技術總結
本實用新型公開一種清潔裝置以及具有清潔裝置的高溫制程裝置，清潔裝置包含輸送平臺、吸氣模塊與刮除單元。輸送平臺包含滾輪。吸氣模塊包含抽氣泵與吸嘴頭。抽氣泵連接吸嘴頭，且吸嘴頭具有抽氣口。刮除單元位于抽氣口內(nèi)，且刮除單元介于滾輪與吸嘴頭之間。當滾輪朝一旋轉方向轉動，刮除單元位于一區(qū)域內(nèi)，區(qū)域的第一邊界為一通過滾輪軸心的鉛垂面，區(qū)域的第二邊界是第一邊界沿所述旋轉方向旋轉45度角所形成的一通過滾輪軸心的邊界面。

技術研發(fā)人員：施宗君;陳旗煌;魏文勇;林佳勛;韓建玉
受保護的技術使用者：友達光電(昆山)有限公司;友達光電股份有限公司
文檔號碼：201620606253
技術研發(fā)日：2016.06.20
技術公布日：2017.01.11