一種拋光機(jī)上拋頭升降轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種拋光機(jī)上拋頭升降轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，包括中心軸，支撐座、中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和中心軸升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述中心軸外部設(shè)置有空心軸，所述中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的電機(jī)通過(guò)彎板固定安裝在行程板上。本發(fā)明技術(shù)方案，通過(guò)采用擺線(xiàn)針輪減速機(jī)驅(qū)動(dòng)拋光頭旋轉(zhuǎn)，同時(shí)采用升降氣缸控制中心軸的升降，無(wú)論在自動(dòng)模式或手動(dòng)模式下，都可對(duì)多個(gè)拋光頭進(jìn)行選定使用，即選擇那幾個(gè)頭或一個(gè)拋光頭進(jìn)行拋光，該裝置結(jié)構(gòu)使多個(gè)拋光獨(dú)立工作互不干擾，升降可調(diào)、可控，并有安全保護(hù)裝置；提高生產(chǎn)效率，使用安全可靠；特殊的活塞密封件，不僅能夠起到有效的密封作用，還實(shí)現(xiàn)了運(yùn)動(dòng)的低摩擦性，是實(shí)現(xiàn)上拋頭壓力精確控制的有力保證。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種拋光機(jī)上拋頭升降轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于硅片或其他硬脆材料的單面高精度，高效率拋光的拋光機(jī)設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種拋光機(jī)上拋頭升降轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，半導(dǎo)體晶片不斷地朝小體積、高電路密集度、快速、低耗電方向發(fā)展，集成電路現(xiàn)已進(jìn)入U(xiǎn)LSI亞微米級(jí)的技術(shù)階段。硅片拋光設(shè)備是
0.25微米以下大規(guī)模集成電路芯片制造工藝中的關(guān)鍵設(shè)備，其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，控制精度高，研制起點(diǎn)高、技術(shù)難度大，越來(lái)越迅速的發(fā)展，對(duì)硅晶片表面平整度要求日趨嚴(yán)格。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中的拋光機(jī)設(shè)備的拋光頭，拋光頭是被動(dòng)式旋轉(zhuǎn)的，是下盤(pán)旋轉(zhuǎn)，利用下盤(pán)和上盤(pán)之間的摩擦力帶動(dòng)上拋光頭旋轉(zhuǎn)；新型的上拋光頭結(jié)構(gòu)，四個(gè)上氣缸均有獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)裝置，通過(guò)調(diào)頻調(diào)速可使四個(gè)拋光頭轉(zhuǎn)速與主拋盤(pán)實(shí)現(xiàn)合理匹配。調(diào)速范圍較被動(dòng)式單面拋光機(jī)調(diào)速范圍廣，且四個(gè)拋光頭可獨(dú)立驅(qū)動(dòng)，互不影響，適應(yīng)更廣泛的工藝方案。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的以上問(wèn)題，提供一種拋光機(jī)上拋頭升降轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，達(dá)到上述技術(shù)效果，本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
一種拋光機(jī)上拋頭升降轉(zhuǎn)體，包括中心軸，支撐座，所述中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和中心軸
升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述中心軸外部設(shè)置有空心軸，所述中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的電機(jī)通過(guò)彎板固定安裝在行程板上，電機(jī)輸出軸上通過(guò)超越離合器結(jié)構(gòu)安裝有第一齒輪，所述第一齒輪與固定安裝在支承盤(pán)上的第二齒輪相嚙合，所述支承盤(pán)通過(guò)第一軸承安裝在支撐座上，導(dǎo)軸下端安裝在所述支承盤(pán)上，所述導(dǎo)軸上端設(shè)置有導(dǎo)套，所述導(dǎo)套與安裝在所述中心軸上的轉(zhuǎn)盤(pán)固定相連，所述中心軸升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的缸體的上端安裝在所述支撐座的下端，所述缸體的下端安裝在所述空心軸下部的軸承座上，所述缸體內(nèi)的所述空心軸上設(shè)置有氣缸活塞結(jié)構(gòu)。
[0006]進(jìn)一步的，所述中心軸上端與所述空心軸之間分別設(shè)置有第二軸承，所述第二軸承為兩個(gè)深溝球軸承，兩個(gè)深溝球軸承通過(guò)內(nèi)隔套隔開(kāi)，外部的深溝球軸承外側(cè)設(shè)置有壓環(huán)和第一隔套，所述中心軸下端與所述空心軸之間設(shè)置有第三軸承，所述第三軸承為深溝球軸承，所述第三軸承外側(cè)設(shè)置有第一軸承蓋，所述第一軸承蓋通過(guò)螺釘固連在所述空心軸上。
[0007]進(jìn)一步的，所述電機(jī)與所述彎板通過(guò)螺釘固定相連，所述電機(jī)輸出軸與所述第一齒輪之間的超越離合器結(jié)構(gòu)包括安裝在電機(jī)輸出軸上的星輪、外轂和設(shè)置在所述星輪與所述外轂之間的彈簧、頂銷(xiāo)和滾柱，超越離合器結(jié)構(gòu)上下端安裝有蓋板，所述蓋板通過(guò)螺釘固連在所述外轂的上下端；所述電機(jī)輸出軸上的星輪下部設(shè)置有墊環(huán)，所述電機(jī)輸出軸上的星輪上部設(shè)置有壓圈，所述壓圈通過(guò)螺釘固連在電機(jī)軸上。[0008]進(jìn)一步的，所述第一齒輪通過(guò)螺釘與所述外轂固定相連，所述第二齒輪通過(guò)螺釘與所述支承盤(pán)固定相連。
[0009]進(jìn)一步的，所述支撐座和軸承座之間設(shè)置有四個(gè)拉桿，所述缸體通過(guò)所述四個(gè)拉桿分別與所述支撐座和所述軸承座固定相連，所述缸體的上端與所述支撐座的下端結(jié)合處設(shè)置有第一 O型密封圈，所述缸體的下端與所述軸承座結(jié)合處設(shè)置有第二 O型密封圈。
[0010]進(jìn)一步的，所述氣缸活塞結(jié)構(gòu)包括安裝在所述空心軸上的活塞套、L型密封圈、上壓環(huán)和下壓環(huán)。
[0011]進(jìn)一步的，所述支撐座與所述空心軸之間設(shè)置有第一高精度直線(xiàn)軸承，所述第一高精度直線(xiàn)軸承下端設(shè)置有第二隔套和第一定位環(huán)，所述第一定位環(huán)通過(guò)螺釘與所述支撐座固定相連，所述支撐座上端與所述空心軸結(jié)合處設(shè)置有第一唇型密封圈。
[0012]進(jìn)一步的，所述軸承座與所述空心軸之間設(shè)置有第二高精度直線(xiàn)軸承，所述第二高精度直線(xiàn)軸承上端設(shè)置有第二定位環(huán)，所述第二定位環(huán)通過(guò)螺釘與所述軸承座固定相連，所述軸承座下端與所述空心軸結(jié)合處設(shè)置有第二唇型密封圈，所述軸承座外側(cè)設(shè)置有導(dǎo)座。
[0013]本發(fā)明的有益效果是:
本發(fā)明技術(shù)方案，通過(guò)采用擺線(xiàn)針輪減速機(jī)驅(qū)動(dòng)拋光頭旋轉(zhuǎn)，同時(shí)采用升降氣缸控制中心軸的升降，無(wú)論在自動(dòng)模式或手動(dòng)模式下，都可對(duì)多個(gè)拋光頭進(jìn)行選定使用，即選擇那幾個(gè)頭或一個(gè)拋光頭進(jìn)行拋光，該裝置結(jié)構(gòu)使多個(gè)拋光獨(dú)立工作互不干擾，升降可調(diào)、可控，并有安全保護(hù)裝置。提高生產(chǎn)效率，使用安全可靠。特殊的活塞密封件，不僅能夠起到有效的密封作用，還實(shí)現(xiàn)了運(yùn)動(dòng)的低摩擦性，是實(shí)現(xiàn)上拋頭壓力精確控制的有力保證。
[0014]上述說(shuō)明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本發(fā)明的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】由以下實(shí)施例及其附圖詳細(xì)給出。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]此處所說(shuō)明的附圖用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中:
圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)軸側(cè)示意圖；
圖2是本發(fā)明的圖1的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖中標(biāo)號(hào)說(shuō)明:1、中心軸，2、空心軸，3、軸承座，4、第二定位環(huán)，5、缸體，6、活塞套，
7、第二隔套，8、第一定位環(huán)，9、支撐座，10、第二齒輪，11、支承盤(pán)，12、第二軸承蓋，13、導(dǎo)軸，14、導(dǎo)套，15、轉(zhuǎn)盤(pán)，16、壓環(huán)，17、內(nèi)隔套，18、第一齒輪，19、彈簧，20、頂銷(xiāo)，21、滾柱，22、壓圈，23、星輪，24、蓋板，25、外轂，26、墊環(huán)，27、彎板，28、行程板，29、拉桿，30、導(dǎo)座，31、第一隔套，32、壓蓋，33、上壓環(huán)，34、下壓環(huán)，35、第一軸承蓋，36、第二軸承，37、第三軸承，38、第一軸承，39、第一高精度直線(xiàn)軸承，40、第二高精度直線(xiàn)軸承，41、電機(jī)，42、第二唇型密封圈，43、第一唇型密封圈，44、第二 O型密封圈，45、第一 O型密封圈，46、L型密封圈。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例，來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。[0018]如圖所示，一種拋光機(jī)上拋頭升降轉(zhuǎn)體，包括中心軸1，支撐座9，所述中心軸I轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和中心軸升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述中心軸I外部設(shè)置有空心軸2，所述中心軸I轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的電機(jī)41通過(guò)彎板27固定安裝在行程板28上，電機(jī)輸出軸上通過(guò)超越離合器結(jié)構(gòu)安裝有第一齒輪18，所述第一齒輪18與固定安裝在支承盤(pán)11上的第二齒輪10相嚙合，所述支承盤(pán)11通過(guò)第一軸承38安裝在支撐座9上，導(dǎo)軸13下端安裝在所述支承盤(pán)11上，所述導(dǎo)軸13上端設(shè)置有導(dǎo)套14，所述導(dǎo)套14與安裝在所述中心軸I上的轉(zhuǎn)盤(pán)15固定相連，所述中心軸I升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的缸體5的上端安裝在所述支撐座9的下端，所述缸體9的下端安裝在所述空心軸2下部的軸承座3上，所述缸體5內(nèi)的所述空心軸2上設(shè)置有氣缸活塞結(jié)構(gòu)。
[0019]進(jìn)一步的，所述中心軸I上端與所述空心軸2之間分別設(shè)置有第二軸承36，所述第二軸承36為兩個(gè)深溝球軸承,兩個(gè)深溝球軸承通過(guò)內(nèi)隔套17隔開(kāi),外部的深溝球軸承外側(cè)設(shè)置有壓環(huán)16和第一隔套31，所述中心軸I下端與所述空心軸2之間設(shè)置有第三軸承37，所述第三軸承37為深溝球軸承,所述第三軸承37外側(cè)設(shè)置有第一軸承蓋35,所述第一軸承蓋35通過(guò)螺釘固連在所述空心軸2上。
[0020]進(jìn)一步的，所述電機(jī)41與所述彎板27通過(guò)螺釘固定相連，所述電機(jī)輸出軸與所述第一齒輪18之間的超越離合器結(jié)構(gòu)包括安裝在電機(jī)輸出軸上的星輪23、外轂25和設(shè)置在所述星輪23與所述外轂25之間的彈簧19、頂銷(xiāo)20和滾柱21，超越離合器結(jié)構(gòu)上下端安裝有蓋板24，所述蓋板24通過(guò)螺釘固連在所述外轂25的上下端；所述電機(jī)輸出軸上的星輪23下部設(shè)置有墊環(huán)26，所述電機(jī)輸出軸上的星輪23上部設(shè)置有壓圈22，所述壓圈22通過(guò)螺釘固連在電機(jī)軸上。
[0021]進(jìn)一步的，所述第一齒輪18通過(guò)螺釘與所述外轂25固定相連，所述第二齒輪10通過(guò)螺釘與所述支承盤(pán)11固定相連。
[0022]進(jìn)一步的，所述支承盤(pán)11與所述支撐座9之間的第一軸承38為深溝球軸承，所述第一軸承38外側(cè)設(shè)置有壓蓋32和第二軸承蓋36，所述壓蓋32通過(guò)螺釘固連在所述支撐座9上。
[0023]進(jìn)一步的，所述導(dǎo)軸13下端通過(guò)螺紋與所述支承盤(pán)11相連，所述導(dǎo)軸13上端的導(dǎo)套14與轉(zhuǎn)盤(pán)15通過(guò)螺釘固定相連；所述轉(zhuǎn)盤(pán)15與所述中心軸I通過(guò)雙鍵固定相連。
[0024]進(jìn)一步的，所述支撐座9和軸承座3之間設(shè)置有四個(gè)拉桿29，所述缸體5通過(guò)所述四個(gè)拉桿29分別與所述支撐座9和所述軸承座3固定相連，所述缸體5的上端與所述支撐座9的下端結(jié)合處設(shè)置有第一 O型密封圈45，所述缸體5的下端與所述軸承座3結(jié)合處設(shè)置有第二 O型密封圈44。
[0025]進(jìn)一步的，所述氣缸活塞結(jié)構(gòu)包括安裝在所述空心軸2上的活塞套6、L型密封圈46、上壓環(huán)33和下壓環(huán)34。
[0026]進(jìn)一步的，所述支撐座9與所述空心軸2之間設(shè)置有第一高精度直線(xiàn)軸承39，所述第一高精度直線(xiàn)軸承39下端設(shè)置有第二隔套7和第一定位環(huán)8，所述第一定位環(huán)8通過(guò)螺釘與所述支撐座9固定相連，所述支撐座9上端與所述空心軸2結(jié)合處設(shè)置有第一唇型密封圈43。
[0027]進(jìn)一步的，所述軸承座3與所述空心軸2之間設(shè)置有第二高精度直線(xiàn)軸承40，所述第二高精度直線(xiàn)軸承40上端設(shè)置有第二定位環(huán)4，所述第二定位環(huán)4通過(guò)螺釘與所述軸承座3固定相連，所述軸承座3下端與所述空心軸2結(jié)合處設(shè)置有第二唇型密封圈42，所述軸承座3外側(cè)設(shè)置有導(dǎo)座30。
[0028]以上所述僅為發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種拋光機(jī)上拋頭升降轉(zhuǎn)體，包括中心軸(1)，支撐座(9)，所述中心軸(I)轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和中心軸升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述中心軸(I)外部設(shè)置有空心軸(2)，所述中心軸(I)轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的電機(jī)(41)通過(guò)彎板(27)固定安裝在行程板(28)上，電機(jī)輸出軸上通過(guò)超越離合器結(jié)構(gòu)安裝有第一齒輪(18)，所述第一齒輪(18)與固定安裝在支承盤(pán)(11)上的第二齒輪(10)相嚙合，所述支承盤(pán)(11)通過(guò)第一軸承(38)安裝在支撐座(9)上，導(dǎo)軸(13)下端安裝在所述支承盤(pán)(11)上，所述導(dǎo)軸(13)上端設(shè)置有導(dǎo)套(14)，所述導(dǎo)套(14)與安裝在所述中心軸(I)上的轉(zhuǎn)盤(pán)(15)固定相連，所述中心軸(I)升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的缸體(5)的上端安裝在所述支撐座(9)的下端，所述缸體(9)的下端安裝在所述空心軸(2)下部的軸承座(3)上，所述缸體(5 )內(nèi)的所述空心軸(2 )上設(shè)置有氣缸活塞結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機(jī)上拋頭升降轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述中心軸(I)上端與所述空心軸(2)之間分別設(shè)置有第二軸承(36)，所述第二軸承(36)為兩個(gè)深溝球軸承，兩個(gè)深溝球軸承通過(guò)內(nèi)隔套(17 )隔開(kāi),外部的深溝球軸承外側(cè)設(shè)置有壓環(huán)(16 )和第一隔套(31)，所述中心軸(I)下端與所述空心軸(2)之間設(shè)置有第三軸承(37)，所述第三軸承(37)為深溝球軸承,所述第三軸承(37)外側(cè)設(shè)置有第一軸承蓋(35),所述第一軸承蓋(35)通過(guò)螺釘固連在所述空心軸(2)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機(jī)上拋頭升降轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述電機(jī)(41)與所述彎板(27)通過(guò)螺釘固定相連，所述電機(jī)輸出軸與所述第一齒輪(18)之間的超越離合器結(jié)構(gòu)包括安裝在電機(jī)輸出軸上的星輪(23)、外轂(25)和設(shè)置在所述星輪(23)與所述外轂(25)之間的彈簧(19)、頂銷(xiāo)(20)和滾柱(21)，超越離合器結(jié)構(gòu)上下端安裝有蓋板(24)，所述蓋板(24)通過(guò)螺釘固連在所述外轂(25)的上下端；所述電機(jī)輸出軸上的星輪(23)下部設(shè)置有墊環(huán)(26)，所述電機(jī)輸出軸上的星輪(23)上部設(shè)置有壓圈(22)，所述壓圈(22)通過(guò)螺釘固連在電機(jī)軸上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機(jī)上拋頭升降轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述第一齒輪(18)通過(guò)螺釘與所述外轂(25)固定相連，所述第二齒輪(10)通過(guò)螺釘與所述支承盤(pán)(II)固定相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機(jī)上拋頭升降轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于:所述支承盤(pán)(11)與所述支撐座(9)之間的第一軸承(38)為深溝球軸承，所述第一軸承(38)外側(cè)設(shè)置有壓蓋(32)和第二軸承蓋(36)，所述壓蓋(32)通過(guò)螺釘固連在所述支撐座(9)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機(jī)上拋頭升降轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軸(13)下端通過(guò)螺紋與所述支承盤(pán)(11)相連，所述導(dǎo)軸(13)上端的導(dǎo)套(14)與轉(zhuǎn)盤(pán)(15)通過(guò)螺釘固定相連；所述轉(zhuǎn)盤(pán)(15)與所述中心軸(I)通過(guò)雙鍵固定相連。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機(jī)上拋頭升降轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述支撐座(9)和軸承座(3)之間設(shè)置有四個(gè)拉桿(29)，所述缸體(5)通過(guò)所述四個(gè)拉桿(29)分別與所述支撐座(9)和所述軸承座(3)固定相連，所述缸體(5)的上端與所述支撐座(9)的下端結(jié)合處設(shè)置有第一 O型密封圈(45)，所述缸體(5)的下端與所述軸承座(3)結(jié)合處設(shè)置有第二 O型密封圈(44)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機(jī)上拋頭升降轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述氣缸活塞結(jié)構(gòu)包括安裝在所述空心軸(2)上的活塞套(6)、L型密封圈(46)、上壓環(huán)(33)和下壓環(huán)(34)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機(jī)上拋頭升降轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述支撐座(9)與所述空心軸(2)之間設(shè)置有第一高精度直線(xiàn)軸承(39)，所述第一高精度直線(xiàn)軸承(39)下端設(shè)置有第二隔套(7)和第一定位環(huán)(8)，所述第一定位環(huán)(8)通過(guò)螺釘與所述支撐座(9)固定相連，所述支撐座(9)上端與所述空心軸(2)結(jié)合處設(shè)置有第一唇型密封圈(43)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機(jī)上拋頭升降轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述軸承座(3)與所述空心軸(2)之間設(shè)置有第二高精度直線(xiàn)軸承(40)，所述第二高精度直線(xiàn)軸承(40)上端設(shè)置有第二定位環(huán)(4)，所述第二定位環(huán)(4)通過(guò)螺釘與所述軸承座(3)固定相連，所述軸承座(3 )下端與所述空心軸(2 )結(jié)合處設(shè)置有第二唇型密封圈(42 )，所述軸承座(3)外側(cè)設(shè)置有導(dǎo)座(30 )。
【文檔編號(hào)】B24B47/12GK103659596SQ201210350473
【公開(kāi)日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2012年9月20日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月20日
【發(fā)明者】任明元, 梁春 申請(qǐng)人:蘇州赫瑞特電子專(zhuān)用設(shè)備科技有限公司