專利名稱:鍍膜裝置的制作方法
技術領域:
本發(fā)明涉及一種鍍膜技術,尤其涉及一種鍍膜裝置。
背景技術:
一般,對鍍膜基板進行不同種類鍍膜時,如先對鍍膜基板進行底漆或面漆噴涂,接 著對鍍膜基板進行濺鍍(sputtering),或者對鍍膜基板進行噴霧熱解(Spray pyrolysis) 等等,需要采用不同的鍍膜工藝對該鍍膜基板進行鍍膜。由于鍍膜基板的鍍膜均是在真空 條件下進行的,因此,每當完成一次鍍膜,就必須將該鍍膜基板從對應的鍍膜腔體中撤出, 轉(zhuǎn)移至下一個鍍膜腔體中進行另一次鍍膜。但是,在這個轉(zhuǎn)移過程中,由于該鍍膜基板暴露 在空氣中,容易造成該鍍膜基板剛鍍上的薄膜層被氧化。因此,該鍍膜基板鍍膜完成后,會 造成該鍍膜基板的薄膜層品質(zhì)不佳,從而造成鍍膜良率下降。
發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此,有必要提供一種能提升鍍膜良率的鍍膜裝置。一種鍍膜裝置,其包括一個第一鍍膜腔及一個承載組件。該承載組件包括一個操 作桿及兩個固定于該操作桿上并以該操作桿對稱分布的承載座,每個承載座用于固定一鍍 膜基板。該第一鍍膜腔包括兩個并排設置的第一子腔體及第二子腔體,該第一子腔體及該 第二子腔體與該第一鍍膜腔的底壁共同形成一個沿該第一子腔體及該第二子腔體排列方 向延伸的第一通道。該第一子腔體及該第二子腔體的底壁均開設有一個與該第一通道相通 的鍍膜口。該操作桿固定該承載座的一端收容在該第一通道內(nèi),該操作桿帶動該承載座在 該第一通道內(nèi)以平行于該第一鍍膜腔的底壁旋轉(zhuǎn),并帶動該承載座沿垂直于該第一鍍膜腔 的底壁移動,使該兩個承載座密封兩個鍍膜口并且使該鍍膜基板從該鍍膜口暴露在該第一 子腔體及該第二子腔體內(nèi)。與現(xiàn)有技術相比,所述鍍膜裝置,通過操作桿帶動鍍膜基板旋轉(zhuǎn)及移動使鍍膜基 板在第一子腔體及該第二子腔體內(nèi)進行鍍膜,從而可避免將該鍍膜基板從鍍膜腔中取出而 帶來氧化問題,進而提升了鍍膜良率。
圖1為本發(fā)明第一實施方式提供的一種鍍膜裝置的立體示意圖。圖2為圖1中的鍍膜裝置的承載組件的結構示意圖。圖3為圖1中的鍍膜裝置的承載組件的狀態(tài)示意圖。圖4為圖1中的鍍膜裝置的承載組件的另一種狀態(tài)示意圖。圖5為圖1中的鍍膜裝置的承載組件的又一種狀態(tài)示意圖。圖6為圖1中的鍍膜裝置的承載組件的再一種狀態(tài)示意圖。圖7為本發(fā)明第二實施方式提供的一種鍍膜裝置的部分剖面示意圖。
具體實施例方式下面將結合附圖對本發(fā)明實施方式作進一步的詳細說明。請一并參閱圖1及圖2,為本發(fā)明第一實施方式提供的鍍膜裝置100,其用于對鍍 膜基板200進行鍍膜。該鍍膜裝置100包括一個第一鍍膜腔10、一個第二鍍膜腔90、一個 承載組件20、一個腔門30、一個凸桿40、一個馬達50及一個升降臺60。該第一鍍膜腔10包括兩個并排設置的第一子腔體11及第二子腔體12及一個與 該第一子腔體11、該第二子腔體12相對的底壁103,該第二鍍膜腔90包括兩個并排設置的 第三子腔體14及第四子腔體16及一個與該第三子腔體14、該第四子腔體16相對的頂壁 903。該第一子腔體11、該第二子腔體12、該第三子腔體13及該第四子腔體14呈田字 型分布,該第三子腔體13與該第一子腔體11相對應,該第四子腔體14與該第二子腔體12 相對應。該第一子腔體11及該第二子腔體12與該第一鍍膜腔10的底壁103之間形成一 個第一通道17。該第一子腔體11與該第二子腔體12、該第三子腔體13與該第四子腔體14 之間形成一個與該第一通道17垂直相通的第二通道18,當然,該第三子腔體13與該第四子 腔體14之間的第二通道18可以為實體。該第三子腔體13與該第一子腔體11、該第四子腔 體14與該第二子腔體12之間形成一個與該第一通道17平行且與該二通道18相通的第三 通道19。該第一子腔體11與該第一鍍模腔10項對的側(cè)壁為底壁110,該第二子腔體12與 該第一鍍模腔10項對的側(cè)壁為底壁120,該第三子腔體13與該第一子腔體11相對的側(cè)壁 為底壁130,該第四子腔體14與該第二子腔體12相對的側(cè)壁為底壁140。該底壁110、底 壁120、底壁130及底壁140均開設有一個鍍膜口 101。第一子腔體11及該第二子腔體12 對應的鍍膜口 101與該第一通道17相通,第三子腔體13及該第四子腔體14對應的鍍膜口 101與該第三通道19相通??梢岳斫猓撳兡ぱb置100的子腔體數(shù)量不限于本實施方式中 的四個,可以在第一鍍膜腔10與第二鍍膜腔90的垂直高度上再增加多個第二鍍膜腔90。該承載組件20包括一個操作桿21及兩個固定于該操作桿21上并以該操作桿21 對稱分布的承載座22,每個承載座22用于固定一鍍膜基板200,優(yōu)選地,每個承載座22分 別開設有一個用于收容鍍膜基板200的凹槽220。該操作桿21固定在該承載座22的一端 及該兩個承載座22均收容在該第一通道17內(nèi)。旋轉(zhuǎn)該操作桿21,使該操作桿21帶動該承 載座22在該第一通道17內(nèi)以平行于該第一鍍膜腔10的底壁103旋轉(zhuǎn);沿垂直于該第一鍍 膜腔10的底壁103移動該操作桿21,使該操作桿21帶動該承載座22沿垂直于該第一鍍膜 腔10的底壁103移動。該第一鍍膜腔10的底壁103開設有一個供該操作桿21通過的條 形通孔105,該操作桿21沒有該承載座22的一端通過該條形通孔105延伸在該第一鍍膜腔 10夕卜。該操作桿21在該第一通道17內(nèi)旋轉(zhuǎn)及移動,使其中一個承載座22密封第一子腔 體11的鍍膜口 101并且使對應的鍍膜基板200從該鍍膜口 101暴露在該第一子腔體11內(nèi), 另外一個承載座22密封第二子腔體12的鍍膜口 101并且使對應的鍍膜基板200從該鍍膜 口 101暴露在該第二子腔體12內(nèi)。該操作桿21在該第一通道17內(nèi)旋轉(zhuǎn)可使該兩個承載 座22收容于該第二通道18,該操作桿21在該第二通道18內(nèi)移動可使該兩個承載座22收 容于該第三通道19,從而該操作桿21帶動該承載座22從該第一通道17沿第二通道18移動至該第三通道19。該操作桿21在該第三通道19內(nèi)旋轉(zhuǎn)及移動,使其中一個承載座22密 封第三子腔體13的鍍膜口 101并且使對應的鍍膜基板200從該鍍膜口 101暴露在該第三 子腔體13內(nèi),另外一個承載座22密封第四子腔體14的鍍膜口 101并且使對應的鍍膜基板 200從該鍍膜口 101暴露在該第四子腔體14內(nèi)。相反,該操作桿21在該第三通道19內(nèi)移 動可使該兩個承載座22收容于該第二通道18,該操作桿21在該第二通道18內(nèi)旋轉(zhuǎn)可使該 兩個承載座22收容于該第一通道17。該腔門30用于封閉該第一鍍膜腔10及該第二鍍膜腔90,該凸桿40設置在該腔門 30相對該第一鍍膜腔10及該第二鍍膜腔90的一側(cè)上。該凸桿40包括一個第一桿41及兩 個垂直固定在該第一桿41上的第二桿43,該腔門30封閉該第一鍍膜腔10及該第二鍍膜腔 90時,該第二通道18緊密收容該第一桿41,該第一通道17及該第二通道19分別緊密收容 該兩個第二桿43。該馬達50固定在該升降臺60上,且該馬達50具有一個第一轉(zhuǎn)軸51,該第一轉(zhuǎn)軸 51的一端固定在該操作桿21上。該升降臺60帶動該馬達50與該操作桿21,使該操作桿 21帶動該承載座22密封該鍍膜口 101及使該操作桿21帶動該承載座22沿該第二通道18 移動。當然,該馬達50還可以鑲嵌在該操作桿21中??梢岳斫?,設置該馬達50的驅(qū)動程 序,可使該馬達50按程序運行,從而可以調(diào)整該操作桿21的旋轉(zhuǎn)程度。可以理解,自動實現(xiàn)該操作桿21旋轉(zhuǎn)及移動功能的方法并不局限于本實施方式 中的通過該馬達50及該升降臺60來實施,該鍍膜裝置100可以不設置該馬達50及該升降 臺60,該操作桿21旋轉(zhuǎn)及移動功能通過用手旋轉(zhuǎn)及移動來完成。請結合圖3,該操作桿21固定該兩個承載座22的一端及該兩個承載座22收容在 該第一通道17內(nèi)。該馬達50帶動該操作桿21在該第一通道17內(nèi)旋轉(zhuǎn),當該承載座22與 該第二通道18垂直時,該升降臺60移動該操作桿21在該第一通道17內(nèi)朝靠近鍍膜口 101 的方向移動,從而使其中一個承載座22密封第一子腔體11的鍍膜口 101并且使對應的鍍 膜基板200從該鍍膜口 101暴露在該第一子腔體11內(nèi),另外一個承載座22密封第二子腔體 12的鍍膜口 101并且使對應的鍍膜基板200從該鍍膜口 101暴露在該第二子腔體12內(nèi)。請結合圖4,該馬達50帶動該操作桿21在該第一通道17內(nèi)旋轉(zhuǎn),當該承載座22 收容在該第二通道18內(nèi)時,該升降臺60移動該操作桿21沿該第二通道18從該第一通道 17移動至該第三通道19??梢岳斫?,該兩個承載座22移動過程中,該兩個承載座22始終 收容在該第二通道18內(nèi)。請結合圖5,該馬達50帶動該操作桿21在該第三通道19內(nèi)旋轉(zhuǎn),當該承載座22 與該第二通道18垂直時,該升降臺60移動該操作桿21在該第三通道19內(nèi)朝靠近該第三 子腔體13及該第四子腔體14的鍍膜口 101的方向移動,使其中一個承載座22密封第三子 腔體13的鍍膜口 101并且使對應的鍍膜基板200從該鍍膜口 101暴露在該第三子腔體13 內(nèi),另外一個承載座22密封第四子腔體14的鍍膜口 101并且使對應的鍍膜基板200從該 鍍膜口 101暴露在該第四子腔體14內(nèi)。請結合圖6,該馬達50帶動該操作桿21在該第三通道19內(nèi)旋轉(zhuǎn),當該承載座22 收容在該第二通道18內(nèi)時,該升降臺60移動該操作桿21沿該第二通道18從該第三通道 19移動至該第一通道17??梢岳斫?,該馬達50帶動該操作桿21在該第一通道17內(nèi)旋轉(zhuǎn), 可回到圖3的狀態(tài)。
可以理解,該第一子腔體11及該第二子腔體12可以對該鍍膜基板200執(zhí)行相同 類型的鍍膜,也可以對該鍍膜基板200執(zhí)行不同類型的鍍膜;同樣,該第三子腔體13及該第 四子腔體14之可以對該鍍膜基板200執(zhí)行相同類型的鍍膜,也可以對該鍍膜基板200執(zhí)行 不同類型的鍍膜。請參閱圖7,為本發(fā)明第二實施方式提供的鍍膜裝置100a,其與第一實施方式提 供的鍍膜裝置100的區(qū)別在區(qū)該鍍膜裝置IOOa還包括一個第一馬達50a、一個第二馬達 50b、一個拉繩70及一個吊環(huán)螺釘80,而不包括第一實施方式的鍍膜裝置100的第二鍍膜腔 90、馬達50及升降臺60。該第一馬達50a固定在該操作桿21a遠離該承載座22a的一端,且該第一馬達50a 具有一個第一轉(zhuǎn)軸51a,該第一轉(zhuǎn)軸51a的一端固定在該操作桿21a上且該第一轉(zhuǎn)軸51a與 該操作桿21a平行。該第一馬達50a驅(qū)動該第一轉(zhuǎn)軸51a帶動該操作桿21a在該第一通道 17a內(nèi)旋轉(zhuǎn)。該第二馬達50b固設在該第一鍍膜腔IOa的頂壁903a,且該第二馬達50b具有一 個第二轉(zhuǎn)軸51b。該第二轉(zhuǎn)軸51b與該操作桿21a垂直。該吊環(huán)螺釘80固設在該操作桿 21a固定有該承載座22a的端面上。該拉繩70的一端系在該第二轉(zhuǎn)軸51b上,該拉繩70的 另一端該吊環(huán)螺釘80上。因此,該第二馬達50b驅(qū)動該第二轉(zhuǎn)軸51b旋轉(zhuǎn),使該拉繩70纏 繞在該第二轉(zhuǎn)軸51b上,從而該拉繩70拉動該操作桿21a,進而使該操作桿21a帶動該承載 座22a沿該第二通道18a移動。所述鍍膜裝置IOOa通過操作桿21a帶動鍍膜基板200旋轉(zhuǎn)及移動,使該鍍膜基板 200分別在第一子腔體Ila內(nèi)進行鍍膜,及在該第二子腔體(圖未示)內(nèi)進行鍍膜,從而可 避免將該鍍膜基板200從鍍膜腔中取出而帶來氧化問題,進而提升了鍍膜良率。雖然本發(fā)明已以較佳實施方式披露如上,但是,其并非用以限定本發(fā)明,另外,本 領域技術人員還可以在本發(fā)明精神內(nèi)做其它變化等。當然,這些依據(jù)本發(fā)明精神所做的變 化,都應包含在本發(fā)明所要求保護的范圍之內(nèi)。
權利要求
一種鍍膜裝置,其特征在于,該鍍膜裝置包括一個第一鍍膜腔及一個承載組件,該承載組件包括一個操作桿及兩個固定于該操作桿上并以該操作桿對稱分布的承載座,每個承載座用于固定一鍍膜基板,該第一鍍膜腔包括兩個并排設置的第一子腔體及第二子腔體,該第一子腔體及該第二子腔體與該第一鍍膜腔的底壁共同形成一個沿該第一子腔體及該第二子腔體排列方向延伸的第一通道,該第一子腔體及該第二子腔體的底壁均開設有一個與該第一通道相通的鍍膜口,該操作桿固定該承載座的一端收容在該第一通道內(nèi),該操作桿帶動該承載座在該第一通道內(nèi)以平行于該第一鍍膜腔的底壁旋轉(zhuǎn),并帶動該承載座沿垂直于該第一鍍膜腔的底壁移動,使該兩個承載座密封兩個鍍膜口并且使該鍍膜基板從該鍍膜口暴露在該第一子腔體及該第二子腔體內(nèi)。
2.如權利要求1所述的鍍膜裝置,其特征在于,該鍍膜裝置還包括一個第二鍍膜腔,該 第二鍍膜腔包括兩個并排設置的第三子腔體及第四子腔體,該第一子腔體、該第二子腔體、 該第三子腔體及該第四子腔體呈田字型分布,該第三子腔體與該第一子腔體相對應,該第 四子腔體與該第二子腔體相對應,該第一子腔體與該第二子腔體之間形成一個與該第一通 道垂直相通的第二通道,該第三子腔體與該第一子腔體、該第四子腔體與該第二子腔體之 間形成一個與該第一通道平 行且與該二通道相通的第三通道,該第三子腔體與該第一子腔 體相對的側(cè)壁及該第四子腔體與該第二子腔體相對的側(cè)壁均開設有一個與該第三通道相 通的鍍膜口,該操作桿帶動該承載座從該第一通道通過第二通道移動至該第三通道,并使 該兩個承載座密封該兩個鍍膜口并且使該鍍膜基板從該第三子腔體及第四子腔體內(nèi)。
3.如權利要求2所述的鍍膜裝置,其特征在于,該鍍膜裝置還包括一個用于封閉該第 一鍍膜腔及該第二鍍膜腔的腔門及一個凸桿,該凸桿設置在該腔門相對該第一鍍膜腔及該 第二鍍膜腔的一側(cè)上,該凸桿包括一個第一桿及兩個垂直固定在該第一桿上的第二桿,該 腔門封閉該第一鍍膜腔及該第二鍍膜腔時,該第二通道緊密收容該第一桿,該第一通道及 該第二通道分別緊密收容該兩個第二桿。
4.如權利要求1所述的鍍膜裝置,其特征在于,該第一鍍膜腔的底壁開設有一個供該 操作桿通過的條形通孔。
5.如權利要求1所述的鍍膜裝置,其特征在于,該鍍膜裝置還包括一個用于旋轉(zhuǎn)該操 作桿的馬達。
6.如權利要求2所述的鍍膜裝置,其特征在于,該鍍膜裝置還包括一個固設在該第二 鍍膜腔的頂壁的馬達及一個拉繩,該馬達具有一個第二轉(zhuǎn)軸,該第二轉(zhuǎn)軸與該操作桿垂直, 該拉繩的一端固定在該第二轉(zhuǎn)軸上,該拉繩的另一端固定在該操作桿固定有該承載座的端 面上,該馬達驅(qū)動該第二轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn),使該拉繩纏繞在該第二轉(zhuǎn)軸上,從而該拉繩拉動該操作 桿帶動該承載座密封該鍍膜口及使該操作桿帶動該承載座沿該第二通道移動。
7 如權利要求6所述的鍍膜裝置,其特征在于,該鍍膜裝置還包括一個吊環(huán)螺釘,該吊 環(huán)螺釘固設在該操作桿固定有該承載座的端面上,該拉繩通過系在該吊環(huán)螺釘而固定在該 第二轉(zhuǎn)軸上。
8.如權利要求2所述的鍍膜裝置,其特征在于,該鍍膜裝置還包括一個升降臺,該馬達 固定在該升降臺上,該升降臺帶動該馬達與該操作桿,使該操作桿帶動該承載座密封該鍍 膜口及使該操作桿帶動該承載座沿該第二通道移動。
9.如權利要求1所述的鍍膜裝置,其特征在于,該承載座開設有一個用于收容該鍍膜基板的凹槽。
全文摘要
一種鍍膜裝置,其包括第一鍍膜腔及承載組件。承載組件包括操作桿及兩個固定于操作桿上并以操作桿對稱分布的承載座。每個承載座用于固定一鍍膜基板。第一鍍膜腔包括兩個并排設置的第一子腔體及第二子腔體。第一子腔體及第二子腔體與第一鍍膜腔的底壁共同形成沿該第一子腔體及該第二子腔體排列方向延伸的第一通道,操作桿固定承載座的一端收容在第一通道內(nèi)。第一子腔體及第二子腔體的底壁均開設有與第一通道相通的鍍膜口。操作桿帶動承載座在第一通道內(nèi)以平行于第一鍍膜腔的底壁旋轉(zhuǎn),并帶動承載座沿垂直于第一鍍膜腔的底壁移動,使兩個承載座密封兩個鍍膜口并且使鍍膜基板從鍍膜口暴露在第一子腔體及第二子腔體內(nèi)。所述鍍膜裝置能提升鍍膜良率。
文檔編號C23C14/56GK101880864SQ200910302090
公開日2010年11月10日 申請日期2009年5月4日 優(yōu)先權日2009年5月4日
發(fā)明者裴紹凱 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司