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涂覆結(jié)構(gòu)及其形成方法和具有該涂覆結(jié)構(gòu)的裝置與流程

文檔序號:11965030閱讀:來源:國知局
涂覆結(jié)構(gòu)及其形成方法和具有該涂覆結(jié)構(gòu)的裝置與流程

技術(shù)特征:
1.一種形成在產(chǎn)品表面上的涂覆結(jié)構(gòu),所述涂覆結(jié)構(gòu)包括:氧化鋁層,形成在產(chǎn)品表面上;二氧化硅層,形成在氧化鋁層的表面上;以及涂覆組合物層,形成在二氧化硅層上,其中,氧化鋁層具有至的厚度,其中,所述涂覆組合物層包括具有由式1:[RaO-(CH2CH2O)p-Rb-]表示的R1基團和由式2:(Rc)q表示的R2基團的硅烷低聚物,其中,Ra選自于由氫和具有1個至3個碳原子的烷基組成的組;Rb選自于由具有5個至20個碳原子的烷基、具有5個至20個碳原子的烯基、具有5個至20個碳原子的炔基、具有5個至20個碳原子的芳基、具有6個至20個碳原子的芳烷基、具有5個至20個碳原子的環(huán)烷基和具有5個至20個碳原子的雜烷基組成的組;p是1至12的整數(shù),Rc是具有3個至20個碳原子的環(huán)烷基,q是1至3的整數(shù)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂覆結(jié)構(gòu),其中,氧化鋁層具有至的厚度。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂覆結(jié)構(gòu),其中,二氧化硅層具有至的厚度。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂覆結(jié)構(gòu),其中,R1基團是從由甲氧基乙氧基十一烷基、甲氧基三甘醇氧基十一烷基、3-甲氧基乙氧基-4-乙酰氧基環(huán)己基乙基、16-(2-甲氧基乙氧基)十六烷基及其衍生物組成的組中選擇的至少一種。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂覆結(jié)構(gòu),其中,R2基團是從由3-環(huán)戊二烯基丙基、雙環(huán)戊基、環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)辛基及其衍生物組成的組中選擇的至少一種。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂覆結(jié)構(gòu),其中,所述硅烷低聚物具有下面式3的結(jié)構(gòu),式3其中,m和n均獨立地為1至10的整數(shù)。7.一種裝置,在所述裝置的表面設(shè)置有涂覆結(jié)構(gòu),其中,所述涂覆結(jié)構(gòu)包括:氧化鋁層,形成在裝置表面上;二氧化硅層,形成在氧化鋁層的表面上;以及涂覆組合物層,形成在二氧化硅層上,其中,氧化鋁層具有至的厚度,其中,所述涂覆組合物層包括具有由式1:[RaO-(CH2CH2O)p-Rb-]表示的R1基團和由式2:(Rc)q表示的R2基團的硅烷低聚物,其中,Ra選自于由氫和具有1個至3個碳原子的烷基組成的組;Rb選自于由具有5個至20個碳原子的烷基、具有5個至20個碳原子的烯基、具有5個至20個碳原子的炔基、具有5個至20個碳原子的芳基、具有6個至20個碳原子的芳烷基、具有5個至20個碳原子的環(huán)烷基和具有5個至20個碳原子的雜烷基組成的組;p是1至12的整數(shù),Rc是具有3個至20個碳原子的環(huán)烷基,q是1至3的整數(shù)。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置,其中,氧化鋁層具有至的厚度。9.一種在產(chǎn)品表面上形成涂覆結(jié)構(gòu)的方法,所述方法包括以下步驟:在產(chǎn)品表面上形成氧化鋁層;在氧化鋁層的表面上形成二氧化硅層;以及在二氧化硅層上形成涂覆組合物層,其中,氧化鋁層具有至的厚度,其中,所述涂覆組合物層包括具有由式1:[RaO-(CH2CH2O)p-Rb-]表示的R1基團和由式2:(Rc)q表示的R2基團的硅烷低聚物,其中,Ra選自于由氫和具有1個至3個碳原子的烷基組成的組;Rb選自于由具有5個至20個碳原子的烷基、具有5個至20個碳原子的烯基、具有5個至20個碳原子的炔基、具有5個至20個碳原子的芳基、具有6個至20個碳原子的芳烷基、具有5個至20個碳原子的環(huán)烷基和具有5個至20個碳原子的雜烷基組成的組;p是1至12的整數(shù),Rc是具有3個至20個碳原子的環(huán)烷基,q是1至3的整數(shù)。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法,其中,通過真空沉積執(zhí)行氧化鋁層的形成、二氧化硅層的形成以及涂覆組合物層的形成。11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法,其中,二氧化硅層具有至的厚度。12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法,其中,氧化鋁層具有至的厚度。
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