專(zhuān)利名稱(chēng)：?jiǎn)尉L(zhǎng)用石英安瓿內(nèi)壁碳膜制備裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及材料領(lǐng)域，尤其涉及一種單晶生長(zhǎng)用石英安瓿內(nèi)壁碳膜制備裝置。
背景技術(shù)：
石英安瓿廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體單晶材料的生長(zhǎng)工藝，有些原材料會(huì)與石英發(fā)生化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生粘連，從而影響晶體生長(zhǎng)，另一方面石英中的雜質(zhì)也會(huì)向材料中擴(kuò)散，影響材料性能。因此一般在石英安瓿內(nèi)壁制備一層碳膜來(lái)避免類(lèi)似情況的發(fā)生。碳膜的質(zhì)量直接影響到晶體生長(zhǎng)時(shí)熔體寄生形核的幾率，從而影響晶體生長(zhǎng)成品率。工藝中一般使用無(wú)水乙醇裂解或甲烷裂解的方法來(lái)進(jìn)行碳膜制備，反應(yīng)時(shí)使用高純氮?dú)庾鳛檩d氣將無(wú)水乙醇蒸汽或甲烷導(dǎo)入反應(yīng)管內(nèi)高溫下裂解，從而制備出碳膜。由于安瓿一端封閉，因此安瓿內(nèi)的氣體流動(dòng)性較差，很難按需要制備出足夠厚度且厚度均勻的碳膜。由于甲烷裂解后的尾氣是氫氣，氫氣質(zhì)量較輕，容易聚集在安瓿頂端，從而影響安瓿頂端安瓿碳膜的形成。
發(fā)明內(nèi)容鑒于上述的分析，本實(shí)用新型旨在提供一種單晶生長(zhǎng)用石英安瓿內(nèi)壁碳膜制備裝置，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中石英安瓿內(nèi)生成的碳膜不均勻的問(wèn)題。本實(shí)用新型的目的主要是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:一種單晶生長(zhǎng)用石英安瓿內(nèi)壁碳膜制備裝置，該裝置包括:在石英安瓶的頸部設(shè)置安瓶支架，所述安瓶支架內(nèi)設(shè)有通道；所述通道內(nèi)設(shè)置導(dǎo)流管，所述導(dǎo)流管的一端插進(jìn)所述石英安瓿的底部，所述導(dǎo)流管的另一端穿出所述安瓿支架與排氣管相連接，所述排氣管的另一端與真空泵連接，所述導(dǎo)流管和所述排氣管用于將所述石英安瓿內(nèi)裂解后的氣體排出；所述安瓿支架上還設(shè)有進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管內(nèi)的碳膜裂解氣體通過(guò)所述導(dǎo)流管與所述頸部之間的空隙進(jìn)入所述石英安瓿；所述進(jìn)氣管和所述排氣管上均設(shè)有流量計(jì)。優(yōu)選地，所述安瓿支架與所述頸部的連接處設(shè)有第一密封裝置。優(yōu)選地，所述第一密封裝置為密封圈和密封膠中的一種或多種。優(yōu)選地，所述導(dǎo)流管與所述排氣管的連接處設(shè)有第二密封裝置。優(yōu)選地，所述第二密封裝置為密封圈和密封膠中的一種或多種。優(yōu)選地，所述進(jìn)氣管的流量為10-30ml/min,所述排氣管的流量為10-50ml/min。本實(shí)用新型有益效果如下:本實(shí)用新型提供了一種單晶生長(zhǎng)用石英安瓿內(nèi)壁碳膜制備裝置，通過(guò)在石英安瓿的頸部設(shè)置一個(gè)安瓿支架，并通過(guò)設(shè)置在進(jìn)氣管和排氣管上的流量計(jì)實(shí)現(xiàn)石英安瓿內(nèi)裂解氣體的動(dòng)態(tài)平衡，從而在石英安瓿內(nèi)得到均勻的碳膜。[0018]本實(shí)用新型的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的說(shuō)明書(shū)中闡述，并且，部分的從說(shuō)明書(shū)中變得顯而易見(jiàn)，或者通過(guò)實(shí)施本實(shí)用新型而了解。本實(shí)用新型的目的和其他優(yōu)點(diǎn)可通過(guò)在所寫(xiě)的說(shuō)明書(shū)、權(quán)利要求書(shū)、以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)和獲得。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的單晶生長(zhǎng)用石英安瓿內(nèi)壁碳膜制備裝置。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖來(lái)具體描述本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，其中，附圖構(gòu)成本申請(qǐng)一部分，并與本實(shí)用新型的實(shí)施例一起用于闡釋本實(shí)用新型的原理。為了清楚和簡(jiǎn)化目的，當(dāng)其可能使本實(shí)用新型的主題模糊不清時(shí)，將省略本文所描述的器件中已知功能和結(jié)構(gòu)的詳細(xì)具體說(shuō)明。本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種單晶生長(zhǎng)用石英安瓿內(nèi)壁碳膜制備裝置，參見(jiàn)圖1該裝置包括:石英安瓿I豎直設(shè)置在加熱爐9內(nèi)，加熱爐9的爐口設(shè)有用于密封加熱爐9的塞子10 ；在石英安瓶I的頸部2設(shè)置安瓶支架,所述安瓶支架I內(nèi)設(shè)有通道；所述通道內(nèi)設(shè)置導(dǎo)流管3，所述導(dǎo)流管3的一端插進(jìn)所述石英安瓿I的底部，所述導(dǎo)流管3的另一端穿出所述安瓿支架4與排氣管7相連接，所述排氣管7的另一端與真空泵連接，所述導(dǎo)流管3和所述排氣管7用于將所述石英安瓿I內(nèi)裂解后的氣體排出，裂解前，所述導(dǎo)流管3和所述排氣管7將所述石英安瓿I內(nèi)抽真空。所述安瓿支架4上還設(shè)有進(jìn)氣管8，所述進(jìn)氣管8內(nèi)的碳膜裂解氣體通過(guò)所述導(dǎo)流管3與所述石英安瓿I的頸部2之間的空隙進(jìn)入所述石英安瓿I ;所述進(jìn)氣管8和所述排氣管7上均設(shè)有流量計(jì)，所述流量計(jì)用于控制所述進(jìn)氣管8和所述排氣管7的氣體流量。所述安瓿支架4與所述頸部2的連接處設(shè)有第一密封裝置6，所述第一密封裝置6用于對(duì)所述安瓿支架4與所述頸部2的連接處進(jìn)行密封。所述第一密封裝置6為密封圈和密封膠中的一種或多種，本領(lǐng)域的技術(shù)人員也可以根據(jù)需要設(shè)定其他裝置進(jìn)行密封。所述導(dǎo)流管3與所述排氣管7的連接處設(shè)有第二密封裝置5，所述第二密封裝置5用于對(duì)所述導(dǎo)流管3、所述排氣管7以及所述安瓿支架4的連接處進(jìn)行密封。所述第二密封裝置5為密封圈和密封膠中的一種或多種，本領(lǐng)域的技術(shù)人員也可以根據(jù)需要設(shè)定其他裝置進(jìn)行密封。所述進(jìn)氣管8的流量為10-30ml/min，所述排氣管7的流量為10_50ml/min。通過(guò)設(shè)置在進(jìn)氣管8和排氣管7上流量計(jì)來(lái)控制進(jìn)氣量和排氣量，使石英安瓿I在加熱爐9內(nèi)進(jìn)行裂解，從而在石英安瓿I內(nèi)得到均勻的碳膜。綜上所述，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種單晶生長(zhǎng)用石英安瓿內(nèi)壁碳膜制備裝置，通過(guò)在石英安瓿的頸部設(shè)置一個(gè)安瓿支架，并通過(guò)設(shè)置在進(jìn)氣管和排氣管上的流量計(jì)實(shí)現(xiàn)石英安瓿內(nèi)裂解氣體的動(dòng)態(tài)平衡，從而在石英安瓿內(nèi)得到均勻的碳膜。以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施方式
，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書(shū)的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種單晶生長(zhǎng)用石英安瓿內(nèi)壁碳膜制備裝置，其特征在于，包括: 在石英安瓿(I)的頸部(2)設(shè)置安瓿支架(4)，所述安瓿支架(4)內(nèi)設(shè)有通道； 所述通道內(nèi)設(shè)置導(dǎo)流管(3)，所述導(dǎo)流管(3)的一端插進(jìn)所述石英安瓿(I)的底部，所述導(dǎo)流管(3)的另一端穿出所述安瓿支架(4)與排氣管(7)相連接，所述排氣管(7)的另一端與真空泵連接； 所述安瓿支架(4 )上還設(shè)有進(jìn)氣管(8 )，所述進(jìn)氣管(8 )內(nèi)的碳膜裂解氣體通過(guò)所述導(dǎo)流管(3 )與所述頸部(2 )之間的空隙進(jìn)入所述石英安瓿(I); 所述進(jìn)氣管(8)和所述排氣管(7)上均設(shè)有流量計(jì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述安瓿支架(4)與所述頸部(2)的連接處設(shè)有第一密封裝置(6)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一密封裝置(6)為密封圈和密封膠中的一種或多種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述導(dǎo)流管(3)與所述排氣管(7)的連接處設(shè)有第二密封裝置(5 )。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述第二密封裝置(5)為密封圈和密封膠中的一種或多種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣管(8)的流量為10-30ml/min,所述排氣管(7)的流量為10_50ml/min。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種單晶生長(zhǎng)用石英安瓿內(nèi)壁碳膜制備裝置，該裝置在石英安瓿的頸部設(shè)置安瓿支架，所述安瓿支架內(nèi)設(shè)有通道；所述通道內(nèi)設(shè)置導(dǎo)流管，所述導(dǎo)流管的一端插進(jìn)所述石英安瓿的底部，所述導(dǎo)流管的另一端穿出所述安瓿支架與排氣管相連接，所述排氣管的另一端與真空泵連接；所述安瓿支架上還設(shè)有進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管內(nèi)的碳膜裂解氣體通過(guò)所述導(dǎo)流管與所述頸部之間的空隙進(jìn)入所述石英安瓿；所述進(jìn)氣管和所述排氣管上均設(shè)有流量計(jì)。通過(guò)在石英安瓿的頸部設(shè)置一個(gè)安瓿支架，并通過(guò)設(shè)置在進(jìn)氣管和排氣管上的流量計(jì)實(shí)現(xiàn)石英安瓿內(nèi)裂解氣體的動(dòng)態(tài)平衡，從而在石英安瓿內(nèi)得到均勻的碳膜。
文檔編號(hào)C23C16/26GK202968689SQ20122067271
公開(kāi)日2013年6月5日 申請(qǐng)日期2012年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月7日
發(fā)明者吳卿, 周立慶, 劉興新, 徐強(qiáng)強(qiáng) 申請(qǐng)人:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十一研究所