9的下表面912(第1面)在載置臺(tái)57上滑動(dòng)。

接下來(lái)，參照?qǐng)D16a、圖16b、圖16c以及圖17a、圖17b、圖17c對(duì)從沿著y軸方向的第3方向與ic器件9的壁面914抵接的第2抵接部402的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。

如圖16a以及圖17a所示，ic器件9與上述的圖15a同樣被吸附保持于載置臺(tái)57。此時(shí)，ic器件9在第2抵接部402所配置的方向上(參照?qǐng)D16b)具有規(guī)定的偏移(預(yù)先錯(cuò)開(kāi)位置)而被保持。具體而言在本實(shí)施方式中，第2抵接部402位于正y方向上，因此ic器件9以使ic器件9的中心位置相對(duì)于載置臺(tái)57的中心位置而位于正y方向上的方式偏移地配置。

接下來(lái)，如圖16b以及圖17b所示，使臂單元433a(參照?qǐng)D12)朝向ic器件9向下方移動(dòng)，使吸附部(保持部)49在接近ic器件9的上表面911的z方向的規(guī)定的位置停止。這里的z方向的規(guī)定的位置是第2抵接部402的抵接面404f與ic器件9的壁面914對(duì)置的位置。此時(shí)，臂單元433a(參照?qǐng)D12)下降至在第2抵接部402的抵接面404f與ic器件9的壁面914之間設(shè)置了空間的位置。因此，吸附部(保持部)49的中心位置以相對(duì)于載置臺(tái)57的中心位置而與ic器件9相同位于正y方向的方式偏移地配置。

另外，通過(guò)使臂單元433a(參照?qǐng)D12)與載置部51a在沿著y方向的方向上(第3方向)相對(duì)移動(dòng)，使得第2抵接部402的抵接面404f抵接、按壓于ic器件9的壁面914。在本實(shí)施方式中，如圖16c以及圖17c所示，臂單元433a(參照?qǐng)D12)相對(duì)于固定的載置部51a向圖中的箭頭m12的方向移動(dòng)，由此第2抵接部402的抵接面404f抵接并按壓于ic器件9的壁面914。由此，使ic器件9滑動(dòng)(移動(dòng))至載置臺(tái)57上規(guī)定的位置例如ic器件9的中心位置與吸附部(保持部)49的中心位置大致重疊的位置，進(jìn)行對(duì)位(對(duì)中心)。換言之，ic器件9的下表面912(第1面)在載置臺(tái)57上滑動(dòng)。

優(yōu)選被保持于載置部51a(載置臺(tái)57)的ic器件9的吸附力小于基于抵接部(第1抵接部401以及第2抵接部402)的按壓力。此外，被保持于載置部51a的ic器件9的吸附力也能夠稱為抵接部(第1抵接部401以及第2抵接部402)的按壓的按壓方向上的ic器件9的下表面912(第1面)相對(duì)于載置部51a的摩擦力。這樣，則通過(guò)抵接部(第1抵接部401以及第2抵接部402)的按壓能夠容易地使ic器件9移動(dòng)，并且能夠容易地進(jìn)行ic器件9的定位(對(duì)中心)。

另外，ic器件9在從使作為第1面的上表面911成為正面時(shí)(與上表面911正對(duì))的方向的俯視中，在旋轉(zhuǎn)方向上偏離那樣的情況下，能夠修正位置。詳細(xì)而言，通過(guò)使第1抵接部401以及第2抵接部402抵接并按壓于ic器件9的壁面913、914，從而ic器件9的角部隨著各自的抵接面403f、404f滑動(dòng)，成為壁面913、914沿著抵接面403f、404f而抵接的狀態(tài)從而能夠成為無(wú)旋轉(zhuǎn)偏離的狀態(tài)。

另外，上述中，臂單元433a(參照?qǐng)D12)相對(duì)于固定的載置部51a向圖中的箭頭m11、箭頭m12的方向移動(dòng)，由此第1抵接部401或者第2抵接部402移動(dòng)而按壓ic器件9，但不局限于此。如圖17b所示那樣，使載置于載置部51a的ic器件9相對(duì)于沿x方向、y方向不移動(dòng)的臂單元433a(參照?qǐng)D12)向箭頭m13、箭頭m14的方向移動(dòng)，由此能夠按壓ic器件9。即，載置于載置部51a的ic器件9相對(duì)于沿x方向、y方向不移動(dòng)的第1抵接部401以及第2抵接部402相對(duì)地移動(dòng)，由此ic器件9的壁面913、914抵接、按壓于抵接面403f、404f。由此，使ic器件9滑動(dòng)(移動(dòng))至載置臺(tái)57上規(guī)定的位置例如ic器件9的中心位置與吸附部(保持部)49的中心位置大致重疊的位置，從而能夠進(jìn)行對(duì)位(對(duì)中心)。

另外，如參照?qǐng)D17b說(shuō)明的那樣，第1抵接部401以及第2抵接部402配置為能夠從相互正交的兩個(gè)方向(第2方向以及第3方向)，抵接并按壓于ic器件9的壁面913、914。

這樣，多個(gè)配置的抵接部(第1抵接部401以及第2抵接部402)，從多個(gè)方向(第2方向、以及與第2方向正交的第3方向)按壓壁面913、914，因此能夠容易且更可靠地修正(對(duì)中心)ic器件9的旋轉(zhuǎn)方向的偏移(使上表面911成為正面時(shí)的俯視中的傾斜)、沿著多個(gè)方向(第2方向、以及與第2方向正交的第3方向)的位置偏移。

另外，對(duì)第1抵接部401沿第2方向的移動(dòng)、以及第2抵接部402沿第3方向的移動(dòng)而言，可以使任一方先行移動(dòng)，也可以使雙方同時(shí)沿第2方向以及第3方向移動(dòng)。

根據(jù)上述的第4實(shí)施方式的檢查裝置(電子部件檢查裝置)1，在構(gòu)成部件配置部的載置部51a的載置臺(tái)57的上表面571，抵接部(第1抵接部401以及第2抵接部402)與被吸附而保持的第1面(下表面912)抵接而配置的ic器件9的、與第1面(下表面912)交叉的第2面亦即沿著槽部918而割斷(分割)的ic器件9的壁面913、914抵接，從而能夠進(jìn)行ic器件9的定位(例如，對(duì)中心)。由基于使ic器件9單片化時(shí)設(shè)置的槽部918而產(chǎn)生的壁面913、914例如通過(guò)切割裝置等形成，因此相對(duì)于該ic器件9的位置精度高，并且沒(méi)有例如折斷時(shí)的突起919b、凹陷919c(參照?qǐng)D14)等異形部的殘留，面狀態(tài)平整。因此，通過(guò)抵接部(第1抵接部401以及第2抵接部402)與ic器件9的壁面(第2面)913、914抵接的簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)，能夠容易地進(jìn)行ic器件9的定位(對(duì)中心)。

另外，通過(guò)作為構(gòu)成部件配置部的保持部的吸附部49與載置部51a(載置臺(tái)57)的相對(duì)移動(dòng)，將ic器件9按壓于抵接部(第1抵接部401以及第2抵接部402)。這樣，通過(guò)基于抵接部(第1抵接部401以及第2抵接部402)的按壓的簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)能夠使通過(guò)吸附被保持為能夠移動(dòng)的ic器件9的位置移動(dòng)，從而能夠容易地進(jìn)行定位(對(duì)中心)。

＜第5實(shí)施方式＞

接下來(lái)，參照?qǐng)D18對(duì)本發(fā)明的第5實(shí)施方式的電子部件檢查裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖18是表示本發(fā)明的第5實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的運(yùn)送部(臂單元以及往復(fù)裝置)的剖視圖(垂直剖視圖)。

此外，將圖18的附圖上的上側(cè)稱為“上”或者“上方”，將下側(cè)稱為“下”或者“下方”(其他的實(shí)施方式的圖也相同)。另外，圖18中，圖示出運(yùn)送部的多個(gè)臂單元中的一個(gè)、以及與該臂單元對(duì)應(yīng)的往復(fù)裝置的結(jié)構(gòu)。

以下，參照該圖18對(duì)本發(fā)明的電子部件運(yùn)送裝置以及電子部件檢查裝置的第5實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明，以與上述的第4實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，對(duì)相同的事項(xiàng)標(biāo)注同附圖標(biāo)記，省略其說(shuō)明。

作為本第5實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的檢查裝置1b除了與上述的第4實(shí)施方式的抵接部(第1抵接部401以及第2抵接部402)相當(dāng)?shù)牡纸硬?第5實(shí)施方式中第1抵接部401b以及第2抵接部402b)的結(jié)構(gòu)以及配置位置不同以外，其他與第4實(shí)施方式的檢查裝置1a相同。具體而言，在上述的第4實(shí)施方式中，抵接部(第1抵接部401以及第2抵接部402)與下端部48a的下表面482連接，但在本實(shí)施方式中，如圖18所示，抵接部(第1抵接部401b以及第2抵接部402b)與構(gòu)成運(yùn)送部4b的往復(fù)裝置41連接。以下，以與往復(fù)裝置41以及往復(fù)裝置41連接的抵接部(第1抵接部401b以及第2抵接部402b)的結(jié)構(gòu)為中心進(jìn)行說(shuō)明。

本實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的下端部48b未連接有上述的第4實(shí)施方式中說(shuō)明的那樣的抵接部(第1抵接部401以及第2抵接部402)。另外，下端部48b的上表面483與下表面482的z方向上的長(zhǎng)度小于下端部48a的上表面483與下表面482的z方向上的長(zhǎng)度。除此之外的本實(shí)施方式的下端部48b的結(jié)構(gòu)與第4實(shí)施方式的下端部48a相同。因此，對(duì)于下端部48b省略說(shuō)明。

往復(fù)裝置41與圖11所示的第4實(shí)施方式相同，將載置工作臺(tái)341上的ic器件9運(yùn)送至檢查部5a的附近，因此進(jìn)一步將在檢查部5a檢查完畢的ic器件9運(yùn)送至回收側(cè)排列部6的附近。在往復(fù)裝置41沿x方向并列地形成有用于收納ic器件9的四個(gè)凹處411。另外，往復(fù)裝置41通過(guò)直線運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)件被引導(dǎo)，通過(guò)直線電動(dòng)機(jī)等驅(qū)動(dòng)源能夠在x方向上往復(fù)移動(dòng)。此外，凹處411的形成數(shù)在本實(shí)施方式中為四個(gè)，但不局限于此，也可以是一個(gè)、兩個(gè)、三個(gè)或者五個(gè)以上。另外，凹處411的配置方式在本實(shí)施方式中沿著x方向配置有1列，但不局限于此，也可以在x方向以及y方向上分別以行列狀配置有多個(gè)，也可以沿著y方向配置有1列。

如圖18所示，對(duì)凹處411而言，設(shè)置有從往復(fù)裝置41的上表面挖入為凹狀并傾斜的側(cè)壁部的斜坡?tīng)畹拈_(kāi)口413、設(shè)置于開(kāi)口413的底部的ic器件9的載置部414、以及在開(kāi)口413的底部設(shè)置為凹狀的用于避免與ic器件9的端子92的抵接的退讓部412。對(duì)凹處411而言，通過(guò)斜坡?tīng)畹拈_(kāi)口413使ic器件9的進(jìn)出變得容易。

在往復(fù)裝置41的上表面418配設(shè)有第1抵接部401b以及第2抵接部402b兩個(gè)抵接部。此外，本實(shí)施方式中，第1抵接部401b以及第2抵接部402b配置為能夠從相互正交的兩個(gè)方向(第2方向以及第3方向)，抵接并按壓于ic器件9的壁面913、914(參照?qǐng)D17a、圖17b、圖17c)。

作為與往復(fù)裝置41的上表面418連接的抵接部的第1抵接部401b以及第2抵接部402b具有進(jìn)行從凹處411被吸附并保持于吸附部49的ic器件9的對(duì)位(對(duì)中心)的功能。與參照?qǐng)D17b進(jìn)行說(shuō)明的第4實(shí)施方式相同，進(jìn)行通過(guò)吸附部49吸附了作為第1面的上表面911的ic器件9的對(duì)位(對(duì)中心)。而且，第1抵接部401b配置為能夠從沿著x軸方向的第2方向抵接并按壓于作為ic器件9的第2面的壁面913，第2抵接部402b配置為能夠從沿著y軸方向的第3方向抵接并按壓于作為ic器件9的第2面的壁面914。

如圖18、后述的圖19a以及圖20a所示，第1抵接部401b以及第2抵接部402b具備厚壁部405b、406b、以及從厚壁部405b、406b的上側(cè)(臂單元433b側(cè))延伸配置的薄壁部403b、404b。而且，對(duì)第1抵接部401b以及第2抵接部402b而言，厚壁部405b、406b的下表面與往復(fù)裝置41的上表面418連接。對(duì)薄壁部403b、404b而言，作為其前端部的端面，具有設(shè)置為平面狀的抵接面403bf、404bf。抵接面403bf、404bf配置為能夠與作為ic器件9的第2面的壁面913、914抵接。而且，該抵接面403bf、404bf與作為ic器件9的第2面的壁面913、914抵接，進(jìn)行ic器件9的定位(對(duì)中心)。此外，優(yōu)選抵接面403bf、404bf的表面與第4實(shí)施方式相同，例如為鏡面加工等無(wú)凹凸的平滑的表面狀態(tài)。

-定位動(dòng)作-

以下，參照?qǐng)D19a～圖19c以及圖20a～圖20c，對(duì)第5實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的電子部件(ic器件9)的定位動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。圖19a是表示從y軸方向觀察時(shí)的被保持于偏移位置的作為電子部件的ic器件9的剖視圖。圖19b是表示使一方的抵接部(第1抵接部401b)與被保持于偏移位置的ic器件9對(duì)峙的狀態(tài)的剖視圖(y軸方向觀察)。圖19c是表示通過(guò)一方的抵接部(第1抵接部401b)定位的ic器件9的剖視圖(y軸方向觀察)。圖20a是表示從x軸方向觀察時(shí)的作為被保持于偏移位置的電子部件的ic器件9的剖視圖。圖20b是表示使另一方的抵接部(第2抵接部402b)與被保持于偏移位置的ic器件9對(duì)峙的狀態(tài)的剖視圖(x軸方向觀察)。圖20c是表示通過(guò)另一方的抵接部(第2抵接部402b)定位的ic器件9的剖視圖(x軸方向觀察)。

首先，參照?qǐng)D19a、圖19b、圖19c對(duì)從沿著x軸方向的第2方向與ic器件9的壁面913抵接的第1抵接部401b的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。

如圖19a所示，臂單元433b的吸附部49與作為載置于往復(fù)裝置41的凹處411的ic器件9的第1面的上表面911抵接。此時(shí)，ic器件9在第1抵接部401b所配置的方向上具有規(guī)定的偏移(預(yù)先錯(cuò)開(kāi)位置)而存在。具體而言，在本實(shí)施方式中，第1抵接部401b位于負(fù)x方向，因此ic器件9以ic器件9的中心位置相對(duì)于作為保持部的吸附部49的中心位置而位于負(fù)x方向的方式偏移地配置。

接下來(lái)，如圖19b所示，通過(guò)吸附來(lái)保持ic器件9的吸附部49(臂單元433b：參照?qǐng)D18)向上方(圖中箭頭h1所示的方向)移動(dòng)至規(guī)定位置。此時(shí)，ic器件9以ic器件9的中心位置相對(duì)于作為保持部的吸附部49的中心位置而位于負(fù)x方向的方式偏移地被保持(吸附)。此外，上述的規(guī)定位置是指第1抵接部401b的抵接面403bf與ic器件9的壁面913對(duì)置的位置。另外，在第1抵接部401b的抵接面403bf與ic器件9的壁面913之間設(shè)置有空間。

另外，通過(guò)使吸附部49(臂單元433b)與往復(fù)裝置41在沿著x方向的方向上(第2方向)相對(duì)移動(dòng)，從而第1抵接部401b的抵接面403bf抵接并按壓于ic器件9的壁面913。在本實(shí)施方式中，如圖19c所示，往復(fù)裝置41相對(duì)于固定的吸附部49向圖中的箭頭m11的方向移動(dòng)，由此第1抵接部401b的抵接面403bf抵接并按壓于ic器件9的壁面913。由此，使被保持于吸附部49的狀態(tài)的ic器件9滑動(dòng)(移動(dòng))至規(guī)定的位置例如ic器件9的中心位置與吸附部(保持部)49的中心位置大致重疊的位置，進(jìn)行對(duì)位(對(duì)中心)。

接下來(lái)，參照?qǐng)D20a、圖20b以及圖20c對(duì)從沿著y軸方向的第3方向與ic器件9的壁面914抵接的第2抵接部402b的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。

如圖20a所示，臂單元433b的吸附部49與上述的圖19a相同，與作為載置于往復(fù)裝置41的凹處411的ic器件9的第1面的上表面911抵接。此時(shí)，ic器件9在第2抵接部402b所配置的方向上具有規(guī)定的偏移(預(yù)先錯(cuò)開(kāi)位置)而存在。具體而言，在本實(shí)施方式中，第2抵接部402b位于正y方向，因此ic器件9以ic器件9的中心位置相對(duì)于作為保持部的吸附部49的中心位置位于正y方向的方式偏移地配置。

接下來(lái)，如圖20b所示，通過(guò)吸附來(lái)保持ic器件9的吸附部49(臂單元433b)向上方(圖中箭頭h1所示的方向)移動(dòng)至規(guī)定位置。此時(shí)，ic器件9以ic器件9的中心位置相對(duì)于作為保持部的吸附部49的中心位置而位于正y方向的方式偏移地被保持(吸附)。此外，上述的規(guī)定位置是指第2抵接部402b的抵接面404bf與ic器件9的壁面914對(duì)置的位置。另外，在第2抵接部402b的抵接面404bf與ic器件9的壁面914之間設(shè)置有空間。

另外，通過(guò)使吸附部49與往復(fù)裝置41沿著y方向方向(第3方向)相對(duì)移動(dòng)，第2抵接部402b的抵接面404bf抵接按壓于ic器件9的壁面914。在本實(shí)施方式中，如圖20c所示，往復(fù)裝置41相對(duì)于固定的吸附部49向圖中的箭頭m12的方向移動(dòng)，由此第2抵接部402b的抵接面404bf抵接并按壓于ic器件9的壁面914。由此，使被保持于吸附部49的狀態(tài)的ic器件9滑動(dòng)(移動(dòng))至規(guī)定的位置例如ic器件9的中心位置與吸附部(保持部)49的中心位置大致重疊的位置，進(jìn)行對(duì)位(對(duì)中心)。

此外，ic器件9通過(guò)成為了負(fù)壓的吸引流路430被吸附部(保持部)49吸附并保持。這樣，若通過(guò)吸附來(lái)保持ic器件9，則能夠容易地變更吸附力，通過(guò)基于來(lái)自x方向以及y方向的抵接部(第1抵接部401b以及第2抵接部402b)的按壓能夠容易地使ic器件9的位置移動(dòng)。

另外，優(yōu)選被保持于吸附部49的ic器件9的吸附力小于基于抵接部(第1抵接部401b以及第2抵接部402b)的按壓力。此外，被保持于吸附部49的ic器件9的吸附力也能夠稱為ic器件9的上表面911(第1面)相對(duì)于吸附部49在抵接部(第1抵接部401b以及第2抵接部402b)所按壓的按壓方向上的摩擦力。這樣，通過(guò)抵接部(第1抵接部401b以及第2抵接部402b)的按壓能夠容易地使ic器件9移動(dòng)，從而能夠容易地進(jìn)行ic器件9的定位(對(duì)中心)。

另外，在本第5實(shí)施方式中，ic器件9在從使第1面(上表面911)成為正面的方向的俯視中，在旋轉(zhuǎn)方向上偏移那樣的情況下也能夠修正位置。詳細(xì)而言，通過(guò)使第1抵接部401b以及第2抵接部402b抵接并按壓于ic器件9的壁面913、914，由此ic器件9的角部隨著各個(gè)抵接面403bf、404bf滑動(dòng)，成為壁面913、914沿著抵接面403bf、404bf而抵接的狀態(tài)，從而能夠成為無(wú)旋轉(zhuǎn)偏移的狀態(tài)。

另外，上述中，往復(fù)裝置41相對(duì)于在x方向、y方向固定的吸附部49向圖中的箭頭m11、箭頭m12的方向移動(dòng)，由此第1抵接部401b或者第2抵接部402b移動(dòng)而按壓ic器件9，但不局限于此。例如，能夠使吸附部49即被保持于吸附部49的ic器件9相對(duì)于沿x方向、y方向不移動(dòng)的往復(fù)裝置41沿x方向、y方向移動(dòng)，由此能夠按壓ic器件9。換句話說(shuō)，被保持于吸附部49的ic器件9相對(duì)于沿x方向、y方向不移動(dòng)的第1抵接部401b以及第2抵接部402b移動(dòng)，由此ic器件9的壁面913、914抵接并按壓于抵接面403bf、404bf。由此，使ic器件9在被保持于吸附部49的狀態(tài)下滑動(dòng)(移動(dòng))至規(guī)定的位置，從而能夠進(jìn)行對(duì)位(對(duì)中心)。

另外，對(duì)第1抵接部401b朝第2方向的移動(dòng)以及第2抵接部402b朝第3方向的移動(dòng)而言，可以使任一方先行移動(dòng)，也可以使雙方同時(shí)沿第2方向以及第3方向移動(dòng)。

根據(jù)上述的第5實(shí)施方式的檢查裝置(電子部件檢查裝置)1b，抵接部(第1抵接部401b以及第2抵接部402b)能夠與ic器件9中的與第1面(上表面911)交叉的第2面亦即沿著槽部918被割斷(分割)的ic器件9的壁面913、914抵接，進(jìn)行ic器件9的定位(例如，對(duì)中心)，其中，上述ic器件9配置為第1面(上表面911)與作為構(gòu)成部件配置部的保持部的吸附部49抵接。

另外，通過(guò)作為構(gòu)成部件配置部的保持部的吸附部49與往復(fù)裝置41的相對(duì)移動(dòng)，ic器件9被按壓于抵接部(第1抵接部401b以及第2抵接部402b)。這樣，通過(guò)基于抵接部(第1抵接部401b以及第2抵接部402b)的按壓的簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)能夠使通過(guò)吸附被保持為能夠移動(dòng)的ic器件9的位置移動(dòng)，從而能夠容易地進(jìn)行定位(對(duì)中心)。

這樣，根據(jù)上述的第5實(shí)施方式的檢查裝置(電子部件檢查裝置)1b，具有與第4實(shí)施方式的檢查裝置(電子部件檢查裝置)1相同的效果。

＜第6實(shí)施方式＞

接下來(lái)，參照?qǐng)D21對(duì)本發(fā)明的第6實(shí)施方式的電子部件檢查裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖21是表示本發(fā)明的第6實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的概要的配置圖。

作為第6實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的檢查裝置1c具有供給部2、供給側(cè)排列部3、運(yùn)送部4c、檢查部5a、回收側(cè)排列部6、回收部7、以及進(jìn)行這些各部的控制的控制部8。

另外，檢查裝置1c具有：配置供給部2、供給側(cè)排列部3、運(yùn)送部4c、檢查部5a、回收側(cè)排列部6以及回收部7的基座11、以及以收納供給側(cè)排列部3、運(yùn)送部4c、檢查部5a以及回收側(cè)排列部6的方式覆蓋于基座11的罩12。

此外，作為基座11的上表面的基座面111幾乎成為水平，在該基座面111配置有供給側(cè)排列部3、運(yùn)送部4c、檢查部5a、回收側(cè)排列部6的構(gòu)成部件。另外，在檢查裝置1c中，通過(guò)除了檢查部5a的結(jié)構(gòu)，即通過(guò)供給部2、供給側(cè)排列部3、運(yùn)送部4c、回收側(cè)排列部6、回收部7以及控制部8的一部分等構(gòu)成運(yùn)送裝置(電子部件運(yùn)送裝置)10c。運(yùn)送裝置10c進(jìn)行ic器件9的運(yùn)送等。

作為第6實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的檢查裝置1c具有在第4實(shí)施方式的運(yùn)送部4增加了位置檢測(cè)部105的運(yùn)送部4c的情況與第4實(shí)施方式的檢查裝置1a不同。以下，以與上述的第4實(shí)施方式的不同點(diǎn)亦即部件位置檢測(cè)部105的結(jié)構(gòu)為中心進(jìn)行說(shuō)明，對(duì)相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同附圖標(biāo)記，省略其說(shuō)明。

運(yùn)送部4c所具備的部件位置檢測(cè)部105具備：基于例如從攝像機(jī)等得到的圖像信息(位置信息)來(lái)控制上述的抵接部(第1抵接部401、401b以及第2抵接部402、402b)的移動(dòng)等視覺(jué)定位機(jī)構(gòu)。

本實(shí)施方式的部件位置檢測(cè)部105對(duì)于進(jìn)行基于上述的第4實(shí)施方式的抵接部(第1抵接部401以及第2抵接部402)的定位(對(duì)中心)前的被保持(吸附)于載置部51a(載置臺(tái)57)的ic器件9的保持位置進(jìn)行檢測(cè)。部件位置檢測(cè)部105包括攝像機(jī)，能夠得到ic器件9的保持位置作為圖像信息。

此外，本第6實(shí)施方式的部件位置檢測(cè)部105也能夠?qū)M(jìn)行基于上述的第5實(shí)施方式的抵接部(第1抵接部401b以及第2抵接部402b)的定位(對(duì)中心)前的被保持(吸附)于吸附部49的ic器件9的保持位置進(jìn)行檢測(cè)。

檢測(cè)出的ic器件9的保持位置的信息通過(guò)控制部8來(lái)處理，例如決定使第1抵接部401、401b以及第2抵接部402、402b中的哪一個(gè)先移動(dòng)而與ic器件9的壁面913、914抵接，使運(yùn)送部4c動(dòng)作。此外，控制部8例如基于ic器件9的偏離量的大小、傾斜量(旋轉(zhuǎn)方向的偏離量)等，判斷第1抵接部401、401b以及第2抵接部402、402b中的哪一個(gè)先移動(dòng)能夠更高效且正確地定位(對(duì)中心)。另外，控制部8基于檢測(cè)出的ic器件9的保持位置的信息，能夠控制第1抵接部401、401b以及第2抵接部402、402b的移動(dòng)速度、移動(dòng)量等。

這樣，除了上述的第4實(shí)施方式以及第5實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)之外，通過(guò)使用具有本第6實(shí)施方式說(shuō)明的部件位置檢測(cè)部105的結(jié)構(gòu)，能夠進(jìn)一步高效地進(jìn)行正確的定位(對(duì)中心)。

以上，針對(duì)圖示的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明的電子部件運(yùn)送裝置以及電子部件檢查裝置進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明不限定于此，構(gòu)成電子部件運(yùn)送裝置以及電子部件檢查裝置的各部能夠與發(fā)揮相同的功能的任意的結(jié)構(gòu)置換。另外，也可以附加有任意的構(gòu)成物。

另外，本發(fā)明的電子部件運(yùn)送裝置以及電子部件檢查裝置也可以將上述各實(shí)施方式中的任意的兩個(gè)以上的結(jié)構(gòu)(特征)組合。