11時(shí)，該第二處理后晶圓影像中各該晶圓W的水平邊緣將被區(qū)分出來(lái)，進(jìn)而在該第二處理后晶圓影像與不同片數(shù)的晶圓的晶圓數(shù)據(jù)影像比對(duì)后，該第二判斷模塊145可判斷出有超過(guò)一個(gè)晶圓W通過(guò)該檢測(cè)區(qū)11，進(jìn)而發(fā)出警告或終止該晶圓制程設(shè)備10的運(yùn)作，從而可在單晶圓制程中，確保每次僅一個(gè)晶圓W進(jìn)入該檢測(cè)區(qū)11中，亦即確保該晶圓制程設(shè)備10將多個(gè)晶圓W—個(gè)一個(gè)依序運(yùn)送至適當(dāng)位置進(jìn)行處理。
[0053]借此，該晶圓檢測(cè)系統(tǒng)100’通過(guò)比較晶圓進(jìn)入該檢測(cè)區(qū)前后的影像變化，可由該第一處理單元120的該第一判斷模塊123與該第二處理單元140的該第二判斷模塊145判斷出通過(guò)該檢測(cè)區(qū)11的晶圓W的片數(shù)、位置及是否破片，以確保該晶圓W的質(zhì)量。
[0054]再者，于本實(shí)施例中，該數(shù)據(jù)庫(kù)141的該訓(xùn)練模塊1411預(yù)先儲(chǔ)存有曾經(jīng)被誤判晶圓片數(shù)的該第二處理后晶圓影像，其中該第二處理后晶圓影像是否造成該第二判斷模塊145的誤判可由人工事先由該第二判斷模塊124的判斷結(jié)果確認(rèn)，以訓(xùn)練該第二判斷模塊145自我學(xué)習(xí)避免再次誤判。其中，該數(shù)據(jù)庫(kù)141可還包含驗(yàn)證模塊1412，用于接收該第二判斷模塊145的判斷結(jié)果，并根據(jù)該訓(xùn)練模塊1411的數(shù)據(jù)驗(yàn)證該第二判斷模塊145的判斷結(jié)果是否誤判，以再次確認(rèn)第二判斷模塊145的判斷結(jié)果的正確性及判讀率，進(jìn)而供后續(xù)調(diào)整及訓(xùn)練該第二判斷模塊145的參考。
[0055]請(qǐng)參照?qǐng)D3，圖3為本發(fā)明第三具體實(shí)施例的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)的示意圖。如圖所示，本發(fā)明的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)200，應(yīng)用于處理晶圓(圖未示)的晶圓制程設(shè)備(圖未示)上，且該晶圓制程設(shè)備具有供該晶圓通過(guò)的檢測(cè)區(qū)(圖未示)，該晶圓檢測(cè)系統(tǒng)200包含聲音感測(cè)單元210、聲音處理模塊220及聲音判斷模塊230。
[0056]該聲音感測(cè)單元210包含主聲音傳感器211與背景音傳感器213，該主聲音傳感器211設(shè)置于該檢測(cè)區(qū)的鄰近處以產(chǎn)生主聲音信號(hào)，該背景音傳感器213設(shè)置于該晶圓制程設(shè)備的控制電路中以產(chǎn)生背景音信號(hào)。
[0057]該聲音處理模塊220包含帶通濾波器221與適應(yīng)性濾波器223，該帶通濾波器221連接該聲音感測(cè)單210元的該主聲音傳感器211，該帶通濾波器211用于將該主聲音信號(hào)中特定音頻外的信號(hào)濾除而產(chǎn)生一處理后主聲音信號(hào)，且該適應(yīng)性濾波器223連接該帶通濾波器221與該背景音傳感器213，該適應(yīng)性濾波器223用于根據(jù)該背景音信號(hào)的變化而從該處理后主聲音信號(hào)中濾除噪聲以輸出目標(biāo)信號(hào)。
[0058]該聲音判斷模塊230連接該聲音處理模塊220的該適應(yīng)性濾波器223，該聲音判斷模塊230用于將該目標(biāo)信號(hào)與正常音頻值比較而判斷該晶圓是否破片。
[0059]其中，該特定音頻可為包含4Hz?6kHz之間的聲音信號(hào)，為該晶圓發(fā)生破片時(shí)主要會(huì)發(fā)出的聲音頻率，而即為判斷該晶圓是否破片的該目標(biāo)信號(hào)的頻率范圍，其中，該帶通濾波器221可采用多階帶通濾波器來(lái)濾除該特定音頻外的噪聲，以先行將該主聲音信號(hào)中與該晶圓破片時(shí)所會(huì)發(fā)出的聲音頻率差距較大的噪聲濾除。此外，該正常音頻值為未發(fā)生破片的晶圓通過(guò)該檢測(cè)區(qū)時(shí)，該處理后主聲音信號(hào)濾除噪聲后的聲音頻率統(tǒng)計(jì)值，因此，借由比較每次該晶圓經(jīng)過(guò)該檢測(cè)區(qū)后由該聲音處理模塊所輸出的該目標(biāo)信號(hào)與該正常音頻值，該聲音判斷模塊230即可判斷該晶圓是否破片。
[0060]運(yùn)用該晶圓檢測(cè)系統(tǒng)200檢測(cè)時(shí)，先利用該主聲音傳感器211感測(cè)鄰近該晶圓周圍的聲音，并產(chǎn)生該主聲音信號(hào)，而由于該晶圓周圍環(huán)境背景音的干擾使得該主聲音信號(hào)帶有許多噪聲，同時(shí)，利用該背景音傳感器213檢測(cè)該晶圓制程設(shè)備的控制電路周圍的背景音，并產(chǎn)生該背景音信號(hào)，接著，通過(guò)該帶通濾波器221先行將該主聲音信號(hào)中特定音頻外的信號(hào)濾除并產(chǎn)生該處理后主聲音信號(hào)，再由該適應(yīng)性濾波器223根據(jù)該背景音信號(hào)估算出該處理后主聲音信號(hào)中尚未濾除的噪聲，以進(jìn)一步將該處理后主聲音信號(hào)中的噪聲濾除，亦即通過(guò)該適應(yīng)性濾波器223從該主聲音信號(hào)中將該背景音所產(chǎn)生的噪聲完全濾除而輸出該目標(biāo)信號(hào)，最后，借由比較該目標(biāo)信號(hào)與該正常音頻值，供該聲音判斷模塊230做出該晶圓是否破片的判斷，進(jìn)而發(fā)出警告或終止該晶圓制程設(shè)備的運(yùn)作。
[0061]具體而言，例如經(jīng)過(guò)該帶通濾波器221所產(chǎn)生的該處理后主聲音信號(hào)為S + %，S為供該聲音判斷模塊230判斷該晶圓是否破片的目標(biāo)信號(hào)，n0為該處理后主聲音信號(hào)中尚未濾除的噪聲，且該背景音頻號(hào)為Ii1,當(dāng)該背景音信號(hào)ηι通過(guò)該適應(yīng)性濾波器223后，該適應(yīng)性濾波器223會(huì)根據(jù)該背景音信號(hào)Ii1產(chǎn)生近似該噪聲Iitl的估計(jì)信號(hào)y (η)，以用于消除該處理后主聲音信號(hào)中的該噪聲IV而該處理后主聲音信號(hào)S + η0與該估計(jì)信號(hào)y (η)的差異值e (η)將持續(xù)回饋給該適應(yīng)性濾波器223，使該適應(yīng)性濾波器223調(diào)整其運(yùn)算出該估計(jì)信號(hào)y(n)的運(yùn)算法中的系數(shù)，進(jìn)而調(diào)整該估計(jì)信號(hào)y (η)，使該估計(jì)信號(hào)y (η)持續(xù)逼近該噪聲IV亦即使該差異值e (η)逼近判斷該晶圓是否破片的目標(biāo)信號(hào)S，從而，經(jīng)由該適應(yīng)性濾波器223的反復(fù)迭代運(yùn)算，該處理后主聲音信號(hào)中的該噪聲將被完全濾除，最后輸出該目標(biāo)信號(hào)S并傳送至該聲音判斷模塊230供進(jìn)一步判斷。
[0062]借此，該晶圓檢測(cè)系統(tǒng)200通過(guò)接收該晶圓制程設(shè)備的背景音信號(hào)與該晶圓進(jìn)入該檢測(cè)區(qū)時(shí)所發(fā)出的該主聲音信號(hào)，并借由帶通濾波器、適應(yīng)性濾波器自該主聲音信號(hào)濾除噪聲，再進(jìn)一步將濾除噪聲所得到的目標(biāo)信號(hào)與正常音頻值比較，而達(dá)到判斷該晶圓是否破片的效果。
[0063]綜上所述，本發(fā)明的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，可供快速檢測(cè)出通過(guò)該晶圓制程設(shè)備的該檢測(cè)區(qū)的晶圓的破片情形，并可進(jìn)一步判斷出通過(guò)該檢測(cè)區(qū)的晶圓的片數(shù)、位置，達(dá)到檢測(cè)出該晶圓制程設(shè)備的制程中所運(yùn)送的晶圓是否有異常狀況的效果。
[0064]本發(fā)明在上文中已以較佳實(shí)施例揭露，然而本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解的是，該實(shí)施例僅用于描繪本發(fā)明，而不應(yīng)解讀為限制本發(fā)明的范圍。應(yīng)注意的是，凡是與該實(shí)施例等效的變化與置換，均應(yīng)視為涵蓋于本發(fā)明的范疇內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)以權(quán)利要求書所限定的內(nèi)容為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，應(yīng)用于處理晶圓的晶圓制程設(shè)備上，且該晶圓制程設(shè)備具有供該晶圓通過(guò)的檢測(cè)區(qū)，該晶圓檢測(cè)系統(tǒng)包含: 影像感測(cè)單元，對(duì)應(yīng)于該檢測(cè)區(qū)，該影像感測(cè)單元用于拍攝該檢測(cè)區(qū)以取得樣板影像，并于該晶圓通過(guò)該檢測(cè)區(qū)時(shí)拍攝該晶圓的正面以取得原始晶圓影像；以及 第一處理單元，連接該影像感測(cè)單元，該第一處理單元包含第一圖像處理模塊與第一判斷模塊，該第一圖像處理模塊用于處理該原始晶圓影像而產(chǎn)生第一處理后晶圓影像，該第一判斷模塊用于比較該樣板影像與該第一處理后晶圓影像的差異量，并根據(jù)該差異量是否超出預(yù)定閥值而判斷該晶圓是否破片。2.如權(quán)利要求1所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，還包含第二處理單元，其連接該影像感測(cè)單元，該第二處理單元包含數(shù)據(jù)庫(kù)、第二圖像處理模塊與第二判斷模塊，且該數(shù)據(jù)庫(kù)包含訓(xùn)練模塊，該訓(xùn)練模塊預(yù)先儲(chǔ)存有當(dāng)不同片數(shù)的晶圓通過(guò)該檢測(cè)區(qū)時(shí)該影像感測(cè)單元所拍攝的多個(gè)晶圓數(shù)據(jù)影像，該第二圖像處理模塊用于處理該原始晶圓影像而產(chǎn)生第二處理后晶圓影像，而該第二判斷模塊用于比較這些晶圓數(shù)據(jù)影像與該第二處理后晶圓影像的差異，并根據(jù)該差異判斷通過(guò)該檢測(cè)區(qū)的晶圓片數(shù)。3.如權(quán)利要求2所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，該數(shù)據(jù)庫(kù)的該訓(xùn)練模塊預(yù)先儲(chǔ)存有曾經(jīng)被誤判晶圓片數(shù)的該第二處理后晶圓影像，以訓(xùn)練該第二判斷模塊避免再次誤判。4.如權(quán)利要求3所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，該數(shù)據(jù)庫(kù)還包含驗(yàn)證模塊，用于接收該第二判斷模塊的判斷結(jié)果，并根據(jù)該訓(xùn)練模塊的數(shù)據(jù)驗(yàn)證該第二判斷模塊的判斷結(jié)果是否誤判。5.如權(quán)利要求1所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，還包含光源，照射該檢測(cè)區(qū)，且該光源為紅外線或鐳射光。6.如權(quán)利要求1所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，該影像感測(cè)單元為CCD攝影機(jī)。7.一種晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，應(yīng)用于處理晶圓的晶圓制程設(shè)備上，且該晶圓制程設(shè)備具有供該晶圓通過(guò)的檢測(cè)區(qū)，該晶圓檢測(cè)系統(tǒng)包含: 聲音感測(cè)單元，包含主聲音傳感器與背景音傳感器，該主聲音傳感器設(shè)置于該檢測(cè)區(qū)的鄰近處以產(chǎn)生主聲音信號(hào)，該背景音傳感器設(shè)置于該晶圓制程設(shè)備的控制電路中以產(chǎn)生背景音信號(hào)； 聲音處理模塊，包含帶通濾波器與適應(yīng)性濾波器，該帶通濾波器連接該聲音感測(cè)單元的該主聲音傳感器，該帶通濾波器用于將該主聲音信號(hào)中特定音頻外的信號(hào)濾除而產(chǎn)生一處理后主聲音信號(hào)，且該適應(yīng)性濾波器連接該帶通濾波器與該背景音傳感器，該適應(yīng)性濾波器用于根據(jù)該背景音信號(hào)的變化而從該處理后主聲音信號(hào)中濾除噪聲以輸出目標(biāo)信號(hào)；以及 聲音判斷模塊，連接該聲音處理模塊的該適應(yīng)性濾波器，該聲音判斷模塊用于將該目標(biāo)信號(hào)與正常音頻值比較而判斷該晶圓是否破片。8.如權(quán)利要求7所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，該特定音頻包含4Hz?6kHz之間的聲音信號(hào)。
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其應(yīng)用于處理晶圓的晶圓制程設(shè)備上，且該晶圓制程設(shè)備具有供該晶圓通過(guò)的檢測(cè)區(qū)。借此，本發(fā)明的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，是通過(guò)比較晶圓進(jìn)入該檢測(cè)區(qū)前后的影像變化，達(dá)到判斷晶圓的片數(shù)、位置及是否破片的效果；此外，本發(fā)明的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，另通過(guò)接收晶圓制程設(shè)備的背景音信號(hào)與晶圓進(jìn)入該檢測(cè)區(qū)時(shí)所發(fā)出的主聲音信號(hào)，并借由帶通濾波器、適應(yīng)性濾波器自該主聲音信號(hào)濾除噪聲，再進(jìn)一步將濾除噪聲所得到的目標(biāo)信號(hào)與正常音頻值比較，而達(dá)到判斷該晶圓是否破片的效果。
【IPC分類】H01L21/67, H01L21/66
【公開(kāi)號(hào)】CN104916563
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410091058
【發(fā)明人】謝宏亮, 許明棋
【申請(qǐng)人】辛耘企業(yè)股份有限公司
【公開(kāi)日】2015年9月16日
【申請(qǐng)日】2014年3月12日