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涂覆結(jié)構(gòu)及其形成方法和具有該涂覆結(jié)構(gòu)的裝置與流程

文檔序號:11965030閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種涂覆結(jié)構(gòu)及其形成方法和具有該涂覆結(jié)構(gòu)的裝置,其中,通過在待涂覆的產(chǎn)品和涂層之間形成氧化鋁層和二氧化硅層來形成所述涂覆結(jié)構(gòu),所述涂覆結(jié)構(gòu)可以提高涂層的耐久性、可靠性和防侵蝕性,此外,還可以提高產(chǎn)品良率。形成在產(chǎn)品表面上的涂覆結(jié)構(gòu)包括形成在產(chǎn)品表面上的氧化鋁(Al2O3)層、形成在氧化鋁(Al2O3)層的表面上的二氧化硅(SiO2)層和形成在二氧化硅(SiO2)層上的涂覆組合物層。

技術(shù)研發(fā)人員:樸炳夏;趙相鎬;金明坤;宋基镕;咸喆;黃仁吾
受保護的技術(shù)使用者:三星電子株式會社
文檔號碼:201210409912
技術(shù)研發(fā)日:2012.10.24
技術(shù)公布日:2017.04.19

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