1.一種搬運(yùn)裝置，用于搬運(yùn)掩模板盒子內(nèi)的掩模板，其特征在于，包括：
承載平臺(tái)，所述承載平臺(tái)用于承載掩模板盒子，所述掩模板盒子內(nèi)放置有掩模板；
搬運(yùn)小車(chē)，所述搬運(yùn)小車(chē)包括小車(chē)主體以及設(shè)置于所述小車(chē)主體上的機(jī)械手組件，所述機(jī)械手組件用于抓取并夾持所述掩模板盒子內(nèi)的掩模板，所述小車(chē)主體用于帶動(dòng)所述機(jī)械手組件移動(dòng)，以將夾持于所述機(jī)械手組件上的掩模板運(yùn)輸至目的地。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述機(jī)械手組件包括抓取結(jié)構(gòu)和移動(dòng)裝置，所述抓取結(jié)構(gòu)用于抓取所述掩模板盒子內(nèi)的掩模板，所述移動(dòng)裝置用于帶動(dòng)所述抓取結(jié)構(gòu)移動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述抓取結(jié)構(gòu)包括第一機(jī)械爪、第二機(jī)械爪以及驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一機(jī)械爪和所述第二機(jī)械爪相對(duì)設(shè)置，所述驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)所述第一機(jī)械爪和所述第二機(jī)械爪向互相靠近或互相遠(yuǎn)離的方向移動(dòng)，以?shī)A緊或松開(kāi)所述掩模板。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括第一驅(qū)動(dòng)件、第一水平導(dǎo)軌、以及設(shè)置于所述第一水平導(dǎo)軌內(nèi)的雙向絲杠，所述雙向絲杠包括左旋螺紋段和右旋螺紋段，所述左旋螺紋段上配合設(shè)有第一螺母，所述右旋螺紋段上配合設(shè)有第二螺母，所述第一螺母和所述第二螺母均與所述第一水平導(dǎo)軌滑動(dòng)連接，且所述第一螺母與所述第一機(jī)械爪固定連接，所述第二螺母與所述第二機(jī)械爪固定連接，所述第一驅(qū)動(dòng)件用于驅(qū)動(dòng)所述雙向絲杠旋轉(zhuǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述移動(dòng)裝置包括豎直移動(dòng)裝置和水平移動(dòng)裝置，所述豎直移動(dòng)裝置與所述抓取結(jié)構(gòu)相連，所述豎直移動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)所述抓取結(jié)構(gòu)沿豎直方向移動(dòng)，所述水平移動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)所述抓取結(jié)構(gòu)和所述豎直移動(dòng)裝置沿水平方向移動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述豎直移動(dòng)裝置包括第二驅(qū)動(dòng)件、豎直導(dǎo)軌、設(shè)置于所述豎直導(dǎo)軌內(nèi)的豎直絲杠、以及與所述豎直絲杠配合的第三螺母，所述第三螺母與所述豎直導(dǎo)軌滑動(dòng)連接，所述第二驅(qū)動(dòng)件可帶動(dòng)所述豎直絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)，所述抓取結(jié)構(gòu)與所述第三螺母固定連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述水平移動(dòng)裝置包括第三驅(qū)動(dòng)件、第二水平導(dǎo)軌、設(shè)置于所述第二水平導(dǎo)軌內(nèi)的水平絲杠、以及與所述水平絲杠配合的第四螺母，所述第四螺母與所述第二水平導(dǎo)軌滑動(dòng)連接，所述第三驅(qū)動(dòng)件可帶動(dòng)所述水平絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)，所述豎直移動(dòng)裝置與所述第四螺母固定連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，還包括可拆卸連接結(jié)構(gòu)，所述小車(chē)主體可通過(guò)所述可拆卸連接結(jié)構(gòu)與所述承載平臺(tái)連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述可拆卸連接結(jié)構(gòu)包括凸起和卡槽，所述凸起可卡接于所述卡槽內(nèi)，且所述凸起和所述卡槽中的一個(gè)設(shè)置于所述承載平臺(tái)上，所述凸起和所述卡槽中的另一個(gè)設(shè)置于所述小車(chē)主體上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，還包括位置調(diào)整裝置，所述位置調(diào)整裝置設(shè)置于所述承載平臺(tái)上，用于將所述掩模板盒子的位置調(diào)整至預(yù)設(shè)位置。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述位置調(diào)整裝置包括相對(duì)且間隔設(shè)置的第一推送塊和第二推送塊，以及相對(duì)且間隔設(shè)置的第三推送塊和第四推送塊，所述第一推送塊和所述第二推送塊可沿第一方向推送并夾緊所述掩模板盒子，所述第三推送塊和所述第四推送塊可沿第二方向推送并夾緊所述掩模板盒子，所述第一方向和所述第二方向垂直。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述承載平臺(tái)上均勻鑲嵌有多個(gè)滾球。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述小車(chē)主體上還設(shè)有剎車(chē)裝置，當(dāng)所述小車(chē)主體停止時(shí)，所述剎車(chē)裝置可阻止所述小車(chē)主體滑移。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述小車(chē)主體上還設(shè)有供電裝置，所述供電裝置用于給所述搬運(yùn)小車(chē)上的用電設(shè)備提供電量。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，還包括控制器，所述控制器與所述機(jī)械手組件連接，所述控制器用于控制所述機(jī)械手移動(dòng)，以抓取所述掩模板盒子內(nèi)的掩模板。