技術(shù)編號(hào)：3438605
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種多晶硅生產(chǎn)還原工序的氯硅烷回收利用裝置。背景技術(shù)目前的多晶硅生產(chǎn)中，還原爐、氫化爐蒸發(fā)器在調(diào)試前，需要用氯硅烷溶液浸泡清 洗。在正常生產(chǎn)過程中，停爐操作時(shí)蒸發(fā)器和進(jìn)料管中會(huì)積存三氯氫硅和四氯化硅溶液，上 述的溶液及氯硅烷溶液進(jìn)入回收罐以便回收處理，通常用人工的方法經(jīng)回收罐的廢液出口 解決存液排放問題，即定期打開廢液出口，利用容器承接廢液后轉(zhuǎn)移回收。由于三氯氫硅和 四氯化硅溶液有毒有害，如操作或防護(hù)不當(dāng)而泄漏，會(huì)污染環(huán)境、危害人身健康。因此...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。