技術(shù)編號：12546770
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型是關(guān)于一種清潔裝置以及具有清潔裝置的高溫制程裝置。背景技術(shù)傳統(tǒng)搬移玻璃基板的方式例如是透過多個并排滾輪的轉(zhuǎn)動，而將玻璃基板帶動至特定的位置，以便對玻璃基板進行后續(xù)的處理。然而，當滾輪轉(zhuǎn)動并移動玻璃基板的載板時，滾輪難免因摩擦載板而于滾輪表面產(chǎn)生污染物(如微粒、摩擦生成物)，且揚起的污染物可能會掉落在玻璃基板上，導致玻璃基板在后續(xù)制程中造成交叉污染。實用新型內(nèi)容本實用新型的一目的在于提供一種清潔裝置以及具有清潔裝置的高溫制程裝置，藉以解決先前技術(shù)所述的問題，意即，移除并送走污染物，減少污...
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