本實用新型屬于焊接技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種大尺寸靶材焊接的定位工裝。

背景技術(shù)：

在TFT液晶面板工業(yè)中，靶材組件是由符合濺射性能的靶材及能與靶材結(jié)合并具有一定強(qiáng)度的背板構(gòu)成。背板可以在所述靶材組件裝配至濺射基臺中起到支撐作用，并具有傳導(dǎo)熱量的功效。

在濺射過程中，靶材組件所處的工作環(huán)境比較惡劣，靶材所處的環(huán)境溫度較高，例如300～600℃；另外，靶材組件的沖以冷卻水強(qiáng)冷，而另一側(cè)處于10^-9Pa的高真空環(huán)境下，由此在靶材組件的相對二側(cè)形成有巨大的壓力差；再有，靶材組件處在高壓電場、磁場中，受到各種粒子的轟擊。因此對靶材組件的焊接強(qiáng)度和靶材和背板的焊接位置要求較為嚴(yán)格。

隨著TFT液晶面板尺寸增大，靶材尺寸越來越大，當(dāng)大尺寸靶材與背板焊接時，靶材在背板焊接的位置，一般通過熟練工人搬運后放置，由于靶材尺寸重量大，人工搬運比較費力，靶材又是在高溫時焊接，要求工人能夠快速準(zhǔn)確把靶材放置到背板上，對工人熟練程度要求高，因此，針對大尺寸銅靶材與背板焊接時制作定位工裝，使靶材能夠準(zhǔn)確放置在背板要求位置具有重要意義。

中國專利CN202667867U公開了一種靶材焊接定位裝置，包括：設(shè)置在背板上的定位孔，適于裝入所述定位孔且對靶材進(jìn)行限位的定位銷。采用本實用新型的靶材焊接定位裝置，當(dāng)靶材放置在背板的焊接面上進(jìn)行焊接時，采用定位銷裝入所述定位孔對靶材進(jìn)行限位，焊接完畢后，取出所述定位銷，因而實現(xiàn)了焊接過程中限制靶材偏移。但是，該專利定位裝置在背板上設(shè)置定位孔，背板受到損害，而且只適合定位固定寬度的靶材，應(yīng)用范圍受限。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為克服上述缺陷，本實用新型的目的在于提供一種大尺寸靶材焊接的定位工裝。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案：

一種大尺寸靶材焊接的定位工裝，包括背板和貼合于背板上端面的夾具，所述夾具由垂直連接的橫板和豎板構(gòu)成，所述橫板寬度與背板寬度相同，所述豎板靠近橫板一端設(shè)置第一橫向滑槽和第二橫向滑槽，所述第一橫向滑槽和第二橫向滑槽深度均小于豎板的厚度，所述第一橫向滑槽和第二橫向滑槽內(nèi)分別設(shè)置第一夾臂和第二夾臂，所述第一橫向滑槽和第二橫向滑槽內(nèi)還分別設(shè)置限制第一夾臂和第二夾臂移動的一個限位塊，所述第一夾臂和第二夾臂均為L形，所述背板分別和第一夾臂和第二夾臂之間設(shè)置一個支撐板，所述橫板兩側(cè)面分別設(shè)置一個第一固定塊，所述第一固定塊上設(shè)置第一定位孔，所述橫板上設(shè)置與所述第一定位孔相匹配的第一螺紋孔，第一緊固螺栓貫穿第一定位孔旋合于第一螺紋孔內(nèi)，所述第一夾臂和第二夾臂外臂分別設(shè)置第二定位孔，所述豎板上設(shè)置與所述第二定位孔相匹配的第二螺紋孔，第二緊固螺栓貫穿第二定位孔旋合于第二螺紋孔內(nèi)。

優(yōu)選地，所述第一橫向滑槽和第二橫向滑槽互相平行或者位于同一直線上。

優(yōu)選地，所述橫板遠(yuǎn)離靶材一側(cè)面還設(shè)置一個第二固定塊，所述第二固定塊上設(shè)置第三定位孔，所述橫板上設(shè)置與所述第三定位孔相匹配的第三螺紋孔，第三緊固螺栓貫通第三定位孔旋合于第三螺紋孔內(nèi)。

優(yōu)選地，所述背板和橫板的總厚度與第一固定塊或者第二固定塊厚度相同。優(yōu)選地，所述第一橫向滑槽和第二橫向滑槽邊緣設(shè)置刻度線。

本實用新型的積極有益效果：

1. 本實用新型所述夾具由垂直連接的橫板和豎板構(gòu)成，所述橫板寬度與背板寬度相同，所述豎板靠近橫板一端設(shè)置第一橫向滑槽和第二橫向滑槽，所述第一橫向滑槽和第二橫向滑槽深度均小于豎板的厚度，所述第一橫向滑槽和第二橫向滑槽內(nèi)分別設(shè)置第一夾臂和第二夾臂，所述第一橫向滑槽和第二橫向滑槽內(nèi)還分別設(shè)置限制第一夾臂和第二夾臂移動的一個限位塊，所述第一夾臂和第二夾臂均為L形，第一夾臂和第二夾臂分別在第一滑槽和第二滑槽內(nèi)抽拉方便，實現(xiàn)對各種寬度的靶材的夾持。所述背板分別和第一夾臂和第二夾臂之間設(shè)置一個支撐板，所述橫板兩側(cè)面分別設(shè)置一個第一固定塊，所述第一固定塊上設(shè)置第一定位孔，所述橫板上設(shè)置與所述第一定位孔相匹配的第一螺紋孔，第一緊固螺栓貫穿第一定位孔旋合于第一螺紋孔內(nèi)，夾具與背板固定牢固。所述第一夾臂和第二夾臂外臂分別設(shè)置第二定位孔，所述豎板上設(shè)置與所述第二定位孔相匹配的第二螺紋孔，第二緊固螺栓貫穿第二定位孔旋合于第二螺紋孔內(nèi)，第二緊固螺栓對第一夾臂和第二夾臂位置固定，夾具對靶材固定牢固。本實用新型定位工裝調(diào)節(jié)靈活，固定牢固，可以實現(xiàn)不同寬度和長度靶材的固定，應(yīng)用范圍廣泛，而且背板不受損傷，可重復(fù)利用。

2. 本發(fā)明所述第一橫向滑槽和第二橫向滑槽互相平行或者位于同一直線上，滑槽設(shè)置方式靈活，適合更大寬度的靶材的夾持，應(yīng)用范圍廣泛。所述橫板遠(yuǎn)離靶材一側(cè)面還設(shè)置一個第二固定塊，所述第二固定塊開設(shè)第三定位孔，所述橫板上設(shè)置與所述第三定位孔相匹配的第三螺紋孔，第三緊固螺栓貫通第三定位孔旋合于第三螺紋孔內(nèi)，對靶材進(jìn)一步實現(xiàn)一側(cè)長度方向固定，靶材固定更加牢固。所述背板和橫板的總厚度與第一固定塊或者第二固定塊厚度相同，固定塊對背板和夾具固定牢固，占用空間小。所述第一橫向滑槽和第二橫向滑槽邊緣設(shè)置刻度線，更加精準(zhǔn)控制第一夾臂和第二夾臂之間的寬度。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例1大尺寸銅靶材焊接的定位工裝的機(jī)構(gòu)示意圖之一；

圖2為本實用新型實施例1大尺寸銅靶材焊接的定位工裝的機(jī)構(gòu)示意圖之二；

圖3為本實用新型實施例1夾具結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型實施例2大尺寸銅靶材焊接的定位工裝的機(jī)構(gòu)示意圖；

圖5為本實用新型實施例3大尺寸銅靶材焊接的定位工裝的機(jī)構(gòu)示意圖；

圖6為本實用新型實施例3夾具結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1-背板，2-第一緊固螺栓，3-第一固定塊，4-夾具，41-橫板，42-豎板，43-第一橫向滑槽，44-第二橫向滑槽，5-第二緊固螺栓，6-第一夾臂，7-第二夾臂，8-靶材，9-限位塊，10-支撐板，11-第二固定塊，12-第三緊固螺栓。

具體實施方式

下面結(jié)合一些具體實施例對本實用新型進(jìn)一步說明。

實施例1

參見圖1-3，一種大尺寸靶材焊接的定位工裝，包括背板1和貼合于背板1上端面的夾具4，所述夾具4由垂直連接的橫板41和豎板42構(gòu)成，所述橫板41寬度與背板1寬度相同，所述豎板42靠近橫板41一端開設(shè)第一橫向滑槽43和第二橫向滑槽44，所述第一橫向滑槽43和第二橫向滑槽44在同一直線上，所述第一橫向滑槽43和第二橫向滑槽43深度均小于豎板42的厚度，所述第一橫向滑槽43和第二橫向滑槽44內(nèi)分別設(shè)置第一夾臂6和第二夾臂7，所述第一橫向滑槽43和第二橫向滑槽44內(nèi)還分別設(shè)置限制第一夾臂6和第二夾臂7移動的一個限位塊9，所述第一夾臂6和第二夾臂7均為L形，所述背板1分別和第一夾臂6和第二夾臂7之間設(shè)置一個支撐板10，所述橫板41兩側(cè)面分別設(shè)置一個第一固定塊3，所述第一固定塊3上開設(shè)第一定位孔，所述橫板41上開設(shè)與所述第一定位孔相匹配的第一螺紋孔，第一緊固螺栓2貫穿第一定位孔旋合于第一螺紋孔內(nèi)，所述第一夾臂6和第二夾臂7外臂分別開設(shè)第二定位孔，所述豎板42上開設(shè)與所述第二定位孔相匹配的第二螺紋孔，第二緊固螺栓5貫穿第二定位孔旋合于第二螺紋孔內(nèi)。

本實用新型大尺寸靶材焊接的定位工裝使用時，根據(jù)靶材8在背板1的位置要求，首先采用第一緊固螺栓2將夾具4與背板1固定，然后根據(jù)靶材8在背板1寬度方向的位置抽拉第一夾臂6和第二夾臂7，使兩者之間距離在公差要求的范圍內(nèi)略大于靶材8的寬度，然后采用第二緊固螺栓5將第一夾臂6和第二夾臂7固定，夾具4整體在背板1固定好后，把需要焊接的靶材8通過吸盤落入背板1上夾具4固定位置，等焊接完成后，去除夾具4，供下一塊靶材8焊接使用。

實施例2

參見圖4，本實施例大尺寸靶材焊接的定位工裝與實施例1大尺寸靶材焊接的定位工裝基本相同，不同之處在于：所述橫板42遠(yuǎn)離靶材8一側(cè)面還設(shè)置一個第二固定塊11，所述第二固定塊11上開設(shè)第三定位孔，所述橫板41上開設(shè)與所述第三定位孔相匹配的第三螺紋孔，第三緊固螺栓12貫通第三定位孔旋合于第三螺紋孔內(nèi)，通過第三緊固螺栓12對靶材8實現(xiàn)一側(cè)長度方向的固定，靶材8固定更加牢固。

實施例3

參見圖5和圖6，本實施例大尺寸靶材焊接的定位工裝與實施例2大尺寸靶材焊接的定位工裝基本相同，不同之處在于：所述第一橫向滑槽43和第二橫向滑槽44互相平行，適合更大寬度的靶材8的夾持，應(yīng)用范圍廣泛。

實施例4

省略附圖，本實施例大尺寸靶材焊接的定位工裝與實施例3大尺寸靶材焊接的定位工裝基本相同，不同之處在于：所述第一橫向滑槽43和第二橫向滑槽44邊緣設(shè)置刻度線。

最后說明的是，以上實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案而非限制，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對本實用新型的技術(shù)方案所做的其他修改或者等同替換，只要不脫離本實用新型技術(shù)方案的精神和范圍，均應(yīng)涵蓋在本實用新型的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。