本發(fā)明涉及一種玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造裝置。

背景技術：

用于液晶顯示器及等離子體顯示器等平板顯示器(FPD)的玻璃基板對表面要求高平坦度。通常，這種玻璃基板是通過溢流下拉法來制造。關于溢流下拉法，如專利文獻1所記載，流入至成形體上表面的槽并從槽溢出的熔融玻璃沿著成形體的兩側面流下，在成形體的下端合流而成形玻璃帶。所成形的玻璃帶一邊向下方被拉伸，一邊被緩冷。經冷卻的玻璃帶被切斷成規(guī)定尺寸，從而獲得玻璃基板。

[背景技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]美國專利第3,338,696號

技術實現(xiàn)要素：

[發(fā)明要解決的問題]

在溢流下拉法中，成形體設置在成形爐內的高溫環(huán)境下。另外，對于成形體，自重及熔融玻璃的重量作為荷重施加。因此，由于玻璃基板制造裝置的長年運轉，成形體因成形體的材質的熱蠕變特性而逐漸發(fā)生蠕變變形。尤其是成形體的長度方向中央部容易因蠕變變形向下方下垂而彎曲。結果，存在以下問題：從成形體的中央部溢出的熔融玻璃的量相比于從成形體的兩端部溢出的熔融玻璃的量變多，所要成形的玻璃帶的寬度方向中央部的厚度增加，作為最終產品的玻璃基板的板厚偏差增加。

在使用液相溫度高的玻璃及應變點高的玻璃的玻璃基板的制造步驟中，由于成形體的溫度容易變高，所以成形體的蠕變變形尤其成為問題。另外，近年來，由于玻璃基板的大型化推進，成形體的長度方向尺寸變長，所以有因蠕變變形所導致的成形體的彎曲變得更明顯的傾向。

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造裝置，能 夠抑制包含因成形體的蠕變變形所導致的玻璃帶(玻璃基板)的板厚偏差等的變形。

[解決問題的技術手段]

本發(fā)明具有以下形態(tài)。

(1)

一種玻璃基板的制造方法，其特征在于具備：成形步驟，對形成在成形體的上表面的供給槽供給熔融玻璃，使從所述供給槽的兩側溢出的所述熔融玻璃沿所述成形體的兩側面流下，使沿所述兩側面流下的所述熔融玻璃在所述成形體的下端合流而成形玻璃帶；以及

控制步驟，對應于伴隨著所述成形體的使用所產生的所述成形體的形狀變化，控制通過將所述成形步驟后的所述玻璃帶的寬度方向的兩側部進行冷卻而施加在所述玻璃帶的寬度方向的張力。

(2)

根據(1)所述的玻璃基板的制造方法，其中所述控制步驟包括以下步驟：

當所述形狀變化在預先設定的基準范圍內時，將施加在所述玻璃帶的寬度方向的張力維持為無所述形狀變化時的基準張力；以及

當所述形狀變化超過所述基準范圍時，對應于所述形狀變化程度，將施加在所述玻璃帶的寬度方向的張力控制為比所述基準張力大的張力。

(3)

根據(1)或(2)所述的玻璃基板的制造方法，其中所述形狀變化是所述成形體的所述上表面沿所述成形體的所述供給槽的延伸方向從平面變化為彎曲面的變化。

(4)

根據(1)所述的玻璃基板的制造方法，其中所述控制步驟包括以下步驟：除了所述成形體在所述玻璃帶的寬度方向未發(fā)生所述形狀變化時施加在所述玻璃帶的寬度方向的基準張力以外，還對所述玻璃帶施加與所述成形體的所述形狀變化對應的張力。

(5)

根據(1)至(4)中任一項所述的玻璃基板的制造方法，其還具備：獲取步驟，獲取所述成形體的上表面的鉛垂方向位移量作為所述形狀變化的信息；以及

判定步驟，判定所述獲取步驟中所獲取的所述位移量是否為基準量以下；且

當所述判定步驟中判定所述位移量超過所述基準量時，在所述控制步驟中，基于預先規(guī)定的所述成形體的位移量與施加在所述玻璃帶的寬度方向的張力的關系式，決定與所獲取的所述位移量對應的張力。

(6)

根據(5)所述的玻璃基板的制造方法，其中在所述控制步驟中，所述位移量越大，所述張力越增大。

(7)

根據(5)或(6)所述的玻璃基板的制造方法，其中在所述獲取步驟中，通過利用計算機模擬求出所述成形體的形狀的時間變化來獲取所述位移量。

(8)

根據(1)至(7)中任一項所述的玻璃基板的制造方法，其中在所述控制步驟中，以所述玻璃帶的厚度方向的板厚偏差成為基準值以下的方式控制所述張力。

(9)

一種玻璃基板的制造裝置，其特征在于具備：

成形裝置，對形成在成形體的上表面的供給槽供給熔融玻璃，使從所述供給槽的兩側溢出的所述熔融玻璃沿所述成形體的兩側面流下，使沿所述兩側面流下的所述熔融玻璃在所述成形體的下端合流而成形玻璃帶；以及

控制裝置，對應于伴隨著所述成形體的使用所產生的所述成形體的形狀變化，控制通過將所述成形步驟后的所述玻璃帶的寬度方向的兩側部進行冷卻而施加在所述玻璃帶的寬度方向的張力。

(10)

根據(9)所述的玻璃基板的制造裝置，其中在所述控制裝置中，除了所述成形體在所述玻璃帶的寬度方向未發(fā)生所述形狀變化時施加在所述玻璃帶的寬度方向的基準張力以外，還對所述玻璃帶施加與所述成形體的所述形狀變化對應的張力，以此方式控制所述玻璃帶的寬度方向兩側部的冷卻。

[發(fā)明效果]

所述玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造裝置能夠抑制包含因成形體的蠕變變形所導致的玻璃帶(玻璃基板)的板厚偏差等的變形。

附圖說明

圖1是本實施方式的玻璃基板的制造方法的一例的流程圖。

圖2是本實施方式的玻璃基板的制造方法中使用的玻璃基板的制造裝置的一例的示意圖。

圖3是圖2所示的玻璃基板的制造裝置中使用的成形裝置的一例的前視圖。

圖4是圖2所示的玻璃基板的制造裝置中使用的成形裝置的一例的側視圖。

圖5是圖2所示的玻璃基板的制造裝置中使用的成形裝置的上部成形空間附近的前視圖。

圖6是本實施方式中使用的控制裝置的一例的框圖。

圖7是說明由本實施方式中使用的獲取部獲取的成形體的形狀數(shù)據的一例的圖。

圖8是表示由本實施方式中使用的成形體成形的玻璃帶的一例的圖。

圖9是表示由蠕變變形的成形體所成形的玻璃帶的截面的一例的圖。

圖10是表示成形體的位移量與施加在玻璃帶的張力T的關系的一例的圖。

圖11(a)是將沿圖8的A-A線的截面放大的圖，(b)是將沿圖8的B-B線的截面放大的圖。

具體實施方式

(1)玻璃基板的制造裝置的構成

一邊參照附圖，一邊對本發(fā)明的玻璃基板的制造方法及制造裝置的實施方式進行說明。圖1是表示本實施方式的玻璃基板的制造方法的一例的流程圖。

如圖1所示，本實施方式的玻璃基板的制造方法主要包括熔解步驟S1、澄清步驟S2、攪拌步驟S3、成形步驟S4、冷卻步驟S5及切斷步驟S6。

在熔解步驟S1中，加熱玻璃原料而獲得熔融玻璃。熔融玻璃貯存在熔解槽中，以具有所需溫度的方式被通電加熱。在玻璃原料中添加澄清劑。就降低環(huán)境負荷的觀點來說，使用SnO₂作為澄清劑。

在澄清步驟S2中，通過使熔解步驟S1中獲得的熔融玻璃在澄清管的內部流動而去除熔融玻璃中所含的氣體，由此將熔融玻璃進行澄清。首先，在澄清步驟S2中，使熔融玻璃的溫度上升。添加到熔融玻璃中的澄清劑因升溫而發(fā)生還原反應從而釋出氧。熔融玻璃中所含的包含CO₂、N₂、SO₂等氣體成分的氣泡將因澄清劑的還原反應所產生的氧吸收。吸收氧而生長的氣泡上浮至熔融玻璃的液面，破裂而消失。消失的氣泡中所含的氣體釋出至澄清管內部的氣相空間，并被排出至外部大氣中。其次，在澄清步驟S2中，使熔融玻璃的溫度降低。由此，經還原的澄清劑發(fā)生氧化反應，吸收殘留在熔融玻璃中的氧等氣體成分。

在攪拌步驟S3中，將澄清步驟S2中去除氣體后的熔融玻璃進行攪拌，使熔融玻璃的成分均質化。由此，減少因玻璃基板的條紋等所導致的熔融玻璃的組成不均。

在成形步驟S4中，使用溢流下拉法，由攪拌步驟S3中經均質化的熔融玻璃連續(xù)地 成形玻璃帶。

在冷卻步驟S5中，將成形步驟S4中成形的玻璃帶一邊向下方搬送，一邊冷卻。在冷卻步驟S5中，以玻璃帶不產生應變及翹曲的方式，一邊調節(jié)玻璃帶的溫度，一邊逐漸冷卻玻璃帶。

在切斷步驟S6中，將冷卻步驟S5中經冷卻的玻璃帶切斷成規(guī)定尺寸而獲得玻璃基板。然后，進行玻璃基板端面的研削及研磨以及玻璃基板的清洗。然后，檢查玻璃基板有無劃痕等缺陷，將檢查合格的玻璃基板進行包裝并作為產品出貨。

圖2是表示本實施方式的玻璃基板制造裝置1的一例的示意圖。玻璃基板制造裝置1具備熔解槽10、澄清管20、攪拌裝置30、成形裝置40及移送管50a、50b、50c。移送管50a連接熔解槽10與澄清管20。移送管50b連接澄清管20與攪拌裝置30。移送管50c連接攪拌裝置30與成形裝置40。

熔解步驟S1中在熔解槽10獲得的熔融玻璃2通過移送管50a流入至澄清管20。澄清步驟S2中在澄清管20經澄清的熔融玻璃2通過移送管50b流入至攪拌裝置30。攪拌步驟S3中利用攪拌裝置30進行攪拌的熔融玻璃2通過移送管50c流入至成形裝置40。在成形步驟S4中，通過成形裝置40，由熔融玻璃2連續(xù)地成形玻璃帶3。在冷卻步驟S5中，將玻璃帶3一邊向下方搬送，一邊冷卻。在切斷步驟S6中，經冷卻的玻璃帶3被切斷成規(guī)定大小而獲得玻璃基板。玻璃基板的寬度例如為500mm～3500mm，長度例如為500mm～3500mm。玻璃基板的厚度例如為0.2mm～0.8mm。

利用玻璃基板制造裝置1制造的玻璃基板尤其適合作為液晶顯示器、等離子體顯示器、有機EL(Electroluminescence，電致發(fā)光)顯示器等平板顯示器(FPD)用玻璃基板。作為FPD用玻璃基板，使用無堿玻璃、含微量堿的玻璃、低溫多晶硅(LTPS：Low Temperature Poly Silicon)用玻璃、或氧化物半導體用玻璃。作為高精細顯示器用玻璃基板，使用高溫時具有高粘性及高應變點的玻璃。例如，成為高精細顯示器用玻璃基板的原料的玻璃在1500℃具有10^2.5poise的粘性。高溫粘性高的玻璃必須提高成形時的溫度，因此下述因熱蠕變特性所導致的變形更明顯。

在熔解槽10中，玻璃原料熔解而獲得熔融玻璃2。玻璃原料是以能夠獲得具有所需組成的玻璃基板的方式制備。作為玻璃基板的組成的一例，作為FPD用玻璃基板優(yōu)選的無堿玻璃含有SiO₂：50質量％～70質量％、Al₂O₃：10質量％～25質量％、B₂O₃：1質量％～18質量％、MgO：0質量％～10質量％、CaO：0質量％～20質量％、SrO：0質量％～20質量％、BaO：0質量％～10質量％。此處，MgO、CaO、SrO及BaO的含量合計為5質量％～30質量％。

另外，作為FPD用玻璃基板，也可以使用含有微量堿金屬的含微量堿的玻璃。含微量堿的玻璃含有0.1質量％～0.5質量％的R'₂O，優(yōu)選含有0.2質量％～0.5質量％的R'₂O。此處，R'為選自Li、Na及K中的至少一種。R'₂O的含量合計也可以小于0.1質量％。

另外，利用玻璃基板制造裝置1制造的玻璃基板也可以還含有SnO₂：0.01質量％～1質量％(優(yōu)選0.01質量％～0.5質量％)、Fe₂O₃：0質量％～0.2質量％(優(yōu)選0.01質量％～0.08質量％)。此外，關于利用玻璃基板制造裝置1制造的玻璃基板，就降低環(huán)境負荷的觀點來說，實質上不含有As₂O₃、Sb₂O₃及PbO。

以具有所述組成的方式制備的玻璃原料是使用原料投入機(未圖示)投入至熔解槽10中。原料投入機可使用螺旋送料機進行玻璃原料的投入，也可使用鏟斗進行玻璃原料的投入。在熔解槽10中，玻璃原料被加熱至與其組成等對應的溫度而熔解。在熔解槽10中，例如獲得1500℃～1600℃的高溫熔融玻璃2。在熔解槽10中，可通過在由鉬、鉑或氧化錫等成形的至少一對電極間流通電流而將電極間的熔融玻璃2通電加熱，另外，除通電加熱以外，還可以通過燃燒器的火焰來輔助性地加熱玻璃原料。

熔解槽10中獲得的熔融玻璃2從熔解槽10通過移送管50a流入至澄清管20。澄清管20及移送管50a、50b、50c為鉑制或鉑合金制管。在澄清管20，與熔解槽10同樣地設有加熱機構。在澄清管20中，熔融玻璃2進一步被升溫而進行澄清。例如，在澄清管20中，熔融玻璃2的溫度上升至1500℃～1700℃。

澄清管20中經澄清的熔融玻璃2從澄清管20通過移送管50b流入至攪拌裝置30。熔融玻璃2在通過移送管50b時被冷卻。在攪拌裝置30中，在比通過澄清管20的熔融玻璃2的溫度低的溫度下攪拌熔融玻璃2。例如，在攪拌裝置30中，熔融玻璃2的溫度為1250℃～1450℃，熔融玻璃2的粘度為500poise～1300poise。熔融玻璃2在攪拌裝置30中被攪拌而均質化。

攪拌裝置30中經均質化的熔融玻璃2從攪拌裝置30通過移送管50c流入至成形裝置40。熔融玻璃2在通過移送管50c時，以具有適于熔融玻璃2成形的粘度的方式被冷卻。例如，熔融玻璃2被冷卻至1200℃左右。

成形裝置40中，通過溢流下拉法由熔融玻璃2成形玻璃帶3。接下來，對成形裝置40的詳細構成及動作進行說明。

(2)成形裝置的構成

圖3是成形裝置40的前視圖。圖3表示從相對于利用成形裝置40成形的玻璃帶3的表面垂直的方向觀察的成形裝置40。圖4是成形裝置40的側視圖。圖4表示從與利用成形裝置40成形的玻璃帶3的表面平行的方向觀察的成形裝置40。

成形裝置40具有由包含耐火磚等耐火物的爐壁所包圍的空間。該空間是由熔融玻璃2成形玻璃帶3并冷卻玻璃帶3的空間。該空間包括上部成形空間60、下部成形空間70及緩冷空間80這三個空間。圖5是成形裝置40的上部成形空間60附近的前視圖。玻璃帶3具有位于寬度方向的端部的側部3b(端部、耳部)及由側部3b所夾的寬度方向的中央區(qū)域3a。中央區(qū)域3a是成為厚度大致固定的產品區(qū)域的區(qū)域，側部3b是比中央區(qū)域3a具有厚度，且包含球根狀形狀的區(qū)域。

成形步驟S4是在上部成形空間60進行。冷卻步驟S5是在下部成形空間70及緩冷空間80進行。上部成形空間60是從攪拌裝置30經由移送管50c供給至成形裝置40的熔融玻璃2成形為玻璃帶3的空間。下部成形空間70是上部成形空間60下方的空間，是玻璃帶3急冷至玻璃的緩冷點附近的空間。緩冷空間80是下部成形空間70下方的空間，是玻璃帶3逐漸冷卻的空間。

成形裝置40主要包括成形體62、多個發(fā)熱體、上部區(qū)隔部件64、冷卻輥72、溫度調節(jié)單元74、下部區(qū)隔部件76、下拉輥82a～82g、加熱器84a～84g、隔熱部件86、切斷裝置98及控制裝置91(參照圖6)。接下來，對成形裝置40的各構成要素進行說明。

(2-1)成形體

成形體62設置在上部成形空間60。成形體62是用來使熔融玻璃2溢流而成形玻璃帶3。如圖4所示，成形體62具有類似于楔形的五邊形的截面形狀。成形體62的截面形狀的尖端相當于成形體62的下端62a。成形體62為耐火磚制。

在成形體62的上表面62c，沿成形體62的長度方向(圖4中的紙面垂直方向、圖5中的紙面水平方向)形成著供給槽62b。在成形體62的長度方向的端部安裝著與供給槽62b連通的移送管50c。供給槽62b的槽深度形成為，隨著從與移送管50c連通的一端部朝向另一端部逐漸變淺。以下，如圖3所示，將成形體62的長度方向的一對端部中與移送管50c連通一側的端部稱為第1端部62d1，將其相反側的端部稱為第2端部62d2。此外，在成形體62的第2端部62d2，設有用來阻斷供給槽62b中的熔融玻璃2的流動的鉑制導件(未圖示)。

從攪拌裝置30送至成形裝置40的熔融玻璃2經由移送管50c流入至成形體62的供給槽62b。熔融玻璃2在供給槽62b中從第1端部62d1向第2端部62d2流動。從成形體62的供給槽62b溢流的熔融玻璃2一邊沿著成形體62的兩側面，一邊流下，在成形體62的下端62a的附近合流。合流的熔融玻璃2利用重力沿鉛垂方向落下而成形為板狀。由此，在成形體62的下端62a的附近，連續(xù)地成形玻璃帶3。成形的玻璃帶3沿上部成形空間60流下后，一邊在下部成形空間70及緩冷空間80中冷卻，一邊朝下方 搬送。剛在上部成形空間60成形后的玻璃帶3的溫度為1100℃以上，粘度為25000poise～350000poise。例如，在制造高精細顯示器用玻璃基板的情況下，利用成形體62成形的玻璃帶3的應變點為655℃～750℃，優(yōu)選680℃～730℃，在成形體62的下端62a的附近合流的熔融玻璃2的粘度為25000poise～100000poise，優(yōu)選32000poise～80000poise。

控制裝置(控制部)91是通過控制下述冷卻輥72的冷卻量來控制玻璃帶3的兩側部3b的粘度。玻璃帶3包括：中央區(qū)域3a，厚度大致固定；以及側部3b，位于中央區(qū)域3a的兩端，且比中央區(qū)域具有厚度。如果冷卻輥72將玻璃帶3的兩側部3b冷卻，那么玻璃帶3上沿從中央區(qū)域3a朝向兩側部3b的方向產生張力，因此控制裝置91能夠通過控制該張力來控制玻璃帶3的板厚。

(2-2)上部區(qū)隔部件

上部區(qū)隔部件64是設置在成形體62的下端62a附近的一對板狀隔熱部件。如圖4所示，上部區(qū)隔部件64配置在玻璃帶3的厚度方向兩側。上部區(qū)隔部件64區(qū)隔出上部成形空間60與下部成形空間70，抑制熱從上部成形空間60向下部成形空間70移動。

(2-3)冷卻輥

冷卻輥72是設置在下部成形空間70的懸臂輥。冷卻輥72設置在上部區(qū)隔部件64的正下方。如圖3所示，冷卻輥72配置在玻璃帶3的寬度方向兩側部。如圖4所示，冷卻輥72配置在玻璃帶3的厚度方向兩側。玻璃帶3在其寬度方向兩側部由冷卻輥72夾持。冷卻輥72將從上部成形空間60送來的玻璃帶3冷卻。

在下部成形空間70中，玻璃帶3的寬度方向兩側部分別由兩對冷卻輥72夾住。通過朝向玻璃帶3的兩側部的表面壓抵冷卻輥72，冷卻輥72與玻璃帶3的接觸面積變大，而有效率地進行利用冷卻輥72的玻璃帶3的冷卻。冷卻輥72將與下述下拉輥82a～82g將玻璃帶3向下方拉伸的力對抗的力賦予給玻璃帶3。此外，根據冷卻輥72的旋轉速度與配置在最上方的下拉輥82a的旋轉速度的差，決定玻璃帶3的厚度。

冷卻輥72在內部具有空冷管或水冷管。冷卻輥72通過空冷管或水冷管被冷卻。冷卻輥72通過夾住玻璃帶3的寬度方向兩側部而與玻璃帶3接觸。由此，熱從玻璃帶3向冷卻輥72傳遞，因此玻璃帶3的寬度方向兩側部被冷卻。與冷卻輥72接觸而得以冷卻的玻璃帶3的寬度方向兩側部的粘度例如為10^9.0poise以上。

冷卻輥72與玻璃帶3之間的接觸荷重能夠通過控制裝置91進行控制。接觸荷重例如通過使用氣缸的氣壓、彈簧的物理加重負荷調整冷卻輥72的位置來控制。接觸荷重越大，冷卻輥72壓抵玻璃帶3的力越強。即使在利用冷卻輥72夾持玻璃帶3后，控制 裝置91也能夠通過控制氣缸的氣壓、施加在彈簧的荷重來調節(jié)冷卻輥72的鉛垂方向及水平方向的位置，因此能夠以適當?shù)牧Ρ３植Ａ?，從而能夠抑制玻璃帶3的破損。

(2-4)溫度調節(jié)單元

溫度調節(jié)單元74設置在下部成形空間70。溫度調節(jié)單元74設置在上部區(qū)隔部件64的下方且下部區(qū)隔部件76的上方。

在下部成形空間70中，玻璃帶3被冷卻到玻璃帶3的寬度方向中心部的溫度降低至緩冷點附近為止。溫度調節(jié)單元74調節(jié)下部成形空間70中冷卻的玻璃帶3的溫度。溫度調節(jié)單元74是加熱或冷卻玻璃帶3的單元。如圖3所示，溫度調節(jié)單元74包括中心部冷卻單元74a及側部冷卻單元74b。中心部冷卻單元74a調節(jié)玻璃帶3的寬度方向的中央區(qū)域3a的溫度。側部冷卻單元74b調節(jié)玻璃帶3的寬度方向兩側部的溫度。此處，玻璃帶3的寬度方向的中央區(qū)域3a是指由玻璃帶3的寬度方向兩側的側部3b所夾的區(qū)域。兩側的側部3b是指從玻璃帶3兩側的端至朝向玻璃帶3的寬度方向內側行進例如200mm的位置的寬度方向范圍內的區(qū)域。中央區(qū)域3a處于玻璃帶3的寬度方向的寬度中從玻璃帶3的寬度方向中心至寬度的一半的例如85％以內的范圍。中央區(qū)域3a的范圍能夠根據玻璃帶3的寬度方向長度而變化。

在下部成形空間70中，如圖3所示，多個中心部冷卻單元74a及多個側部冷卻單元74b分別沿玻璃帶3所流下的方向即鉛垂方向配置。中心部冷卻單元74a以與玻璃帶3的寬度方向中心部的表面對向的方式配置。側部冷卻單元74b以與玻璃帶3的寬度方向兩側部的表面對向的方式配置。

溫度調節(jié)單元74由控制裝置91進行控制。各中心部冷卻單元74a及各側部冷卻單元74b能夠由控制裝置91獨立地進行控制。

(2-5)下部區(qū)隔部件

下部區(qū)隔部件76是設置在溫度調節(jié)單元74下方的一對板狀隔熱部件。如圖4所示，下部區(qū)隔部件76設置在玻璃帶3的厚度方向兩側。下部區(qū)隔部件76在鉛垂方向上區(qū)隔出下部成形空間70與緩冷空間80，抑制熱從下部成形空間70向緩冷空間80移動。

(2-6)下拉輥

下拉輥82a～82g是設置在緩冷空間80的懸臂輥。在緩冷空間80中，下拉輥82a、下拉輥82b、···、下拉輥82f及下拉輥82g是從上方朝向下方隔開間隔而配置。下拉輥82a配置在最上方，下拉輥82g配置在最下方。

如圖3所示，下拉輥82a～82g分別配置在玻璃帶3的寬度方向兩側部。如圖4所示，下拉輥82a～82g分別配置在玻璃帶3的厚度方向兩側。即，玻璃帶3的寬度方向 兩側部是從上方朝向下方由兩對下拉輥82a、兩對下拉輥82b、···、兩對下拉輥82f及兩對下拉輥82g夾住。

下拉輥82a～82g一邊夾住通過下部成形空間70的玻璃帶3的寬度方向兩端部，一邊旋轉，由此將玻璃帶3朝鉛垂方向下方下拉。即，下拉輥82a～82g是用來將玻璃帶3向下方搬送的輥。

各下拉輥82a～82g的角速度能夠通過控制裝置91而獨立地進行控制。下拉輥82a～82g的角速度越大，玻璃帶3向下方搬送的速度越大。

(2-7)加熱器

加熱器84a～84g設置在緩冷空間80。如圖4所示，在緩冷空間80中，加熱器84a、加熱器84b、···、加熱器84f及加熱器84g從上方朝向下方隔開間隔而配置。加熱器84a～84g分別配置在玻璃帶3的厚度方向兩側。下拉輥82a～82g分別配置在加熱器84a～84g與玻璃帶3之間。

加熱器84a～84g朝向玻璃帶3的表面輻射熱而對玻璃帶3進行加熱。通過使用加熱器84a～84g，能夠調節(jié)在緩冷空間80中向下方搬送的玻璃帶3的溫度。由此，加熱器84a～84g能夠在玻璃帶3的搬送方向上，在玻璃帶3形成規(guī)定的溫度分布。

各加熱器84a～84g的輸出能夠通過控制裝置91獨立地進行控制。另外，加熱器84a～84g也可沿玻璃帶3的寬度方向分割成多個加熱器子單元(未圖示)，各加熱器子單元的輸出能夠通過控制裝置91獨立地進行控制。該情況下，各加熱器84a～84g對應于玻璃帶3的寬度方向位置使發(fā)熱量發(fā)生變化，由此能夠在玻璃帶3的寬度方向形成規(guī)定的溫度分布。

此外，在各加熱器84a～84g的附近設置有測定緩冷空間80的環(huán)境溫度的熱電偶(未圖示)。熱電偶例如測定玻璃帶3的寬度方向中心部附近的環(huán)境溫度與兩側部附近的環(huán)境溫度。加熱器84a～84g也可基于利用熱電偶測定的緩冷空間80的環(huán)境溫度來進行控制。

(2-8)隔熱部件

隔熱部件86設置在緩冷空間80。隔熱部件86設置在沿玻璃帶3的搬送方向相鄰的兩個下拉輥82a～82g之間的高度位置。如圖4所示，隔熱部件86是在玻璃帶3的厚度方向兩側水平配置的一對隔熱板。隔熱部件86在鉛垂方向上區(qū)隔緩冷空間80，抑制緩冷空間80中的鉛垂方向的熱移動。

隔熱部件86是以不與向下方搬送的玻璃帶3接觸的方式設置。另外，隔熱部件86是以能夠調整至玻璃帶3的表面的距離的方式設置。由此，隔熱部件86抑制隔熱部件86上方的空間與隔熱部件86下方的空間之間的熱移動。

(2-9)切斷裝置

切斷裝置98設置在緩冷空間80下方的空間。切斷裝置98將通過緩冷空間80的玻璃帶3沿玻璃帶3的寬度方向按規(guī)定尺寸切斷。通過緩冷空間80的玻璃帶3是冷卻至室溫附近的平坦的玻璃帶3。

切斷裝置98以規(guī)定時間間隔切斷玻璃帶3。由此，在玻璃帶3的搬送速度固定的情況下，量產出具有接近于最終產品的尺寸的玻璃基板。

(2-10)控制裝置

控制裝置91是主要包括CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)、RAM(Random Access Memory，隨機存取存儲器)、ROM(Read Only Memory，只讀存儲器)及硬盤等的計算機。圖6是控制裝置91的框圖。如圖6所示，控制裝置91與冷卻輥驅動電機172、溫度調節(jié)單元74、下拉輥驅動電機182、加熱器84a～84g及切斷裝置驅動電機198連接。冷卻輥驅動電機172是用來控制冷卻輥72的位置及旋轉速度等的電機。下拉輥驅動電機182是用來獨立地控制各下拉輥82a～82g的位置及旋轉速度等的電機。切斷裝置驅動電機198是用來控制切斷裝置98切斷玻璃帶3的時間間隔等的電機。控制裝置91獲取各構成要素的狀態(tài)，且存儲用來控制各構成要素的程序。

控制裝置91能夠控制冷卻輥驅動電機172，獲取及調節(jié)夾住玻璃帶3的寬度方向側部的一對冷卻輥72與玻璃帶3之間的接觸荷重。控制裝置91個別地控制各冷卻輥的冷卻量。控制裝置91能夠控制下拉輥驅動電機182，獲取旋轉著的各下拉輥82a～82g的轉矩，調節(jié)各下拉輥82a～82g的角速度。例如，控制裝置91從安裝在冷卻輥72、各下拉輥82a～82g的未圖示的轉矩傳感器獲取接觸荷重、轉矩。控制裝置91也能夠不利用轉矩傳感器，作為代替而基于來自檢測冷卻輥驅動電機172、下拉輥驅動電機182中通電電流的電流傳感器的檢測值，運算實際輸出轉矩，從而獲取所運算出的實際輸出轉矩?？刂蒲b置91基于所獲取的轉矩，一邊控制冷卻輥72、各下拉輥82a～82g的旋轉量，一邊個別地控制各輥的冷卻量?？刂蒲b置91能夠調節(jié)溫度調節(jié)單元74的輸出及各加熱器84a～84g的輸出?？刂蒲b置91能夠控制切斷裝置驅動電機198，調節(jié)切斷裝置98切斷玻璃帶3的時間間隔等。

(3)成形裝置的動作

在上部成形空間60中，從攪拌裝置30經由移送管50c被送至成形裝置40的熔融玻璃2被供給至形成在成形體62的上表面62c的供給槽62b。從成形體62的供給槽62b溢流的熔融玻璃2沿著成形體62的兩側面流下，在成形體62的下端62a的附近合流。在成形體62的下端62a的附近，由合流的熔融玻璃2連續(xù)地成形玻璃帶3。成形的玻璃 帶3被送至下部成形空間70。

在下部成形空間70中，玻璃帶3的寬度方向兩側部與冷卻輥72進行接觸而被急冷。另外，通過溫度調節(jié)單元74調節(jié)玻璃帶3的溫度，直到玻璃帶3的寬度方向中心部的溫度降低至緩冷點。利用冷卻輥72一邊向下方搬送、一邊冷卻的玻璃帶3被送至緩冷空間80。

在緩冷空間80中，玻璃帶3一邊由下拉輥82a～82g下拉，一邊被逐漸冷卻。玻璃帶3的溫度是以沿玻璃帶3的寬度方向形成規(guī)定溫度分布的方式由加熱器84a～84g進行控制。在緩冷空間80中，玻璃帶3的溫度從緩冷點附近逐漸降低至相比于比應變點低200℃的溫度更低的溫度。

通過緩冷空間80的玻璃帶3進而被冷卻至室溫附近，利用切斷裝置98切斷成規(guī)定尺寸而獲得玻璃基板。然后，進行玻璃基板的端面的研磨及清洗等。然后，將規(guī)定檢查合格的玻璃基板進行包裝并作為產品出貨。

(4)控制裝置的動作

控制裝置91包含搬送部91a、獲取部91b、判定部91c及控制部91d，這些部分是通過至少存儲并執(zhí)行四種程序而形成的模塊。

控制裝置91是像下述那樣對應于伴隨著成形體62的使用所產生的成形體62的形狀變化，控制通過將成形步驟S4中所獲得的玻璃帶3的寬度方向兩側部進行冷卻而施加在玻璃帶3的寬度方向的張力。

搬送部91a調節(jié)以下動作：使用設置在成形體62下方的下拉輥82a～82g，將利用成形體62成形的玻璃帶3在緩冷空間80中以規(guī)定的搬送速度向下方搬送。搬送部91a是通過控制下拉輥驅動電機182而調節(jié)各下拉輥82a～82g的旋轉速度來調節(jié)玻璃帶3的搬送速度。

獲取部91b通過利用計算機模擬求出成形體62的形狀的時間變化(形狀變化)，獲取成形體62當前的形狀相關的形狀數(shù)據。具體來說，獲取部91b是基于蠕變特性參數(shù)來獲取成形體62當前的形狀數(shù)據。蠕變特性參數(shù)是用來再現(xiàn)施加在成形體62的應力、成形體62的溫度與基于蠕變變形的成形體62的應變速度之間的關系的參數(shù)。蠕變特性參數(shù)例如為由成形體62的材質、使用時間、尺寸、重量、溫度、施加在成形體62的應力、熔融玻璃2的溫度所決定的參數(shù)。當成形體62的溫度越高且施加在成形體62的應力越大時，蠕變特性參數(shù)越大，成形體62的形狀的變形量越大。此處，施加在成形體62的應力是沿成形體62的長度方向將成形體62壓縮的力。另外，成形體62的應變速度并不依存于時間，而是假定為固定。首先，獲取部91b通過測定來獲取施加在成形體62 的應力為固定的條件下成形體62的應變速度的依存于成形體62的溫度的變化的信息。其次，獲取部91b通過測定來獲取成形體62的溫度為固定的條件下成形體62的應變速度的依存于施加在成形體62的應力的變化的信息。接著，獲取部91b決定蠕變特性參數(shù)，所述蠕變特性參數(shù)能夠再現(xiàn)成形體62的應變速度的溫度依存變化及應力依存變化的測定值。然后，獲取部91b通過計算機模擬，使用所決定的蠕變特性參數(shù)算出規(guī)定的溫度及應力的條件下的成形體62的應變速度。進而，獲取部91b通過使用已算出的應變速度求出成形體62的形狀的時間變化，以此來獲取成形體62當前的形狀數(shù)據。圖7是由獲取部91b所獲取的成形體62的形狀數(shù)據的一例。圖7表示從相對于利用成形體62成形的玻璃帶3的表面垂直的方向觀察的成形體62。在圖7中，成形體62的蠕變變形比實際更強調地示出。圖7中，未使用的成形體62的形狀、即蠕變變形之前的成形體62的形狀以虛線表示，且伴隨著成形體62的使用而蠕變變形后的成形體62當前的形狀以實線表示。

獲取部91b根據基于成形體62的蠕變變形的形狀數(shù)據，至少獲取成形體62的上表面62c的鉛垂方向的位移量L即上表面位移量作為成形體62的形狀變化的信息。在圖7中，上表面位移量是蠕變變形前的上表面62c與蠕變變形后的上表面62c之間的鉛垂方向的尺寸差。此外，圖7中，作為上表面位移量，示有成形體62的長度方向上的上表面位移量的最大值即最大上表面位移量。另外，獲取部91b獲取由玻璃基板形狀測定裝置(未圖示)測定的玻璃基板的厚度數(shù)據。厚度數(shù)據例如為由玻璃基板制造裝置1制造的玻璃基板的厚度的寬度方向的分布。

判定部91c判定由獲取部91b獲取的位移量L是否為基準量以下。此處，所謂基準量，是指對玻璃帶3施加固定的張力(初始張力)，使玻璃帶3(玻璃基板)成形為成形預定厚度(例如0.2mm～0.8mm)時，板厚公差能夠滿足例如±0.05mm的量。在施加在玻璃帶3的張力未從初始值發(fā)生變化的情況下，如果位移量L超過基準量，那么玻璃帶3的板厚公差超過例如±0.05mm。因此，通過使施加在玻璃帶3的張力相比于初始張力增大，玻璃帶3的板厚公差被控制為例如±0.05mm以內?；鶞柿磕軌蚋鶕跏紡埩Α⒉Ａ?的成形預定板厚、板厚公差等而任意地變更，例如為3mm～30mm。

控制部91d以如下方式進行控制：將成形體62未發(fā)生位移時、即位移量L為0時施加在所成形的玻璃帶3的寬度方向的張力設為基準張力(初始值的張力)，通過控制冷卻輥72的冷卻量來將玻璃帶3的寬度方向的兩側部3b進行冷卻，由此，施加在玻璃帶3的張力成為基準張力。在成形體62未發(fā)生位移的狀態(tài)下，通過對玻璃帶3的寬度方向施加基準張力，玻璃帶3成為成形預定板厚，板厚公差滿足±0.05mm。另外，當上位位 移量L不為0但為基準量以下時，通過對玻璃帶3施加基準張力，即，不變更冷卻輥72的冷卻量便能使玻璃帶3的板厚公差為例如±0.05mm以下。

當成形體62發(fā)生蠕變變形且位移量L超過基準量時，如果不控制冷卻輥72的冷卻量而是予以維持，即，如果施加在玻璃帶3的張力保持著基準張力，那么成形預定厚度的玻璃帶3無法成形，另外，板厚公差無法滿足±0.05mm。因此，控制部91d除了施加基準張力以外，還對玻璃帶3施加與成形體62的位移對應的張力。此處，成形體62的位移例如為成形體62在長度方向上的上表面位移?？刂撇?1d基于由獲取部91b獲取的成形體62的形狀數(shù)據，以玻璃帶3的厚度成為成形預定厚度的方式，且以玻璃帶3的寬度方向的板厚偏差變小的方式控制冷卻輥72的冷卻量，由此控制施加在玻璃帶3的張力。成形體62的形狀數(shù)據例如為作為成形體62在長度方向上的上表面位移量的分布的形狀分布?？刂撇?1d以根據形狀分布求出的位移量L越大，對玻璃帶3的寬度方向的張力越大的方式，控制冷卻輥72的冷卻量。作為根據形狀分布求出的位移量L，例如使用最大上表面位移量。像這樣，成形體62的形狀變化是成形體62的上表面沿成形體62的供給槽62b的延伸方向從平面變化為彎曲面的變化，作為該形狀變化的信息，本實施方式中使用位移量L。

圖8是表示由成形體62成形的玻璃帶3的一例的圖。在成形體62的下端62a成形的玻璃帶3如果從下端62a離開，那么會因自身的表面張力而導致中央區(qū)域3a朝向寬度方向中央開始收縮。因此，冷卻輥72將玻璃帶3的兩側部3b冷卻而使兩側部3b的粘度上升，從中央區(qū)域3a朝向兩側部3b施加張力，以此方式抑制玻璃帶3在寬度方向收縮，玻璃帶3的中央區(qū)域3a的厚度變得均勻。但是，如果成形體62發(fā)生蠕變變形，那么玻璃帶3的中央區(qū)域3a附近的熔融玻璃量增加，中央區(qū)域3a的厚度變化。圖9是表示因成形體62的蠕變變形而導致中央區(qū)域3a附近的厚度增加的玻璃帶3的一例的圖。如果成形體62發(fā)生蠕變變形，那么從第1端部62d1與第2端部62d2之間溢出的熔融玻璃2的量增加，因此玻璃帶3的中央區(qū)域3a附近的厚度增加。圖9中，中央區(qū)域3a附近的厚度相比于成形預定厚度最大變厚D1，中央區(qū)域3a的厚度變得不均勻。因此，控制部91d對應于成形體62的形狀數(shù)據，使冷卻輥72的冷卻量變化，從玻璃帶3的中央區(qū)域3a朝向兩側部3b施加張力，以此方式抑制玻璃帶3在寬度方向收縮，使玻璃帶3的中央區(qū)域3a的厚度變得均勻。

圖10是表示成形體62的位移量L與施加在玻璃帶3的張力T的關系的圖?？刂撇?1d在通過判定部91c判定為成形體62的位移量L不超過L1的情況下，視為因成形體62的蠕變變形所導致的玻璃帶3的中央區(qū)域3a的厚度的變化能夠忽略，即板厚公差滿 足例如±0.05mm，使施加在玻璃帶3的張力T不從初始值T1(位移量L的范圍：0以上且L1以下)發(fā)生變化。如果成形體62的位移量L為L1以下，那么控制部91d不使冷卻輥72的冷卻量變化，而將張力T維持為初始值T1，由此，成形的玻璃帶3的板厚公差滿足±0.05mm?？刂撇?1d在通過判定部91c判定為成形體62的位移量L超過L1的情況下，如圖10所示，以對玻璃帶3施加對應于位移量L的張力T的方式進行控制。如果位移量L超過L1，那么如圖9所示，玻璃帶3的中央區(qū)域3a的厚度增加，厚度變得不均勻。因此，控制部91d以如下方式控制：以與位移量L對應的方式，從玻璃帶3的中央區(qū)域3a朝向兩側部3b對玻璃帶3施加大于初始值T1的張力T＝T1+A×位移量L(位移量L的范圍：L1以上且小于Lm，A：系數(shù))。具體來說，控制部使冷卻輥72的冷卻量增加而使兩側部3b的粘度上升。如果兩側部3b的粘度變高，那么從中央區(qū)域3a朝向兩側部3b的張力T變大，位于玻璃帶3的中央區(qū)域3a的熔融玻璃向兩側部3b被拉伸，中央區(qū)域3a的厚度接近于成形預定厚度，厚度變得均勻?？刂撇?1d以如下方式控制：通過使兩側部3b的粘度增加至例如10^9.0poise至10^14.5poise而使張力T變大。像這樣，利用控制部91d進行的控制步驟包括以下步驟：當成形體62的形狀變化、具體來說為成形體62的位移量L在預先設定的基準范圍內(位移量L為L1以下)時，將施加在玻璃帶3的寬度方向的張力維持為無形狀變化時的基準張力(初始值T1)；以及當成形體62的形狀變化、具體來說為成形體62的位移量L超過基準范圍(位移量L超過L1)時，對應于成形體62的形狀變化的程度，將施加在玻璃帶3的寬度方向的張力控制為大于基準張力(初始值T1)的張力。

此外，當位移量L的范圍為L1以上且小于Lm時，將張力T控制為T1至Tm，由此，中央區(qū)域3a的厚度接近于成形預定厚度，厚度變得均勻，當位移量L超過Lm而發(fā)生位移時，僅憑控制張力T難以使中央區(qū)域3a的厚度接近于成形預定厚度并且難以使厚度均勻，因此通過判定部91c判定為已到達成形體62的定期更換時期。

另外，通過成形體62的蠕變變形，玻璃帶3的表面凹凸差(板厚偏差)也會發(fā)生變化。剛通過成形體62的下端62a后的玻璃帶3的體積收縮量隨著從玻璃帶3的側部3b朝向中央區(qū)域3a而變大，因此拉伸應力在玻璃帶3的中央區(qū)域3a發(fā)揮作用。由于中央區(qū)域3a附近的厚度變厚，從兩側部3b朝向中央區(qū)域3a的張力變大，所以玻璃帶3的表面凹凸差變大。圖11(a)是將圖8的A-A線的截面放大的圖，圖11(b)是將圖8的B-B線截面放大的圖。在通過冷卻輥72對玻璃帶3施加張力T之前，玻璃帶3朝向中央區(qū)域3a收縮，因此玻璃帶3的表面凹凸差成為D2，在通過冷卻輥72對玻璃帶3施加張力T后，玻璃帶3的表面凹凸差成為小于D2的D3。如果成形體62發(fā)生蠕變變形，那么玻璃帶 3的表面凹凸差D2、D3也會變大。因此，通過以對應于位移量L的方式施加從中央區(qū)域3a朝向兩側部3b的張力T，玻璃帶3向兩側部3b被拉伸，因此玻璃帶3的表面凹凸差D3變小。為了使中央區(qū)域3a的厚度接近于成形預定厚度，以對應于位移量L的方式施加張力T，由此玻璃帶3的表面凹凸差D3變小，玻璃帶3的中央區(qū)域3a的厚度變得均勻。

另外，控制部91d也可通過對玻璃帶3施加張力T來抑制有可能在玻璃帶3的搬送方向上產生的條紋。條紋是在規(guī)定寬度上玻璃帶3的厚度(高度)發(fā)生變動的一種應變，且在玻璃帶3的搬送方向上呈條帶狀連續(xù)地產生。另外，條紋的主要原因也包含玻璃的粘性差。如果通過控制部91d控制冷卻輥72的冷卻量而向玻璃帶3的寬度方向施加張力，那么作為玻璃帶3的表面凹凸的一種的局部產生的條紋向玻璃帶3的兩端側3b被拉伸，表面凹凸差變小，從而成形板厚公差滿足±0.05mm的玻璃帶。

像以上所說明的那樣，在成形體62的下端62a，使施加在玻璃帶3的張力T對應于成形體62的位移量L而變化，由此能夠使中央區(qū)域3a的厚度接近于成形預定厚度并且使厚度均勻。當因成形體62的蠕變變形而導致成形體62的長度方向中央部向下方垂下而彎曲時，通過增大冷卻輥72的冷卻量而增大施加在玻璃帶3的張力T，由此能夠降低玻璃帶3的寬度方向的板厚偏差。結果，玻璃基板制造裝置1能夠降低作為最終產品的玻璃基板的板厚偏差。

另外，在使用液相溫度高的玻璃及應變點高的玻璃的玻璃基板的制造步驟中，由于成形體62的溫度容易變高，所以成形體62的蠕變變形尤其容易成為問題。另外，由于近年來推進玻璃基板的大型化，成形體的長度方向尺寸變長，所以有因蠕變變形所導致的成形體62的彎曲變得更明顯的傾向。本實施方式中，通過調節(jié)冷卻輥72的冷卻量，使施加在玻璃帶3的張力T變化，能夠有效地降低因成形體62的蠕變變形所導致的玻璃帶3的寬度方向的板厚偏差。

(5-1)變化例A

在實施方式中，玻璃基板制造裝置1的控制裝置91的獲取部91b通過利用計算機模擬求出成形體62的形狀的時間變化，以此來獲取成形體62的當前形狀相關的形狀數(shù)據。但是，獲取部91b也可通過其他方法來獲取成形體62的當前形狀相關的形狀數(shù)據。

例如，獲取部91b也可基于成形體62的形狀的實測值來獲取形狀數(shù)據。該情況下，必須預先收集成形體62的形狀的實測值相關的數(shù)據以及成形體62的使用條件相關的數(shù)據并進行分析。成形體62的使用條件為玻璃基板制造裝置1的運轉時間、熔融玻璃2的溫度、熔融玻璃2的粘度及上部成形空間60的溫度等與成形體62相關的各種參數(shù)。 獲取部91b基于成形體62的形狀的實測值相關的數(shù)據與成形體62的使用條件相關的數(shù)據的相關關系，預測并獲取當前使用的成形體62的形狀數(shù)據。

另外，獲取部91b也可基于利用成形體62成形的玻璃帶3的板厚的實測值來獲取形狀數(shù)據。該情況下，獲取部91b基于玻璃帶3的寬度方向的板厚的實測值相關的數(shù)據，預測并獲取當前使用的成形體62的形狀數(shù)據。

(5-2)變化例B

在實施方式中，為了使施加在玻璃帶3的張力T變化，控制冷卻輥72的冷卻量。但是，也可代替冷卻輥72、或除冷卻輥72以外，使用冷卻裝置使玻璃帶3的兩側部3b的粘性變化，從而調節(jié)張力T。

冷卻裝置例如位于成形體62的下端62a與冷卻輥72之間，設置在與玻璃帶3的側部3b對向的位置，將玻璃帶3的兩側部3b進行冷卻?？刂撇?1d能夠通過控制冷卻裝置來控制玻璃帶3的兩側部3b的冷卻量，因此能夠任意地調節(jié)張力T。由于冷卻裝置與玻璃帶3未直接接觸，所以不會因接觸而使玻璃帶3變形，能夠通過利用冷卻裝置進行的冷卻量的控制來調節(jié)張力T。

(5-3)變化例C

在實施方式中，玻璃基板制造裝置1的控制裝置91的獲取部91b通過利用計算機模擬求出成形體62的形狀的時間變化，以此來獲取成形體62的當前形狀相關的形狀數(shù)據。但是，獲取部91b也能夠通過獲取成形裝置40(成形體62)所成形的玻璃帶3的總量(全長)而預測并獲取當前使用的成形體62的形狀數(shù)據。例如，獲取部91b通過測定流入至成形裝置40的熔融玻璃2的量、利用成形裝置40成形的玻璃帶3的厚度、寬度、重量等，獲取成形裝置40所成形的玻璃帶3的總量(全長)。由于玻璃帶3的總量(全長)與成形裝置40的使用時間具有正相關關系，所以能夠通過獲取玻璃帶3的總量(全長)，預測因成形裝置40(成形體62)的蠕變變形所產生的位移量L。控制部91d以玻璃帶3的寬度方向的張力成為預先規(guī)定的基準張力的方式進行控制。預先規(guī)定的基準張力是如下張力的初始值：使玻璃帶3(玻璃基板)成形為成形預定厚度的玻璃帶3時，板厚公差能夠滿足±0.05mm?？刂撇?1d是當位移量L為基準量以下時，以玻璃帶3的寬度方向張力成為基準張力的方式控制，當位移量L超過基準量時，以對玻璃帶3施加張力T的方式控制，所述張力T是與根據玻璃帶3的總量(全長)預測的成形裝置40(成形體62)的因蠕變變形所產生的位移量L對應。由此，能夠使玻璃帶3的中央區(qū)域3a的厚度接近于成形預定厚度并且使厚度均勻。

[符號的說明]

2 熔融玻璃

3 玻璃帶

3a 中央區(qū)域

3b 側部

62 成形體

62a 下端

72 冷卻輥。