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晶體參考面加工用X射線定向夾具和定向方法與流程

文檔序號:12367880閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種晶體參考面加工用X射線定向夾具,其特征在于,包括:

可控傾斜臺,具有一支撐面,該支撐面相對水平面的傾斜角度可調(diào);

夾具組件,安裝于所述可控傾斜臺上,對晶體進行支撐和固定。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體參考面加工用X射線定向夾具,其特征在于:所述夾具組件包括:

夾具底板,固定于所述支撐面上;

夾具頂板,與所述夾具底板上下設(shè)置,該夾具頂板與夾具底板之間可拆卸固定,所述夾具頂板和夾具底板之間形成一晶體固定槽,所述夾具頂板上開設(shè)有與所述晶體固定槽連通的開口,該開口的大小滿足:晶體固定后其參考面位于所述夾具頂板的上方。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體參考面加工用X射線定向夾具,其特征在于:所述可控傾斜臺包括上下間隔設(shè)置的上支撐板和下支撐板,所述上支撐板和下支撐板之間設(shè)置有萬向球,所述上支撐板相對所述下支撐板傾角可變。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶體參考面加工用X射線定向夾具,其特征在于:所述上支撐板和下支撐板之間連接有第一調(diào)節(jié)螺釘和第二調(diào)節(jié)螺釘,轉(zhuǎn)動該第一調(diào)節(jié)螺釘以調(diào)節(jié)上支撐板沿平行晶體固定槽延伸方向轉(zhuǎn)動,轉(zhuǎn)動第二調(diào)節(jié)螺釘以調(diào)節(jié)上支撐板沿垂直晶體固定槽延伸方向轉(zhuǎn)動。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶體參考面加工用X射線定向夾具,其特征在于:所述上支撐板和下支撐板之間連接有至少一個鎖定螺釘,該鎖定螺釘鎖緊以實現(xiàn)上支撐板和下支撐板相對位置的固定。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶體參考面加工用X射線定向夾具,其特征在于:所述夾具底板的上表面形成有對晶體進行支撐的第一V形凹槽。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶體參考面加工用X射線定向夾具,其特征在于:所述第一V形凹槽的支撐面上設(shè)有墊片,該墊片的硬度小于所述第一V形凹槽的支撐面材料以及晶體材料的硬度。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的晶體參考面加工用X射線定向夾具,其特征在于:所述夾具頂板的下表面形成有對晶體頂面進行限位的第二V形凹槽。

9.基于權(quán)利要求1至9任一所述的晶體參考面加工用X射線定向夾具的晶體參考面定向方法,其特征在于,包括步驟:

s1、將晶體支撐于夾具底板上;

s2、將X射線入射在晶體上,并通過探測器對反射的X射線進行探測;

s3、粗調(diào):轉(zhuǎn)動晶體,并通過探測器獲取所需晶體參考面;

s4、將夾具頂板固定于夾具底板上方,并將晶體相對固定于晶體固定槽內(nèi);

s5、細調(diào):改變可控傾斜臺支撐面的傾斜角度,通過探測器進一步修正晶體參考面位置,獲取標(biāo)準(zhǔn)晶體參考面。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶體參考面加工用X射線定向夾具的晶體參考面定位方法,其特征在于:還包括步驟:

s6、轉(zhuǎn)動鎖定螺釘,實現(xiàn)上支撐板和下支撐板相對位置的固定。

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