專利名稱：鋸切工件的方法和裝置的制作方法
鋸切工件的方法和裝置
本發(fā)明涉及鋸切工件的方法和裝置。
為了鋸切工件，即從工件上切割出多個晶圓，可以例如使用 線鋸。
線鋸特別適用于在一個加工步驟中從工件上切割出多個半導(dǎo) 體晶圓、太陽能晶圓和其它晶圓。
在US 5,771,876中描述了一種這樣的線鋸的工作原理。
線鋸具有鋸線群組，這些鋸線群組由圍繞兩個或更多個鋸線 進(jìn)給或引導(dǎo)輥纏繞的鋸線形成。
鋸線可以覆蓋有切割層。
當(dāng)使用鋸線不帶有牢固結(jié)合的切割磨料的線鋸時，在切割過 程中供應(yīng)懸浮液(漿料)形式的切割磨料。
在切割過程中，使固定在工作臺上的工件經(jīng)過鋸線群組，在 鋸線群組中鋸線以彼此平行設(shè)置的鋸線段的形式布置。借助于工 作臺與鋸線群組之間的相對運動實現(xiàn)工件經(jīng)過鋸線群組的操作， 該相對運動由向前進(jìn)給裝置產(chǎn)生，該向前進(jìn)給裝置相對于鋸線群 組進(jìn)給工件(工作臺向前進(jìn)給)或者相對于工件進(jìn)給鋸線群組。
傳統(tǒng)上，工件與鋸帶相連，鋸線在切透工件之后切入鋸帶中。
鋸帶可以為例如石墨帶，該石墨帶粘接性地結(jié)合或者粘結(jié)到 工件的圓周表面上。最后，帶有鋸帶的工件粘結(jié)到工作臺上。
在切割之后，切割的晶圓像梳齒一樣保持固定在鋸帶上并因此可以從線鋸中取出來。隨后，從晶圓上取走留下的鋸帶。
已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，在進(jìn)行線鋸的情況下，在鋸線離開的區(qū)域中在切 割的晶圓上會出現(xiàn)鋸槽(鋸痕)。
在現(xiàn)有技術(shù)中還沒有方法能夠避免這種鋸槽，本發(fā)明的目的 是提供這樣一種方法。
通過一種鋸切工件的方法來達(dá)到本發(fā)明的目的，在該方法中， 將工件進(jìn)給通過由鋸線形成的鋸線群組，其特征在于，工件的各 鋸縫在鋸切過程中充填有鋸切懸浮液。
工件優(yōu)選地浸入充填有鋸切懸浮液的貯液器中，使得工件的 鋸縫充填有鋸切懸浮液。
鋸切懸浮液優(yōu)選地含有磨料和載液。
本發(fā)明還涉及一種適合于鋸切工件的裝置，該裝置包括由鋸 線形成的鋸線群組、保持待鋸切工件并沿鋸線群組的方向進(jìn)給工 件的向前進(jìn)給裝置、以及充填有鋸切懸浮液的貯液器，該貯液器 被布置并充填為使得，至少是鋸線的在鋸切過程中接合的部分被 相應(yīng)地浸入貯液器的鋸切懸浮液中。
本發(fā)明人已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，在根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)將鋸切懸浮液施加到鋸 線上之后，在鋸縫中會發(fā)生鋸切懸浮液的分離(分層)。鋸切懸浮 液的分離是指鋸切懸浮液分離為構(gòu)成磨料(例如碳化硅，Sk)和 載液(例如乙二醇)。
本發(fā)明人還確定，觀察到的鋸槽是由鋸縫中的這種鋸切懸浮 液的分離造成的。
采用根據(jù)本發(fā)明的方法可以避免鋸切懸浮液的分離。
根據(jù)本發(fā)明可以實現(xiàn)上述目的，原因在于，優(yōu)選地通過正浸
入充填有鋸切懸浮液的貯液器中的待鋸切工件，使得在切割過程 中鋸縫中充填有鋸切懸浮液，其中從下方充填貯液器。
在該情況下，優(yōu)選地經(jīng)由裝配在貯液器底部的一個或多個噴 嘴供應(yīng)鋸切懸浮液。這避免磨料沉積。
與鋸線移動方向平行的貯液器端側(cè)優(yōu)選地構(gòu)造成突伸超出貯 液器側(cè)表面的上邊緣。這確保鋸切懸浮液平行于鋸線移動方向流 出貯液器，即流出的鋸切懸浮液的流動路線平行于鋸線移動方向 延伸。
貯液器和位于貯液器底部的一個或多個噴嘴的形狀構(gòu)造成使 得最大程度地在貯液器中形成鋸切懸浮液的層流。優(yōu)選地通過各 種穿孔板來實現(xiàn)這一點，穿孔板在貯液器底部的鋸切懸浮液中產(chǎn) 生均勻的壓力分布。
由于整個鋸縫都充填有鋸切懸浮液，可以避免鋸切懸浮液的 分離。這是基于如下事實在鋸縫與周圍區(qū)域之間鋸切懸浮液的 液體的濃度梯度更小。載液留在鋸縫中并且通過鋸線運輸。
由于上述原因，在鋸線離開處不會發(fā)生磨料耗盡。因此可以 避免如現(xiàn)有技術(shù)中那樣形成鋸槽(鋸痕)。
本發(fā)明的另一優(yōu)點是，在上述方法的整個過程中，可以確保 整個工件的均勻的熱調(diào)節(jié)。因此容易避免負(fù)面溫度影響。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，還可以消除鋸切懸浮液或漿料管路。
DE 19841492 Al公開了 一種使用鋸切懸浮液的線鋸(不供應(yīng) 鋸切懸浮液)，該鋸切懸浮液帶有牢固結(jié)合的磨料，并且提供充填 有冷卻劑例如水的容器，在鋸切過程中將棒浸入該容器中。如此 期望實現(xiàn)對鋸縫的最佳冷卻。上述裝置意圖達(dá)到的目的與本發(fā)明 的目的顯著不同。下面將借助于附圖描述本發(fā)明。


圖1示意性示出根據(jù)本發(fā)明的這種的優(yōu)選實施例。
圖1示出了纏繞有鋸線的四個鋸線進(jìn)給輥。如此形成鋸線群 組。將工件固定在支承板上，并且從下方沿向前進(jìn)給方向?qū)⒐ぜ?進(jìn)給通過鋸線群組。圖中還示出了充填有鋸切懸浮液的貯液器。 在貯液器的底部裝配有噴嘴，通過噴嘴將鋸切懸浮液供應(yīng)到貯液 器中。使工件逐漸地浸入鋸切懸浮液中。這確保鋸縫在整個過程 中都充填有鋸切懸浮液。
權(quán)利要求
1、一種鋸切工件的方法，其中，將工件進(jìn)給通過由鋸線形成的鋸線群組，其特征在于，工件的各鋸縫在鋸切過程中充填有鋸切懸浮液。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，工件浸入充填 有鋸切懸浮液的貯液器中。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，鋸切懸浮液含 有磨料和載液。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，鋸切懸浮液平 行于鋸線移動方向流出貯液器。
5、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，貯液器被布置 并充填為使得，至少是鋸線的在鋸切過程中接合的部分被相應(yīng)地 浸入貯液器的鋸切懸浮液中，從而使得工件的鋸縫充填有鋸切懸 浮液。
6、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，經(jīng)由裝配在貯 液器底部的一個或多個噴嘴供應(yīng)鋸切懸浮液。
7、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，與鋸線移動方 向平行的貯液器端側(cè)突伸超出貯液器側(cè)表面的上邊緣。
8、 一種用于鋸切工件的裝置，其包括由鋸線形成的鋸線群組、 保持待鋸切工件并沿鋸線群組的方向進(jìn)給工件的向前進(jìn)給裝置、以及充填有鋸切懸浮液的貯液器，該貯液器被布置并充填為使得， 至少是鋸線的在鋸切過程中接合的部分被相應(yīng)地浸入貯液器的鋸 切懸浮液中。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種適合于鋸切工件的裝置，該裝置包括由鋸線形成的鋸線群組、保持待鋸切工件并沿鋸線群組的方向進(jìn)給工件的向前進(jìn)給裝置、以及充填有鋸切懸浮液的貯液器，該貯液器被布置并充填為使得，至少是鋸線的在鋸切過程中接合的部分被相應(yīng)地浸入貯液器的鋸切懸浮液中。本發(fā)明還涉及一種鋸切工件的方法，在該方法中，將工件進(jìn)給通過由鋸線形成的鋸線群組，其特征在于，工件的各鋸縫在鋸切過程中充填有鋸切懸浮液。
文檔編號B28D5/00GK101204836SQ20071019276
公開日2008年6月25日 申請日期2007年11月20日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月20日
發(fā)明者F·斯科夫高-澤倫森 申請人:硅電子股份公司