專利名稱：氧化鎢吸附管的制作方法及實施所述制作方法的鍍膜裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種應(yīng)用于氨氣濃縮檢測技術(shù)中的氧化鎢吸附管的制作方法及實施所述制作方法的鍍膜裝置。
背景技術(shù)：
氨氣是ー種無色、具有強烈刺激性氣味的氣體，空氣中可感覺到的氨氣最低濃度為O. 5mg/m3至lmg/m3 (或700ppb至1400ppb)?？諝庵械陌睔庖蛞兹苡谒８街谄つw黏膜、眼結(jié)膜及呼吸道咽喉黏膜，對皮膚組織產(chǎn)生刺激井引發(fā)炎癥，可麻痹呼吸道纖毛和損害黏膜上皮組織，使病源微生物易于侵入，減弱身體對疾病的抵抗力。如果人體短期內(nèi)吸入大量氨氣，則可出現(xiàn)流淚、咽痛，聲音撕啞、咳嗽、痰帶血絲、胸悶、呼吸困難等臨床癥狀，并伴有頭暈、頭痛、惡心、嘔吐、乏カ等，嚴重的可發(fā)生肺水腫、呼吸道刺激炎癥等。 微電子制造加工エ業(yè)的凈化室中，數(shù)百ppt (part per trillion, IOOppt相當于7. Ixl0-5mg/m3)極微量的氨氣的存在，即可造成不良率提高。光是臺灣地區(qū)，由此造成的損失毎年可達數(shù)千萬元新臺幣。因此，國際半導(dǎo)體技術(shù)路線圖(ITRS )和國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料組織(SEMI)建議以氨氣為主的的堿性污染物濃度不得高于150ppt。對氨氣的檢測方法有很多，主要有離子色譜法、納氏試劑分光光度法、次氯酸鈉-水楊酸分光光度法和檢測管法等。離子色譜法具有選擇性，且靈敏，但取樣困難、不能實地檢測且使用大型儀器價格
曰蟲印貝ο納氏試劑分光光度法方法簡便，但選擇性差，且測定過程中使用的納氏試劑含有大量的汞鹽，毒性很強，極易危害分析人員的身體健康，同時造成環(huán)境的二次污染。次氯酸鈉-水楊酸分光光度法較靈敏，選擇性好，但操作較復(fù)雜繁瑣，需花費較長時間，不適合大氣環(huán)境污染的應(yīng)急監(jiān)側(cè)。這些測定方法操作步驟較為復(fù)雜，不能實地在線測定，延長了分析時間，増大了分析誤差。另外，有些試劑毒性較大，會對操作人員的健康及周圍環(huán)境造成影響。此外，上述檢測方法和技木，對于濃度在ppb以下水平的氨氣無能為力。PID(Photo-Ionization Detector)即光離子化檢測器，它可以檢測 lppb(parts per billion)到上萬ppm(parts per million)的揮發(fā)性有機化合物(VOC)和其它有毒氣體。PID是ー個高度靈敏、適用范圍廣泛的檢測器。PID使用了ー個紫外燈(UV)光源將待檢測氣體分子電離成可被檢測器檢測到的正負離子(離子化)。檢測器電極捕捉到離子化了的氣體的正負電荷并將其轉(zhuǎn)化為電流信號，該電流信號和待測氣體濃度之間存在線性關(guān)系，通過與標準濃度信號対照，即可實現(xiàn)氣體濃度的測量。從理論上說，任何ー種元素的原子和化合物都可以被離子化，只是它們在電離時所需的能量各不相同，而這種可以激發(fā)化合物中ー個電子，即將化合物電離或離子化的能量被稱為電離能或“電離電位”，它以eV為計量単位。由紫外燈發(fā)出的紫外光的能量也以eV為單位。如果待測氣體分子的電離電位低于燈的發(fā)射能量，那么，這種氣體分子就可以被離子化，這種氣體或蒸氣也就可以被PID檢測。氨氣的電離電位為10. 16eV，它可以用帶10. 6eV紫外燈的PID檢測，其檢測下限在IOppb左右。對半導(dǎo)體工業(yè)的無塵室等ppb水平以下超低濃度氨氣的檢測，必須先以一定的技術(shù)對氨氣進行富集濃縮到IOppb以上，再用PID進行檢測。以石英或高硼硅玻璃管為基管，在其內(nèi)壁鍍以氧化鎢，氧化鎢具有選擇性吸附氨氣的性能，利用氧化鎢吸附管選擇性吸附氨氣，再以小流量載氣脫附，即可有效濃縮超低濃度氨氣。Ali、Braman、McClenny和Pogany等人對氧化鶴管制作進行嘗試,并將該技術(shù)和精密光學(xué)檢測技術(shù)結(jié)合在一起用于環(huán)境中微量氨氣的檢測。但這些文獻報道的氧化鎢鍍膜步驟較為復(fù)雜；由于是局部抽真空，對玻璃管兩端密封要求較高；鎢絲受熱膨脹發(fā)生扭曲，使鎢絲上各點與管壁的距離不能均勻一致，并最終導(dǎo)致氧化鎢鍍層分布不均勻，影響對氨氣的吸附效率。再則，精密光學(xué)檢測技術(shù)所用的儀器均為實驗室大型設(shè)備，不能用于現(xiàn)場檢測。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種氧化鎢吸附管的制作方法及實施所述制作方法的鍍膜裝置，使得制作過程簡單、快速，且制作出的氧化鎢吸附管具有結(jié)合力強和均勻度高等優(yōu)點。本發(fā)明在一方面提供一種制作氧化鎢吸附管的鍍膜裝置，包括座體；設(shè)于所述座體上、用于承載待處理的吸附管基管的承載臺；跨設(shè)在所述座體上的鎢絲和彈性件，其中，所述鎢絲貫穿所述吸附管基管，所述鎢絲的第一端固定在所述座體上，所述鎢絲的第二端與所述彈性件的第一端相連接，所述彈性件的第二端固定在所述座體上。可選地，所述吸附管基管為以石英玻璃或高硼硅玻璃為材質(zhì)的玻璃管，其內(nèi)徑為2毫米至5毫米?？蛇x地，所述鎢絲與所述吸附管基管的中軸線相重合。可選地，所述鎢絲的直徑為0. 2毫米至I. 0毫米?？蛇x地，所述彈性件為拉伸彈簧，確保所述鎢絲在加電受熱膨脹時仍處于拉直狀態(tài)。
本發(fā)明在另一方面提供一種利用如上所述的鍍膜裝置制作氧化鎢吸附管的方法，包括將待處理的吸附管基管放置于所述座體的承載臺上；將所述鎢絲和所述彈性件跨接在所述座體上，其中，所述鎢絲貫穿所述吸附管基管，所述鎢絲的第一端固定在所述座體上，所述鎢絲的第二端與所述彈性件的第一端相連接，所述彈性件的第二端固定在所述座體上；將配置有吸附管基管和鎢絲的鍍膜裝置整體置于真空環(huán)境下，對所述鎢絲進行加電處理，其中的部分鎢絲在加電情況升華為鎢氣，在遇到溫度較低的所述吸附管基管后又凝華在所述吸附管基管的內(nèi)壁表面上形成黑色的鎢鍍層；將凝華有所述鎢鍍層的所述吸附管基管進行加熱氧化處理，以使得所述鎢鍍層氧化為淺黃色的三氧化鎢，從而制作完成氧化鶴吸附管。可選地，在將待處理的吸附管基管放置于所述座體的承載臺上之前還包括對待處理的吸附管基管進行預(yù)處理，所述預(yù)處理包括將待處理的吸附管基管依序經(jīng)過丙酮、質(zhì)量百分比為20%至60%的氫氧化鈉溶液、體積百分比為20%至60%氫氟酸溶液進行浸泡,利用去離子水進行清洗，再實施烘干?？蛇x地，所述真空環(huán)境的壓強為400Pa以下?？蛇x地，所述加電處理包括在所述鎢絲的兩端通上IOA至18A的直流電流，通電時間為20分鐘至60分鐘。可選地，其特征在于，所述加熱氧化處理包括將所述吸附管基管加熱到200°C至500°C，氧化時間為5分鐘至60分鐘。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明提供一種用于制作氧化鎢吸附管的鍍膜裝置及利用鍍膜裝置制作氧化鎢吸附管的方法，其中，所述鍍膜裝置結(jié)構(gòu)簡單，其包括座體、用于承載吸附管基管的承載臺、以及跨設(shè)在所述座體上的鎢絲和彈性件，在一方面可以利用承載臺平穩(wěn)承載待處理的吸附管基管，而在另一方面可以確保貫穿吸附管基管的鎢絲始終處于拉直狀態(tài)并與所述吸附管基管的中軸線相重合，這樣，利用所述鍍膜裝置制作氧化鎢吸附管，可以 使得制作出的氧化鎢吸附管具有結(jié)合力強和均勻度高等優(yōu)點。


圖I為本發(fā)明提供的鍍膜裝置與待處理的吸附管基管的裝配示意圖。圖2為本發(fā)明提供的利用鍍膜裝置制作氧化鎢吸附管的方法的流程示意圖。I鍍膜裝置11座體13承載臺15鶴絲17彈性件19連接塊20吸附管基管S201 S209 步驟
具體實施例方式以下通過特定的具體實例說明本發(fā)明的實施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭示的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其它優(yōu)點與功效。本發(fā)明還可以通過另外不同的具體實施方式
加以實施或應(yīng)用，本說明書中的各項細節(jié)也可以基于不同觀點與應(yīng)用，在不背離本發(fā)明的精神下進行各種修飾或改變。需要說明的是，本實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本發(fā)明的基本構(gòu)想，遂圖示中僅顯示與本發(fā)明中有關(guān)的組件而非按照實際實施時的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實際實施時各組件的形態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局形態(tài)也可能更為復(fù)雜。圖I顯示為本發(fā)明提供的制作氧化鎢吸附管的鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。本發(fā)明提供的鍍膜裝置，應(yīng)用于氧化鎢吸附管的制作工藝中，氧化鎢吸附管是一種內(nèi)壁表面鍍有氧化鎢的石英或高硼硅玻璃管。利用氧化鎢具有對氨氣選擇性吸附的特點，氧化鎢吸附管可應(yīng)用于對低濃度氨氣等的濃縮和檢測。
如圖I所示，所述鍍膜裝置I包括座體11，用于承載待處理的吸附管基管20的承載臺13，以及跨設(shè)在座體11上、貫穿吸附管基管20的鎢絲15和與鎢絲15連接的彈性件17。以下對上述各個元部件進行詳細描述。座體11是作為整個鍍膜裝置I的主體。在本實施例中，座體11為一個框架結(jié)構(gòu)，其可以包括一個為呈矩形或類似形狀的底板以及位于所述底板的相對兩端的立柱。承載臺13，用于承載待處理的吸附管基管20。在本實施例中，承載臺13可以固定設(shè)置在座體11的底部，承載臺13用于承載吸附管基管20的部分可以呈U型，V型或0型，待將吸附管基管20放置于承載臺13上后還可以通過例如壓緊或緊固等方式將吸附管基管20固定住。較佳地，吸附管基管20為水平放置。跨設(shè)在座體11上的鎢絲15和彈性件17，其中，鎢絲15貫穿吸附管基管20，彈性件17與鎢絲相連接。在本實施例中，與鎢絲連接的彈性件17為拉伸彈簧(在以下描述中，將拉伸彈簧標記為17)。具體地，鎢絲15貫穿吸附管基管20，其中，鎢絲15的第一端固定在座體11的一個立柱上，而鎢絲15第二端與拉伸彈簧17的第一端相連接，拉伸彈簧17的第二端固定在座體11的另一個立柱上，使得鎢絲15與拉伸彈簧17構(gòu)成一個聯(lián)合體橫跨座體11。如上所述可知，由于拉伸彈簧17具有可伸縮的特性，可以確保與其連接的鎢絲15即使是在加電受熱膨脹時也始終處于拉直狀態(tài)。另外，鎢絲15貫穿吸附管基管20，較佳地，鎢絲15與彈性件17形成的連線保持水平，且確保鎢絲15與吸附管基管20的中軸線重合或基本重合。再有，為使得鎢絲15與拉伸彈簧17之間牢固連接，還可以特別提供一個連接塊19，其中，鎢絲15的第二端和拉伸彈簧17的第一端均可以固定在連接塊19。更進一步地，還可以在連接塊19與座體11之間為連接塊19提供一個支持柱體或支持臺面，使得連接塊19在重力方向的高度不變，從而確保鎢絲15始終與吸附管基管20的中軸線相重合。在具體應(yīng)用中，吸附管基管20為石英玻璃管或高硼硅玻璃管，其內(nèi)徑為2毫米至5毫米。鎢絲15為99. 9%以上高純鎢絲，其直徑為0. 2毫米至I. 0毫米。且，鎢絲15與座體11的固定、鎢絲15與連接塊19的固定、拉伸彈簧17與連接塊19的固定、以及拉伸彈簧17與座體11的固定可以通過例如固定螺釘?shù)孺i附元件實現(xiàn)。如上所述，本發(fā)明提供的鍍膜裝置結(jié)構(gòu)簡單，其包括座體、用于承載吸附管基管的承載臺、以及跨設(shè)在所述座體上的鎢絲和彈性件，在一方面可以利用承載臺平穩(wěn)承載待處理的吸附管基管，而在另一方面可以確保貫穿吸附管基管的鎢絲始終處于拉直狀態(tài)(即使是在加電受熱膨脹時)并與所述吸附管基管的中軸線基本重合。本發(fā)明另提供了利用上述鍍膜裝置制作氧化鎢吸附管的方法，圖2即顯示了本發(fā)明利用鍍膜裝置制作氧化鎢吸附管的方法的流程示意圖。結(jié)合圖I和圖2，所述氧化鎢吸附管的制作方法包括首先提供如圖I所示的鍍膜裝置1，包括座體11、承載臺13、以及鎢絲15、以及彈性件17。步驟S201，對待處理的吸附管基管20進行預(yù)處理。在本實施例中，吸附管基管20為石英管或高硼硅玻璃管，其內(nèi)徑為2毫米至5毫米。所述預(yù)處理包括將待處理的吸附管基管20依序經(jīng)過丙酮、質(zhì)量百分比為20%至60%的氫氧化鈉溶液(其中的溶劑為去離子、水)、體積百分比為20%至60%氫氟酸溶液(其中的溶劑為去離子水)進行浸泡，利用去離子水進行清洗，再實施烘干，其中利用丙酮，可以去除吸附管基管20內(nèi)表面附著的有機污染物；利用氫氧化鈉溶液，可以中和包含的酸性污染物；利用氫氟酸溶液，可以中和包含的堿性污染物。另外，利用上述各個溶液的浸泡，在客觀上，還可以相對地增加吸附管基管20的內(nèi)壁的表面粗糙度(增強表面的結(jié)合力)及吸附面積。所述吸附管基管為石英玻璃管或高硼娃玻璃管，其內(nèi)徑為2暈米至5暈米。步驟S203，將待處理的吸附管基管20放置于座體11的承載臺13上。在本實施例中，待將吸附管基管20放置于承載臺13上后還可以通過例如壓緊或緊固等方式將吸附管基管固定于承載臺13。較佳地，吸附管基管20為水平放置。步驟S205，將鎢絲15和彈性件17跨接在座體11上。在本實施例中，鎢絲15為99. 9%以上高純鎢絲，其直徑為0. 2毫米至I. 0毫米。彈性件17為拉伸彈簧。具體地，上述 步驟S205包括利用固定螺絲將鎢絲15的第一端固定在座體11的立柱上，利用固定螺絲將鎢絲15的第二端固定在連接塊19上，利用固定螺絲將拉伸彈簧17的第一端固定在連接塊19上，利用固定螺絲將拉伸彈簧17的第二端固定在座體11的立柱上。鎢絲15與拉伸彈簧17形成的連線保持水平，且確保鎢絲15與吸附管基管20的中軸線相重合；另外，利用拉伸彈簧17具有可伸縮的特性，可以確保與其連接的鎢絲15在加電受熱膨脹時始終處于拉直狀態(tài)。步驟S207，將配置有吸附管基管20和鎢絲15的鍍膜裝置I置于真空環(huán)境下，對鎢絲15進行加電處理，在吸附管基管20的內(nèi)壁表面上形成黑色的鎢鍍層。在本實施例中，所述真空環(huán)境中的壓強為400Pa以下。所述加電處理包括在鎢絲15的兩端通上IOA至18A的直流電流，通電時間為20分鐘至60分鐘。通過上述加電處理，鎢絲15外周壁的部分鎢絲在加電情況下升華為鎢氣，在遇到溫度較低(相對于加電鎢絲的溫度要低很多)的吸附管基管20后又凝華在吸附管基管20的內(nèi)壁表面上而形成黑色的鎢鍍層。步驟S209，將凝華有鎢鍍層的吸附管基管20進行加熱氧化處理，以使得鎢鍍層氧化為淺黃色的三氧化鎢(WO3),從而制作完成氧化鎢吸附管。在本實施例中，所述加熱氧化處理包括將吸附管基管20加熱到200°C至500°C，氧化時間為5分鐘至60分鐘，從而將吸附管基管20內(nèi)壁表面的鎢鍍層氧化為淺黃色的三氧化鎢。由上可知，利用鍍膜裝置制作氧化鎢吸附管的方法，簡便快速，并能提高吸附管內(nèi)壁面上氧化鎢的結(jié)合力和均勻度?，F(xiàn)以一具體實例來對上述利用鍍膜裝置制作氧化鎢吸附管的方法進行詳細說明首先，將為石英玻璃管的待處理吸附管基管依序經(jīng)過丙酮、質(zhì)量百分比為50%的氫氧化鈉溶液、體積百分比為40%氫氟酸溶液進行浸泡，利用去離子水進行清洗，再實施烘干；然后，將預(yù)處理后的吸附管基管放置于座體的承載臺上進行固定，并布設(shè)好鎢絲和彈性件，其中，鎢絲貫穿吸附管基管，較佳地，鎢絲與吸附管基管的中軸線相重合；接著，將配置有吸附管基管和鎢絲的鍍膜裝置置于真空環(huán)境下，在鎢絲15的兩端通上12A的直流電流，通電時間為30分鐘，鎢絲經(jīng)高溫升華后又凝華在吸附管基管的內(nèi)壁表面上而形成黑色的鎢鍍層；最后，將吸附管基管20加熱至350°C，氧化時間為20分鐘，從而將吸附管基管的內(nèi)壁表面的鎢鍍層氧化為淺黃色的三氧化鎢，從而完成氧化鎢吸附管的制作。
綜上所述，本發(fā)明提供一種用于制作氧化鎢吸附管的鍍膜裝置及利用鍍膜裝置制作氧化鎢吸附管的方法，其中，所述鍍膜裝置結(jié)構(gòu)簡單，其包括座體、用于承載吸附管基管的承載臺、以及跨設(shè)在所述座體上的鎢絲和彈性件，在一方面可以利用承載臺平穩(wěn)承載待處理的吸附管基管，而在另一方面可以確保貫穿吸附管基管的鎢絲始終處于拉直狀態(tài)并與所述吸附管基管的中軸線相重合，這樣，利用所述鍍膜裝 置制作氧化鎢吸附管，可以使得制作出的氧化鎢吸附管具有結(jié)合力強、均勻度高、對氨氣吸附效果好等優(yōu)點。上述實施例僅列示性說明本發(fā)明的原理及功效，而非用于限制本發(fā)明。任何熟悉此項技術(shù)的人員均可在不違背本發(fā)明的精神及范圍下，對上述實施例進行修改。因此，本發(fā)明的權(quán)利保護范圍，應(yīng)如權(quán)利要求書所列。
權(quán)利要求
1.一種制作氧化鎢吸附管的鍍膜裝置，其特征在于，包括 座體； 設(shè)于所述座體上、用于承載待處理的吸附管基管的承載臺； 跨設(shè)在所述座體上的鎢絲和彈性件，其中，所述鎢絲貫穿所述吸附管基管，所述鎢絲的第一端固定在所述座體上，所述鎢絲的第二端與所述彈性件的第一端相連接，所述彈性件的第二端固定在所述座體上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的制作氧化鎢吸附管的鍍膜裝置，其特征在于，所述吸附管基管為以石英玻璃或聞硼娃玻璃為材質(zhì)的玻璃管，其內(nèi)徑為2暈米至5暈米。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的制作氧化鎢吸附管的鍍膜裝置，其特征在于，所述鎢絲與所述吸附管基管的中軸線相重合。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或3所述的制作氧化鎢吸附管的鍍膜裝置，其特征在于，所述鎢絲的直徑為0. 2毫米至I. 0毫米。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的制作氧化鎢吸附管的鍍膜裝置，其特征在于，所述彈性件為拉伸彈簧，確保所述鎢絲在加電受熱膨脹時仍處于拉直狀態(tài)。
6.一種利用如權(quán)利要求I至5所示的鍍膜裝置制作氧化鎢吸附管的方法，其特征在于，所述制作方法包括 將待處理的吸附管基管放置于所述座體的承載臺上； 將所述鎢絲和所述彈性件跨接在所述座體上，其中，所述鎢絲貫穿所述吸附管基管，所述鎢絲的第一端固定在所述座體上，所述鎢絲的第二端與所述彈性件的第一端相連接，所述彈性件的第二端固定在所述座體上； 將配置有吸附管基管和鎢絲的鍍膜裝置置于真空環(huán)境下，對所述鎢絲進行加電處理，其中的部分鎢絲在加電情況升華為鎢氣，在遇到溫度較低的所述吸附管基管后又凝華在所述吸附管基管的內(nèi)壁表面上形成黑色的鎢鍍層； 將凝華有所述鎢鍍層的所述吸附管基管進行加熱氧化處理，以使得所述鎢鍍層氧化為淺黃色的三氧化鎢，從而制作完成氧化鎢吸附管。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制作氧化鎢吸附管的方法，其特征在于，在將待處理的吸附管基管放置于所述座體的承載臺上之前還包括對待處理的吸附管基管進行預(yù)處理，所述預(yù)處理包括將待處理的吸附管基管依序經(jīng)過丙酮、質(zhì)量百分比為20%至60%的氫氧化鈉溶液、體積百分比為20%至60%氫氟酸溶液進行浸泡，利用去離子水進行清洗，再實施烘干。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制作氧化鎢吸附管的方法，其特征在于，所述真空環(huán)境的壓強為400Pa以下。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制作氧化鎢吸附管的方法，其特征在于，所述加電處理包括在所述鎢絲的兩端通上IOA至18A的直流電流，通電時間為20分鐘至60分鐘。
10.根據(jù)權(quán)利要求6至9中任一項所述的制作氧化鎢吸附管的方法，其特征在于，所述加熱氧化處理包括將所述吸附管基管加熱到200°C至500°C，氧化時間為5分鐘至60分鐘。
全文摘要
本發(fā)明提供一種鍍膜裝置及利用鍍膜裝置制作氧化鎢吸附管的方法，其中，氧化鎢吸附管制作方法包括將吸附管基管置于座體的承載臺上；將鎢絲和彈性件跨接在座體上，使得鎢絲貫穿吸附管基管；將配置有吸附管基管和鎢絲的鍍膜裝置置于真空環(huán)境下，對鎢絲進行加電處理，鎢絲在加電情況升華為鎢氣并遇到溫度較低的吸附管基管后凝華在吸附管基管的內(nèi)壁表面以形成黑色的鎢鍍層；將凝華有鎢鍍層的吸附管基管進行加熱氧化處理，以使得鎢鍍層氧化為淺黃色的三氧化鎢，從而制作完成氧化鎢吸附管。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明鍍膜裝置結(jié)構(gòu)簡單，利用鍍膜裝置制作氧化鎢吸附管的方法簡單、快速，且可使得制作出的氧化鎢吸附管具有結(jié)合力強和均勻度高等優(yōu)點。
文檔編號C23C14/50GK102677001SQ201210149030
公開日2012年9月19日 申請日期2012年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月14日
發(fā)明者俞志鶴, 居海斌, 閔嘉華 申請人:華瑞科學(xué)儀器(上海)有限公司