本發(fā)明涉及在基板上印刷糊狀釬焊料或?qū)щ娦愿嗟雀嗟慕z網(wǎng)印刷裝置。

背景技術(shù)：
作為在電子零件實(shí)裝工序中，在基板上印刷糊狀釬焊料或?qū)щ娦愿嗟雀嗟姆椒ǎ瑥V泛采用經(jīng)由設(shè)于掩模板上的圖案孔在基板上轉(zhuǎn)印膏的絲網(wǎng)印刷。在印刷作業(yè)中，由于在掩模板的下面，在基板上附著從印刷部位溢出的糊狀釬焊料，或者沒有被完全轉(zhuǎn)印在基板上的糊狀釬焊料殘留在掩模板的開口部，因此，需要以規(guī)定的間隔進(jìn)行用于吸收或擦拭這些糊狀釬焊料的清潔作業(yè)。因此，目前，在絲網(wǎng)印刷裝置上設(shè)置有用清潔片材擦拭、清掃掩模板的下面的清潔機(jī)構(gòu)。而且，在溶劑成分蒸發(fā)而粘度上升的糊狀釬焊料成為除去對(duì)象的情況下，為確保良好的清潔性能而采用使用含浸了IPA等洗滌液的清潔片材的濕式清潔（例如，參照專利文獻(xiàn)1）。該專利文獻(xiàn)1所示的濕式清潔方式的清潔機(jī)構(gòu)中，由氣壓驅(qū)動(dòng)的泵吸入并排出貯存在罐內(nèi)的洗滌液，從設(shè)于清潔頭上的排出嘴向片材供給。作為泵，一般使用結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且廉價(jià)的隔膜式的泵，在從泵到排出嘴的排出配管中，設(shè)置有用于防止泵停止時(shí)的洗滌液的倒流的止回閥。專利文獻(xiàn)1：（日本）特開2006-7462號(hào)公報(bào)但是，在上述構(gòu)成的清潔機(jī)構(gòu)中，由于洗滌液的排出系的構(gòu)成，在穩(wěn)定供給洗滌液方面存在如下的難點(diǎn)。即，氣壓驅(qū)動(dòng)的隔膜式泵，因結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的泵所內(nèi)裝的吸入閥、排出閥的工作不穩(wěn)定而容易產(chǎn)生液體滲漏，并且在泵內(nèi)，因隔膜而在對(duì)洗滌液進(jìn)行加壓的加壓室內(nèi)容易產(chǎn)生空氣滯留等，因此，難以穩(wěn)定地確保正確的排出量。另外，關(guān)于與該泵組合而用于防止洗滌液的倒流的止回閥，由于其為通過彈簧將閥體按壓在閥座上的構(gòu)成，因此，在閥體與閥座的接觸面被洗滌液中包含的有機(jī)成分等粘合那樣的情況下，閥體的正常動(dòng)作不能進(jìn)行，也不能發(fā)揮作為止回閥的作用。這樣，在現(xiàn)有絲網(wǎng)印刷裝置所配備的濕式的清潔機(jī) 構(gòu)中，存在難以向清潔片材穩(wěn)定地供給洗滌液之類的課題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
于是，本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠穩(wěn)定地向清潔片材供給洗滌液的絲網(wǎng)印刷裝置。本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷裝置，具有：絲網(wǎng)印刷部，其通過使設(shè)有圖案孔的掩模板與基板抵接，并使刮板在供給有膏的掩模板上滑動(dòng)，由此，經(jīng)由所述圖案孔將膏印刷到基板上；清潔機(jī)構(gòu)，其利用清潔頭將清潔片材按壓在所述掩模板的下面并使其滑動(dòng)，由此，對(duì)該掩模板進(jìn)行清潔，其特征在于，所述清潔機(jī)構(gòu)具有設(shè)于所述清潔頭上向所述清潔片材排出洗滌液的排出嘴和將所述洗滌液向所述排出嘴供給的洗滌液供給部，所述洗滌液供給部具備：液體供給罐，其貯存所述洗滌液；吸入配管，其吸入所述液體供給罐內(nèi)的洗滌液；泵，其利用驅(qū)動(dòng)空氣使隔膜往復(fù)運(yùn)動(dòng)，從而使從與所述吸入配管連接的吸入口吸入洗滌液并從排出口排出；閥，其與所述排出口連接，并介設(shè)于至所述排出嘴的排出配管，通過利用驅(qū)動(dòng)空氣而動(dòng)作的閥機(jī)構(gòu)，對(duì)該排出配管進(jìn)行開關(guān)；空氣供給控制部，其控制向所述泵及所述閥供給驅(qū)動(dòng)空氣，所述空氣供給控制部在所述泵驅(qū)動(dòng)時(shí)可將所述閥置于打開狀態(tài)而進(jìn)行向所述排出配管的洗滌液的供給，在所述泵停止時(shí)可將所述閥置于關(guān)閉狀態(tài)而防止所述排出配管內(nèi)的洗滌液的倒流。根據(jù)本發(fā)明，在利用空氣驅(qū)動(dòng)的隔膜式的泵吸入液體供給罐內(nèi)的洗滌液，經(jīng)由與泵的排出口連接的排出配管向排出嘴輸送的洗滌液供給系統(tǒng)中，具備控制向開關(guān)排出配管的具備空氣驅(qū)動(dòng)的閥機(jī)構(gòu)的閥及泵的驅(qū)動(dòng)空氣的供給的空氣供給控制部，在泵驅(qū)動(dòng)時(shí)可以將閥置于打開狀態(tài)而進(jìn)行向排出配管的洗滌液的供給，在泵停止時(shí)將閥置于關(guān)閉狀態(tài)而防止排出配管內(nèi)的洗滌液的倒流，由此，防止使用隔膜式的泵的現(xiàn)有裝置中的閥工作不良引起的故障，能夠穩(wěn)定地向清潔片材供給洗滌液。附圖說明圖1是本發(fā)明一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷裝置的正面圖；圖2是本發(fā)明一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印尉裝置的側(cè)面圖；圖3是本發(fā)明一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷裝置的平面圖；圖4是本發(fā)明一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷裝置中的清潔單元的結(jié)構(gòu)說明圖；圖5是本發(fā)明一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷裝置的清潔單元所具備的洗滌液供給部的結(jié)構(gòu)說明圖；圖6是本發(fā)明一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷裝置的清潔單元所使用的洗滌液排出用的泵的結(jié)構(gòu)說明圖；圖7是本發(fā)明一實(shí)施方式的絲網(wǎng)印刷裝置中的液體供給配管系的作用說明圖。符號(hào)說明1基板定位部8基板9印刷傳送帶10絲網(wǎng)印刷部12掩模板15刮板20清潔單元24清潔頭27清潔片材29排出嘴30洗滌液供給部31排出配管32洗滌液33液體供給罐34吸入配管34b彎曲部35泵35f隔膜36吸入口37排出口39空氣驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)42閥43電磁閥44空氣供給源具體實(shí)施方式首先，參照?qǐng)D1、圖2、圖3說明絲網(wǎng)印刷裝置的構(gòu)造。在圖1中，絲網(wǎng)印刷裝置是在基板定位部1的上方配設(shè)絲網(wǎng)印刷部10而構(gòu)成。基板定位部1是堆積Y軸工作臺(tái)2、X軸工作臺(tái)3及θ軸工作臺(tái)4，再在其上載置Z軸工作臺(tái)5而構(gòu)成。在Z軸工作臺(tái)5上設(shè)有從下面?zhèn)冉邮鼙３只宓幕灞３植?。從上游側(cè)經(jīng)由搬入傳送帶9A（圖2）搬入的基板8由印刷傳送帶9搬入到基板保持部6上，且由夾持器7從兩側(cè)夾住而位置被固定。由以下說明的絲網(wǎng)印刷部10印刷后的基板8經(jīng)由搬出傳送帶9B向下游側(cè)被搬出。配設(shè)于基板定位部1的上方的絲網(wǎng)印刷部10具備張開在掩?？?1上的掩模板12。在掩模板12上設(shè)有與印刷對(duì)象相對(duì)應(yīng)的圖案孔12a（參照?qǐng)D3）。如圖2所示，在配設(shè)于基板定位部1的兩側(cè)的縱框架21的側(cè)面，向內(nèi)側(cè)水平延伸配設(shè)有兩根棒形狀的托架22。在兩根托架22的上面，沿Y方向架設(shè)有L字形截面形狀的掩模架23。掩模架23對(duì)掩模板12的掩?？?1進(jìn)行定位保持。在掩模板12上配設(shè)有刮板頭13。刮板頭13設(shè)定為在水平的板13a上配設(shè)有使刮板15升降的刮板升降機(jī)構(gòu)14的構(gòu)成，如圖2所示，板13a的兩端由排列在縱框架21上的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)支承，并沿Y方向滑動(dòng)自如。板13a通過由螺母16a、進(jìn)給絲杠16b及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)（省略圖示）構(gòu)成的刮板移動(dòng)裝置沿Y方向進(jìn)行水平移動(dòng)。并且通過驅(qū)動(dòng)刮板升降機(jī)構(gòu)14，刮板15升降并與掩模板12的上面抵接。在使Z軸工作臺(tái)5上升而使掩模板12的下面與基板8抵接的狀態(tài)下，在供給有膏即糊狀釬焊料的掩模板12上，驅(qū)動(dòng)刮板移動(dòng)裝置使刮板15沿Y方向移動(dòng)，由此，糊狀釬焊料經(jīng)由圖案孔12a被印刷在基板8上。即，絲網(wǎng)印刷部10通過使基板8與設(shè)有圖案孔12a的掩模板12抵接，并使刮板15在掩模板12上滑動(dòng)，經(jīng)由圖案孔12a將膏即糊狀釬焊料印刷到基板8上。在絲網(wǎng)印刷部10的上方設(shè)有攝像機(jī)19。如圖3所示，攝像機(jī)19利用X軸工作臺(tái)18及Y軸工作臺(tái)17沿XY方向進(jìn)行水平移動(dòng)。X軸工作臺(tái)18及Y軸工作臺(tái)17為使攝像機(jī)19移動(dòng)的攝像機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)。利用攝像機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)使攝像機(jī)19相對(duì)于掩模板12而移動(dòng)，由此，攝像機(jī)19拍攝掩模板12的任意的位置?；宥ㄎ徊?可以利用Y軸工作臺(tái)2從絲網(wǎng)印刷部10的下方沿Y 方向移動(dòng)，使所保持的基板8移動(dòng)到基板識(shí)別位置，在該狀態(tài)下使攝像機(jī)19在基板定位部1上的基板8上移動(dòng)，由此，用攝像機(jī)19拍攝基板8的任意的位置，能夠識(shí)別基板位置。在Y軸工作臺(tái)2上的基板定位部1的側(cè)方，配設(shè)有清潔單元20（清潔機(jī)構(gòu)）。清潔單元20為在本體部20a內(nèi)配設(shè)有以下進(jìn)行說明的各要素的構(gòu)成，從本體部20a的上部突出有清潔頭24。通過驅(qū)動(dòng)Y軸工作臺(tái)2，清潔單元20和基板定位部1一起沿Y方向移動(dòng)，利用清潔頭24對(duì)掩模板12的下面進(jìn)行清洗。在本實(shí)施方式中，作為清潔機(jī)構(gòu)的清潔單元20具有利用清潔頭24將清潔片材27（參照?qǐng)D4）按壓在掩模板12的下面并使其滑動(dòng)，由此對(duì)掩模板12進(jìn)行清洗的作用。另外，在本實(shí)施方式中，表示了通過驅(qū)動(dòng)基板定位部1的Y軸工作臺(tái)2而使清潔單元20水平移動(dòng)的構(gòu)成例，但也可以將清潔單元20的水平移動(dòng)與基板定位部1分離而設(shè)置獨(dú)立的清潔單元驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。接著，參照?qǐng)D4說明清潔單元20的構(gòu)成。在清潔單元20的本體部20a的上面配設(shè)有清潔頭24，該清潔頭24利用升降裝置（省略圖示）以升降自如的方式配設(shè)。在本體部20a設(shè)有清潔片材27的供給卷筒25及回收卷筒26。清潔片材27從供給卷筒25抽出并圍繞清潔頭24的上面旋轉(zhuǎn)，由回收卷筒26卷取。在使清潔頭24上升而將清潔片材27壓入到掩模板12的下面的狀態(tài)下，通過使清潔單元20水平移動(dòng)，從下面?zhèn)惹逑囱谀０?2。在從供給卷筒25抽出的清潔片材27到達(dá)清潔頭24的上面的輸送路徑上，配置有多個(gè)導(dǎo)向輥28a及排出嘴29。清潔片材27圍繞這些導(dǎo)向輥28a及排出嘴29旋轉(zhuǎn)而被送至清潔頭24的上面，在清潔中被使用后，經(jīng)由導(dǎo)向部28b卷取到回收卷筒26。排出嘴29是空心管狀的部件，在排出嘴29的上面?zhèn)仍O(shè)有多個(gè)排出孔29a。排出嘴29的空心部與向下方導(dǎo)設(shè)的排出配管31連接，排出配管31還與配設(shè)在本體部20a內(nèi)的洗滌液供給部30連接。洗滌液供給部30具有貯存乙醇或異丙醇等被用于清潔的洗滌液32，并使其從排出嘴29的排出孔29a排出的作用。即、清潔單元20為具有設(shè)于清潔頭24上以向清潔片材27排出洗滌液32的排出嘴29和將洗滌液32向排出嘴29供給的洗滌液供給部30的構(gòu)成。而且，由洗滌液供給部30供給到排出嘴29的洗滌液32進(jìn)而從排出孔29a向外 周部排出而含浸于清潔片材27。接著，參照?qǐng)D5說明洗滌液供給部30的構(gòu)成。洗滌液供給部30為配設(shè)有向單元框30a內(nèi)貯存洗滌液32的液體供給罐33、從液體供給罐33吸入洗滌液32并排出的泵35、斷開/連接自泵35的排出的閥42及用于驅(qū)動(dòng)、控制泵35和閥42的電磁閥43的構(gòu)成。即，在單元框30a的下部配置有貯存洗滌液32的液體供給罐33，在液體供給罐33中從上方插入使吸入口34a位于洗滌液32內(nèi)的吸入配管34，該吸入配管34吸入貯存在液體供給罐33內(nèi)的洗滌液32。吸入配管34從液體供給罐33向上方伸出，經(jīng)過向上彎曲成凸形狀的彎曲部34b而下垂，進(jìn)而，向上方彎曲的端部的連接口34c與泵35的吸入口36連接。電磁閥43的P口、R口分別與空氣供給源44、排氣單元45連接，在電磁閥43的P口總是被供給驅(qū)動(dòng)空氣。電磁閥43的開關(guān)動(dòng)作由控制部46控制，經(jīng)由電磁閥43、空氣配管40、空氣連接口38向泵35供給驅(qū)動(dòng)空氣，由此，液體供給罐33內(nèi)的洗滌液32經(jīng)由吸入配管34被吸入到泵35內(nèi)。然后，再經(jīng)由設(shè)于泵35的上部的排出口37向排出配管31排出。在上述的配管系中，吸入配管34設(shè)定為具有向上彎曲成凸形狀的彎曲部34b的形態(tài)，該彎曲部34b配設(shè)為上端部位于比泵35的排出口37高出規(guī)定的高度差△h的高度水平。另外，理想的是，液體供給罐33與泵35的相對(duì)高度為，泵35位于盡量和液體供給罐33同水平的高度水平、或者泵35位于液體供給罐33內(nèi)的液面的更下方。在排出配管31上介設(shè)有用于開關(guān)排出配管31的具備空氣驅(qū)動(dòng)的閥機(jī)構(gòu)的二通閥即閥42，經(jīng)由空氣配管41供給驅(qū)動(dòng)空氣，由此，能斷開/連接閥42的P口、A口。即，閥42與排出口37連接，并在直到排出嘴29的排出配管31中設(shè)于比泵35高的位置，具有通過利用驅(qū)動(dòng)空氣進(jìn)行工作的閥機(jī)構(gòu)開關(guān)該排出配管31的作用。然后，通過驅(qū)動(dòng)閥42將排出配管31關(guān)閉，在排出配管31中比閥42更靠上側(cè)的配管內(nèi)的洗滌液32被閥42截?cái)啵梢詮氐追乐瓜礈煲?2朝向下方流動(dòng)的倒流。由此，不會(huì)產(chǎn)生在從泵35的排出口37直到排出嘴29的排出配管31中設(shè)有止回閥的構(gòu)成的現(xiàn)有技術(shù)中的問題，即，不會(huì)產(chǎn)生洗滌液32中的有機(jī)異物等附著在止回閥的閥體和閥座的抵接面而引起的動(dòng)作不良，能夠穩(wěn)定地確保洗滌液32的防倒流作用。此外，由于止回閥的構(gòu)造是僅在流體超過規(guī)定的啟動(dòng)壓力的狀態(tài)下允許其流動(dòng)，因此，在為了以小流量排出而在低流體壓下使用的情況下，存在不能獲得穩(wěn)定的排出量的難點(diǎn)。與此相反，如本實(shí)施方式所示，通過使用由二通閥即閥42明確地切換開關(guān)的方式，從泵35排出的洗滌液32在低壓、低流量的使用條件下也能夠進(jìn)行穩(wěn)定的液體供給?？諝馀涔?1和空氣配管40同樣地與同一電磁閥43的A口連接，由控制部46控制電磁閥43，由此，能夠?qū)Ⅱ?qū)動(dòng)空氣在任意的時(shí)刻經(jīng)由空氣配管40、41分別同時(shí)向泵35、閥42進(jìn)行供給。因此，泵35進(jìn)行的洗滌液的排出動(dòng)作和閥42進(jìn)行的排出配管31的大開動(dòng)作總能做到同步，并且，當(dāng)泵35停止排出時(shí)，排出配管31總是被關(guān)閉。電磁閥43及控制部46構(gòu)成控制向泵35及閥42的驅(qū)動(dòng)空氣的供給的空氣供給控制部。接著，參照?qǐng)D6說明泵35的構(gòu)造及作用。如圖6所示，泵35的構(gòu)造為，在形成于外殼部35a的內(nèi)部的吸入排出空間35b內(nèi)，利用空氣驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)39使富有撓性的膜部件即隔膜35f沿箭頭方向往復(fù)移動(dòng)。從空氣連接口38經(jīng)由內(nèi)部流路35c向空氣驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)39供給驅(qū)動(dòng)空氣。吸入排出空間35b經(jīng)由吸入側(cè)流路35d、排出側(cè)流路35e分別與吸入口36、排出口37連接。吸入口36、排出口37都內(nèi)裝有如下構(gòu)成的止回閥，即，將圓錐形狀的閥座面36b、閥座面37b和球體36c、37c組合，將球體36c、37c按壓在閥座面36b、37b上而堵塞導(dǎo)入流路36a、37a，吸入口36、排出口37都是僅允許洗滌液32從導(dǎo)入流路36a、37a向上方的單方向的流動(dòng)。通過驅(qū)動(dòng)空氣驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)39使隔膜35f在吸入排出空間35b內(nèi)往復(fù)移動(dòng)，經(jīng)由吸入口36從吸入配管34向吸入排出空間35b內(nèi)吸入洗滌液32，再經(jīng)由排出口37從吸入排出空間35b將洗滌液32向排出配管31排出。即，泵35具有利用驅(qū)動(dòng)空氣使隔膜35f往復(fù)移動(dòng)，由此，從連接于吸入配管34的吸入口36吸入洗滌液32并從排出口37排出的作用。在通過洗滌液供給部30向排出嘴29供給洗滌液32的液體供給動(dòng)作中，由控制部46及電磁閥43構(gòu)成的空氣供給控制部以下對(duì)各部分進(jìn)行控制。即，在為了向排出配管31排出洗滌液32而使泵35動(dòng)作的泵驅(qū)動(dòng)時(shí)，將閥42置于打開狀態(tài)，允許從排出口37排出的洗滌液32的流動(dòng)。由此，可以向排出配管31供給洗滌液32。另外，在為了止住洗滌液32的排出而使泵35的動(dòng)作停止的泵停止時(shí)，將閥42置于關(guān)閉狀態(tài)，防止排出配管31內(nèi)的洗滌液32的 倒流。圖7表示在持續(xù)進(jìn)行該液體供給動(dòng)作的過程中，使泵35的動(dòng)作停止的狀態(tài)下的配管系各部分的洗滌液32的殘留狀態(tài)。即，在通過泵35連續(xù)地吸入、排出液體供給罐33內(nèi)的洗滌液32的液體供給狀態(tài)時(shí)，吸入配管34內(nèi)、泵35的吸入排出空間35b內(nèi)及排出配管31內(nèi)，利用泵35的泵作用而被洗滌液32充滿。若在該狀態(tài)下停止泵35，與泵35的排出停止同步閥42成為關(guān)閉狀態(tài)。然后，通過將閥42徹底關(guān)閉，配管系內(nèi)的洗滌液32成為流動(dòng)被制約的狀態(tài)。在本實(shí)施方式所示的洗滌液供給部30的配管系中，設(shè)于吸入配管34的彎曲部34b配設(shè)為上端部位于比泵35的排出口37高規(guī)定的高度差△h的高度水平，因此，在從泵35到閥42的排出配管31內(nèi)，洗滌液32的液體水平L至少不會(huì)比彎曲部34b的上端部低。因此，排出口37、吸入口36內(nèi)的止回閥機(jī)構(gòu)處于總是被浸泡在洗滌液32中的接觸液體狀態(tài)，即使在泵停止?fàn)顟B(tài)下也不會(huì)產(chǎn)生排出口37、吸入口36內(nèi)的止回閥機(jī)構(gòu)被暴露在大氣中引起的有機(jī)異物的附著，也不會(huì)損害排出口37、吸入口36的止回閥作用。另外，包括排出口37且從泵35到液體供給罐33內(nèi)的配管系，處于大部分由洗滌液32充滿的接觸液體狀態(tài)，在使泵35再起動(dòng)而開始排出時(shí)，空氣的吸入引起的空動(dòng)作少，能夠迅速地移行至通常的吸入、排出狀態(tài)。而且，即使在產(chǎn)生了空氣吸入的情況下，空氣也會(huì)在吸入配管34及泵35內(nèi)分散成小的氣泡并向洗滌液32內(nèi)擴(kuò)散，因此，能夠減少大容積的空氣以塊狀態(tài)流動(dòng)造成的液體供給不良的情況。工業(yè)上的應(yīng)用本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷裝置具有能夠穩(wěn)定地向清潔片材供給洗滌液的效果，可以用于進(jìn)行使清潔片材含浸洗滌液的濕式的掩模清洗的絲網(wǎng)印刷裝置。