專利名稱:氯硅烷回收利用裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種多晶硅生產(chǎn)還原工序的氯硅烷回收利用裝置。
背景技術(shù):
目前的多晶硅生產(chǎn)中,還原爐、氫化爐蒸發(fā)器在調(diào)試前,需要用氯硅烷溶液浸泡清 洗。在正常生產(chǎn)過程中,停爐操作時(shí)蒸發(fā)器和進(jìn)料管中會(huì)積存三氯氫硅和四氯化硅溶液,上 述的溶液及氯硅烷溶液進(jìn)入回收罐以便回收處理,通常用人工的方法經(jīng)回收罐的廢液出口 解決存液排放問題,即定期打開廢液出口,利用容器承接廢液后轉(zhuǎn)移回收。由于三氯氫硅和 四氯化硅溶液有毒有害,如操作或防護(hù)不當(dāng)而泄漏,會(huì)污染環(huán)境、危害人身健康。因此考慮 設(shè)計(jì)出一種自動(dòng)排除三氯氫硅和四氯化硅溶液并將清洗用氯硅烷溶液的回收的裝置,以節(jié) 約能耗、改善環(huán)境。
實(shí)用新型內(nèi)容為了克服現(xiàn)有人工排除蒸發(fā)器和進(jìn)料管積液可能帶來環(huán)境污染或健康損害的不 足,本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種避免環(huán)境污染的氯硅烷回收利用裝置。 本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是氯硅烷回收利用裝置,包括設(shè) 置在總進(jìn)口和總出口之間的回收罐,回收罐設(shè)置有廢液進(jìn)口和廢液出口,回收罐的廢液出 口通過泵連接到總出口。 所述回收罐的廢液進(jìn)口與總進(jìn)口之間設(shè)置有進(jìn)口閥,回收罐的廢液出口與泵之間 設(shè)置有出口閥。 所述回收罐有并聯(lián)的兩臺(tái),所述泵也有并聯(lián)的兩臺(tái)。 所述回收罐與泵之間設(shè)置有過濾器。 所述回收罐上設(shè)置有液位計(jì)。 所述泵采用計(jì)量泵。 所述回收罐上設(shè)置有壓縮流體進(jìn)口和放空口 。 所述回收罐的壓縮流體進(jìn)口與壓縮氮?dú)膺M(jìn)氣管連接,所述回收罐的放空口與壓縮 氮?dú)夥趴展苓B接。 所述回收罐和泵均連接有壓力表。 本實(shí)用新型的有益效果是利用兩套回收罐、泵進(jìn)行排放作業(yè),避免對(duì)環(huán)境或人員 的損害,可控制排液速度,并可實(shí)現(xiàn)加壓排液,從而提高了整個(gè)回收利用裝置的可控性、可 靠性和安全性,改善了環(huán)境,節(jié)約了能耗。
圖1是本實(shí)用新型氯硅烷回收裝置的示意圖。 圖中標(biāo)記為,1-總進(jìn)口 , 2-回收罐,3-液位計(jì),4-過濾器,5-泵,6-總出口 , 7-壓縮 氮?dú)膺M(jìn)氣管,8-壓縮氮?dú)夥趴展埽?-壓力表,10-氫化爐四氯化硅溶液排放管,11-還原爐三氯氫硅溶液排放管,21-廢液進(jìn)口 , 22-廢液出口 , 23-壓縮流體進(jìn)口 , 24-放空口 , 25-進(jìn)口 閥,26-出口閥。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。 如圖1所示,本實(shí)用新型的氯硅烷回收利用裝置,包括設(shè)置在總進(jìn)口 1和總出口 6 之間的回收罐2,回收罐2設(shè)置有廢液進(jìn)口 21和廢液出口 22,回收罐2的廢液出口 22通過 泵5連接到總出口 6,這樣,廢液的排放由泵5來執(zhí)行,廢液可經(jīng)由總出口 6排放到其它裝置 如精熘氯硅烷儲(chǔ)罐中去,避免了人工排放可能引起的污染或損害。 所述回收罐2的廢液進(jìn)口 21與總進(jìn)口 l之間設(shè)置有進(jìn)口閥25,回收罐2的廢液出 口 22與泵5之間設(shè)置有出口閥26。進(jìn)口閥25用于控制積存廢液進(jìn)罐,出口閥26用于控制 積存廢液排放。 所述回收罐2有并聯(lián)的兩臺(tái),所述泵5也有并聯(lián)的兩臺(tái)。通過控制進(jìn)口閥25、出口 閥26,實(shí)現(xiàn)一臺(tái)回收罐2收集廢液時(shí)另一臺(tái)回收罐2及對(duì)應(yīng)的泵5排放廢液,或者利用其中 一套回收罐2、過濾器4及泵5工作而另一套回收罐2、過濾器4及泵5備用,以提高整套裝 置運(yùn)行的可靠性和安全性。 所述回收罐2與泵5之間設(shè)置有過濾器4,用于過濾廢液中的固態(tài)雜質(zhì)。 所述回收罐2上設(shè)置有液位計(jì)3,方便操作人員觀察液位,判斷是否進(jìn)行排液處理。 所述泵5采用計(jì)量泵,便于操作人員觀察排量,控制排放速度,根據(jù)需要泵5可間 歇作業(yè)。 回收罐2上設(shè)置有壓縮流體進(jìn)口 23和放空口 24,可利用壓縮流體進(jìn)口 23及放空 口 24實(shí)現(xiàn)加壓排放,排放更徹底。 所述回收罐2的壓縮流體進(jìn)口 23與壓縮氮?dú)膺M(jìn)氣管7連接,所述回收罐2的放空
口 24與壓縮氮?dú)夥趴展?連接。 所述回收罐2和泵5均連接有壓力表9。 實(shí)施例 如圖1所示,本實(shí)用新型的氯硅烷回收利用裝置,兩臺(tái)設(shè)置有廢液進(jìn)口 21和廢液 出口 22的立式回收罐2并聯(lián),均可接收由氫化爐四氯化硅溶液排放管10及還原爐三氯氫 硅溶液排放管11排放到回收利用裝置的總進(jìn)口 1的廢液,兩臺(tái)回收罐2的廢液進(jìn)口 21與總 進(jìn)口 1之間各設(shè)置有一個(gè)進(jìn)口閥25,兩回收罐的廢液出口 22各經(jīng)出口閥26、過濾器4后連 接到泵5,然后由回收利用裝置的總出口 6去精熘氯硅烷儲(chǔ)罐,以壓縮氮?dú)庾鳛榧訅毫黧w, 壓縮氮?dú)膺M(jìn)氣管7分別連接到兩臺(tái)回收罐2的壓縮流體進(jìn)口 23,兩臺(tái)回收罐2的放空口 24 均連接到壓縮氮?dú)夥趴展?,可利用壓縮氮?dú)鈱?shí)現(xiàn)對(duì)回收罐2的加壓排液,為便于操作人員 觀察和操作,在兩臺(tái)回收罐2上均設(shè)置有液位計(jì)3,所述液位計(jì)3 —般可采用磁翻板液位計(jì), 所述泵5可采用2 6mVh的隔膜式計(jì)量泵,對(duì)于且所述回收罐2、泵5均連接壓力表。 運(yùn)行過程中,通過控制進(jìn)口閥25、出口閥26,實(shí)現(xiàn)一臺(tái)回收罐2收集廢液時(shí)另一臺(tái) 回收罐2及對(duì)應(yīng)的泵5排放廢液,或者利用其中一套回收罐2、過濾器4及泵5工作而另一 套回收罐2、過濾器4及泵5備用。
權(quán)利要求氯硅烷回收利用裝置,包括設(shè)置在總進(jìn)口(1)和總出口(6)之間的回收罐(2),回收罐(2)設(shè)置有廢液進(jìn)口(21)和廢液出口(22),其特征是回收罐(2)的廢液出口(22)通過泵(5)連接到總出口(6)。
2. 如權(quán)利要求l所述的氯硅烷回收利用裝置,其特征是所述回收罐(2)的廢液進(jìn)口 (21)與總進(jìn)口 (1)之間設(shè)置有進(jìn)口閥(25),回收罐(2)的廢液出口 (22)與泵(5)之間設(shè) 置有出口閥(26)。
3. 如權(quán)利要求2所述的氯硅烷回收利用裝置,其特征是所述回收罐(2)有并聯(lián)的兩 臺(tái),所述泵(5)也有并聯(lián)的兩臺(tái)。
4. 如權(quán)利要求1、2或3所述的氯硅烷回收利用裝置,其特征是所述回收罐(2)與泵 (5)之間設(shè)置有過濾器(4)。
5. 如權(quán)利要求1、2或3所述的氯硅烷回收利用裝置,其特征是所述回收罐(2)上設(shè) 置有液位計(jì)(3)。
6. 如權(quán)利要求1、2或3所述的氯硅烷回收利用裝置,其特征是所述泵(5)采用計(jì)量泵。
7. 如權(quán)利要求1、2或3所述的氯硅烷回收利用裝置,其特征是所述回收罐(2)上設(shè) 置有壓縮流體進(jìn)口 (23)和放空口 (24)。
8. 如權(quán)利要求7所述的氯硅烷回收利用裝置,其特征是所述回收罐(2)的壓縮流體 進(jìn)口 (23)與壓縮氮?dú)膺M(jìn)氣管(7)連接,所述回收罐(2)的放空口 (24)與壓縮氮?dú)夥趴展?(8)連接。
9. 如權(quán)利要求8所述的氯硅烷回收利用裝置,其特征是所述回收罐(2)和泵(5)均 連接有壓力表(9)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種能避免環(huán)境污染的氯硅烷回收利用裝置。該裝置包括兩臺(tái)設(shè)置在總進(jìn)口和總出口之間的回收罐,回收罐設(shè)置有廢液進(jìn)口和廢液出口,所述回收罐的廢液進(jìn)口與總進(jìn)口之間設(shè)置有進(jìn)口閥,回收罐的廢液出口與總出口之間設(shè)置有出口閥和泵,所述回收罐的壓縮流體進(jìn)口與壓縮氮?dú)膺M(jìn)氣管連接,所述回收罐的放空口與壓縮氮?dú)夥趴展苓B接。本實(shí)用新型利用兩套回收罐、泵進(jìn)行排放作業(yè),避免了對(duì)環(huán)境或人員的損害,可控制排液速度,并可實(shí)現(xiàn)加壓排液,從而提高了整個(gè)回收利用裝置的可控性、可靠性和安全性,改善了作業(yè)環(huán)境,節(jié)約了能耗,主要用于多晶硅生產(chǎn)還原工序中。
文檔編號(hào)C01B33/107GK201520642SQ20092031410
公開日2010年7月7日 申請(qǐng)日期2009年11月5日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月5日
發(fā)明者盧濤, 唐前正, 彭卡, 李品賢, 李建軍, 趙新征 申請(qǐng)人:樂山樂電天威硅業(yè)科技有限責(zé)任公司