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一種用于微球裝夾與定位的柔性分散式夾持器的制作方法

文檔序號(hào):12331566閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種用于微球裝夾與定位的柔性分散式夾持器,其特征在于,該夾持器設(shè)有微球吸附桿、長度微調(diào)結(jié)構(gòu)和真空抽氣及調(diào)節(jié)系統(tǒng),所述微球吸附桿采用柱狀結(jié)構(gòu),所述微球吸附桿設(shè)有作為負(fù)壓腔的中心孔,在所述微球吸附桿的頭端設(shè)有吸附口,所述吸附口與所述中心孔軸線重合;在所述微球吸附桿的側(cè)壁上設(shè)有與所述中心孔連接的抽氣孔;所述長度微調(diào)結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在所述微球吸附桿尾端的滑動(dòng)螺桿芯,所述滑動(dòng)螺桿芯通過差動(dòng)螺紋套與所述微球吸附桿連接,在所述差動(dòng)螺紋套內(nèi)設(shè)有旋向相反的左右兩部分螺紋,所述差動(dòng)螺紋套的一部分螺紋與所述微球吸附桿連接,所述差動(dòng)螺紋套的另一部分螺紋與所述滑動(dòng)螺桿芯連接,所述滑動(dòng)螺桿芯與所述微球吸附桿之間通過平鍵連接;所述真空抽氣及調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括與所述抽氣孔連接的電磁閥,所述電磁閥通過真空軟管與微型真空泵連接,在所述真空軟管上連接有壓力表和節(jié)流閥。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于微球裝夾與定位的柔性分散式夾持器,其特征在于,所述吸附口采用喇叭型結(jié)構(gòu)。

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