一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公布了一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)，L型支架上設(shè)有壓桿；壓桿下端設(shè)有壓頭頂住壓板；下真空吸座上設(shè)有晶圓貼合臺(tái)，晶圓貼合臺(tái)中心設(shè)有圓弧吸氣凹槽，圓弧吸氣凹槽中心設(shè)有吸氣孔連通抽氣管道；晶圓貼合臺(tái)上以吸氣孔為圓心均勻設(shè)有環(huán)形導(dǎo)氣槽，晶圓貼合臺(tái)上以吸氣孔為中心呈輻射狀設(shè)有直條導(dǎo)氣槽；下真空吸座上的環(huán)形導(dǎo)氣槽與直條導(dǎo)氣槽相互連通；上真空吸座下面設(shè)有蓋板貼合臺(tái)，蓋板貼合臺(tái)中心設(shè)有圓弧吸氣凹槽，圓弧吸氣凹槽中心設(shè)有吸氣孔連通抽氣管道；蓋板貼合臺(tái)上以吸氣孔為中心呈輻射狀均勻設(shè)有直條導(dǎo)氣槽與圓弧吸氣凹槽連通；抽氣管道均連接真空泵。它能大大提高晶圓的貼片效率與質(zhì)量，保證光分路器芯片的可靠性。
【專利說明】
一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及光通信產(chǎn)品領(lǐng)域，尤其涉及到一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著光纖通信技術(shù)的發(fā)展，光纖到戶(FTTH)得到了較大規(guī)模的商用并呈現(xiàn)出良好的發(fā)展勢頭，其顯著特點(diǎn)是其采用無源光網(wǎng)絡(luò)鏈路，提供更大的帶寬，節(jié)省線路資源，增強(qiáng)線路的可靠性，同時(shí)對(duì)環(huán)境和供電要求降低，在FTTH網(wǎng)絡(luò)中，光分路器是其中的核心器件，特別適用于無源光網(wǎng)絡(luò)(EP0N、BP0N、GP0N等)中連接局端和終端設(shè)備，實(shí)現(xiàn)光功率的分配。
[0003]光分路器芯片是光通信、光傳感、三網(wǎng)融合、物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)中的光分路器的核心器件。光分路器芯片由光分路器晶圓與蓋板通過UV膠水粘接形成，膠水層的厚度與貼片質(zhì)量直接影響光分路器芯片的的可靠性。傳統(tǒng)的光分路器晶圓與蓋板的粘接只能依靠人工手動(dòng)完成，人工效率低下，貼合精度低，嚴(yán)重影響生產(chǎn)效率和光分路器芯片的可靠性。
[0004]通過專利檢索，存在以下已知的現(xiàn)有技術(shù)方案:
[0005]專利1:
[0006]申請(qǐng)?zhí)?201220269074.1，申請(qǐng)日:2012.06.08，授權(quán)公告日:2013.01.09，該實(shí)用新型提供了一種晶圓貼片機(jī)，包括晶圓存放機(jī)構(gòu)、晶圓轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)、晶圓貼片機(jī)構(gòu)和晶圓傳送機(jī)構(gòu)，所述晶圓存放機(jī)構(gòu)包括一晶圓盒，所述晶圓轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)包括一金屬提籃，所述晶圓貼片機(jī)構(gòu)包括機(jī)臺(tái)、設(shè)置在所述機(jī)臺(tái)上的鐵圈傳送裝置、鐵圈和貼膜滾輪，在所述金屬提籃的上方設(shè)置有離子槍。本實(shí)用新型的有益效果主要是避免晶圓離開晶圓盒上升瞬間和揭開晶圓正面的保護(hù)膜瞬間產(chǎn)生的靜電擊穿晶圓芯片電路造成晶圓報(bào)廢的風(fēng)險(xiǎn)發(fā)生。
[0007]通過以上的檢索發(fā)現(xiàn)，以上技術(shù)方案不能影響本發(fā)明的新穎性和創(chuàng)造性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的是針對(duì)以上問題，提供一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)，它能大大提高晶圓的貼片效率與質(zhì)量，保證光分路器芯片的可靠性。
[0009]為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)，它包括垂直設(shè)置在底座(I)側(cè)邊的L型支架(10)，所述底座(I)上面設(shè)置有下真空吸座(2);所述下真空吸座(2)上面設(shè)置有上真空吸座(3);所述上真空吸座(3)上面中心設(shè)置有壓板(11);所述L型支架(10)上螺紋連接垂直設(shè)置有壓桿(8)位于上真空吸座(3)中心;所述壓桿(8)頂端設(shè)置有旋鈕(9)，下端設(shè)置有壓頭(5)頂住壓板(11);所述下真空吸座(2)上面設(shè)置有晶圓貼合臺(tái)(27)，所述晶圓貼合臺(tái)(27)中心設(shè)置有圓弧吸氣凹槽(22)，所述圓弧吸氣凹槽(22)中心設(shè)置有吸氣孔(23)連通設(shè)置在下真空吸座(2)內(nèi)部的抽氣管道(13);所述晶圓貼合臺(tái)
(27)上以吸氣孔(23)為圓心均勻設(shè)置有環(huán)形導(dǎo)氣槽(28)，所述晶圓貼合臺(tái)(27)上以吸氣孔
(23)為中心呈輻射狀均勻設(shè)置有直條導(dǎo)氣槽(21)與圓弧吸氣凹槽(22)連通;所述下真空吸座(2)上的環(huán)形導(dǎo)氣槽(28)與直條導(dǎo)氣槽(21)相互連通;所述上真空吸座(3)下面設(shè)置有蓋板貼合臺(tái)(20)，所述蓋板貼合臺(tái)(20)中心設(shè)置有圓弧吸氣凹槽(22)，所述圓弧吸氣凹槽(22)中心設(shè)置有吸氣孔(23)連通設(shè)置在上真空吸座(3)內(nèi)部的抽氣管道(13);所述蓋板貼合臺(tái)(20)上以吸氣孔(23)為中心呈輻射狀均勻設(shè)置有直條導(dǎo)氣槽(21)與圓弧吸氣凹槽(22)連通;所述抽氣管道(13)均通過抽氣接頭(14)連接真空栗。
[0010]進(jìn)一步的，所述上真空吸座(3)四角均設(shè)置有千分尺(29)，所述千分尺(29)通過高度調(diào)節(jié)孔(30)支撐在下真空吸座(2)上。
[0011]進(jìn)一步的，所述蓋板貼合臺(tái)(20)上以吸氣孔(23)為中心呈輻射狀均勻設(shè)置有鏤空
(19)。
[0012]進(jìn)一步的，所述下真空吸座(2)上面四角均設(shè)置有凸臺(tái)(24)，所述凸臺(tái)(24)上設(shè)置有定位銷(26);所述上真空吸座(3)下面四角均設(shè)置有凸臺(tái)(24)，所述凸臺(tái)(24)上設(shè)置有與定位銷(26)配合的定位孔(25)。
[0013]進(jìn)一步的，所述壓頭(5)為半球形狀，所述壓板(11)上面中心設(shè)置有與壓頭(5)相配合的圓弧凹槽(12)。
[0014]進(jìn)一步的，所述壓桿(8)下端設(shè)置有兩塊壓塊(6);所述壓塊(6)之間設(shè)置有壓縮彈簧(7);所述壓頭(5)設(shè)置在下端壓塊(6)底部中心。
[0015]進(jìn)一步的，所述下真空吸座(2)和上真空吸座(3)側(cè)邊均設(shè)置有頂起裝置(18);所述頂起裝置(18)包括頂起旋鈕(181)，所述頂起旋鈕(181)連接旋轉(zhuǎn)軸(183)，所述旋轉(zhuǎn)軸(183)上設(shè)置有固定塊(182)，末端設(shè)置有頂起塊(184);所述頂起塊(184)上設(shè)置有頂起凸臺(tái)(185)。
[0016]進(jìn)一步的，所述下真空吸座(2)和上真空吸座(3)側(cè)邊均設(shè)置有不少于兩個(gè)的頂起裝置(18)。
[0017]進(jìn)一步的，所述蓋板貼合臺(tái)(20)高于上真空吸座(3)下表面;所述晶圓貼合臺(tái)(20)高于下真空吸座(2)上表面。
[0018]進(jìn)一步的，所述上真空吸座(3)上面四周均勻設(shè)置有提手桿(4)。
[0019]本發(fā)明的有益效果:
[0020]1、本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)光分路器芯片中晶圓與蓋板之間膠層厚度的自由調(diào)節(jié)控制，保證晶圓與蓋板的尚精度對(duì)接，大大提尚光分路器芯片的穩(wěn)定可靠性和精度。
[0021]2、本發(fā)明中通過上真空吸座吸住蓋板，通過下真空吸座吸住晶圓，通過上真空吸座四角的千分尺實(shí)現(xiàn)蓋板與晶圓厚度的高精度調(diào)節(jié)，提高光分路器芯片的精度控制。
[0022]3、本發(fā)明中上真空吸座底面上設(shè)置了圓弧真空吸槽與直條導(dǎo)氣槽，能保證蓋板的吸住穩(wěn)定性和水平性；下真空吸座底面上設(shè)置有圓弧真空吸槽與直條導(dǎo)氣槽和環(huán)形導(dǎo)氣槽，能保證晶圓的擺放平整性和穩(wěn)定性，提高晶圓與蓋板重疊精度，并能實(shí)現(xiàn)晶圓與蓋板之間膠水厚度調(diào)節(jié)。
[0023]4、本發(fā)明中上真空吸座上的鏤空能保證晶圓與蓋板之間的UV膠水可接觸足夠紫外光照面積，保證UV膠的迅速凝固。
【附圖說明】
[0024]圖1為本發(fā)明側(cè)面示意圖。
[0025]圖2為本發(fā)明主剖視示意圖。
[0026]圖3為本發(fā)明中上真空吸座仰視示意圖。
[0027]圖4為本發(fā)明中上真空吸座俯視示意圖。
[0028]圖5為本發(fā)明中下真空吸座俯視示意圖。
[0029]圖6為本發(fā)明中頂起裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0030]圖7為本發(fā)明中頂起塊結(jié)構(gòu)示意圖。
[0031]圖中所示數(shù)字標(biāo)注表示為:1、底座，2、下真空吸座，3、上真空吸座，4、提手桿，5、壓頭，6、壓塊，7、壓縮彈簧，8、壓桿，9、旋鈕，10、L型支架，11、壓板，12、凹槽，13、抽氣管道，14、抽氣接頭，15、晶圓，16、玻璃蓋板，17、UV膠，18、頂起裝置，19、鏤空槽，20、蓋板貼合臺(tái)，21、直條導(dǎo)氣槽，22、圓弧吸氣凹槽，23、吸氣孔，24、凸臺(tái)，25、定位孔，26、定位銷，27、晶圓貼合臺(tái)，28、環(huán)形導(dǎo)氣槽，29、千分尺，30、高度調(diào)節(jié)孔，181、頂起旋鈕，182、固定塊，183、旋轉(zhuǎn)軸，184、頂起塊，185、頂起凸臺(tái)。
【具體實(shí)施方式】
[0032]為了使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述，本部分的描述僅是示范性和解釋性，不應(yīng)對(duì)本發(fā)明的保護(hù)范圍有任何的限制作用。
[0033]如圖1-圖7所示，本發(fā)明的具體結(jié)構(gòu)為:一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)，它包括垂直設(shè)置在底座I側(cè)邊的L型支架10，所述底座I上面設(shè)置有下真空吸座2;所述下真空吸座2上面設(shè)置有上真空吸座3;所述上真空吸座3上面中心設(shè)置有壓板11;所述L型支架10上螺紋連接垂直設(shè)置有壓桿8位于上真空吸座3中心;所述壓桿8頂端設(shè)置有旋鈕9，下端設(shè)置有壓頭5頂住壓板11;所述下真空吸座2上面設(shè)置有晶圓貼合臺(tái)27，所述晶圓貼合臺(tái)27中心設(shè)置有圓弧吸氣凹槽22，所述圓弧吸氣凹槽22中心設(shè)置有吸氣孔23連通設(shè)置在下真空吸座2內(nèi)部的抽氣管道13;所述晶圓貼合臺(tái)27上以吸氣孔23為圓心均勻設(shè)置有環(huán)形導(dǎo)氣槽28，所述晶圓貼合臺(tái)27上以吸氣孔23為中心呈輻射狀均勻設(shè)置有直條導(dǎo)氣槽21與圓弧吸氣凹槽22連通;所述下真空吸座2上的環(huán)形導(dǎo)氣槽28與直條導(dǎo)氣槽21相互連通;所述上真空吸座3下面設(shè)置有蓋板貼合臺(tái)20，所述蓋板貼合臺(tái)20中心設(shè)置有圓弧吸氣凹槽22，所述圓弧吸氣凹槽22中心設(shè)置有吸氣孔23連通設(shè)置在上真空吸座3內(nèi)部的抽氣管道13;所述蓋板貼合臺(tái)20上以吸氣孔23為中心呈輻射狀均勻設(shè)置有直條導(dǎo)氣槽21與圓弧吸氣凹槽22連通;所述抽氣管道13均通過抽氣接頭14與真空栗連接。
[0034]優(yōu)選的，所述上真空吸座3四角均設(shè)置有千分尺29，所述千分尺29通過高度調(diào)節(jié)孔30支撐在下真空吸座2上。
[0035]優(yōu)選的，所述蓋板貼合臺(tái)20上以吸氣孔23為中心呈輻射狀均勻設(shè)置有鏤空19。
[0036]優(yōu)選的，所述下真空吸座2上面四角均設(shè)置有凸臺(tái)24，所述凸臺(tái)24上設(shè)置有定位銷26;所述上真空吸座3下面四角均設(shè)置有凸臺(tái)24，所述凸臺(tái)24上設(shè)置有與定位銷26配合的定位孔25。
[0037]優(yōu)選的，所述壓頭5為半球形狀，所述壓板11上面中心設(shè)置有與壓頭5相配合的圓弧凹槽12。
[0038]優(yōu)選的，所述壓桿8下端設(shè)置有兩塊壓塊6;所述壓塊6之間設(shè)置有壓縮彈簧7;所述壓頭5設(shè)置在下端壓塊6底部中心。
[0039]優(yōu)選的，所述下真空吸座2和上真空吸座3側(cè)邊均設(shè)置有頂起裝置18;所述頂起裝置18包括頂起旋鈕181，所述頂起旋鈕181連接旋轉(zhuǎn)軸183，所述旋轉(zhuǎn)軸183上設(shè)置有固定塊182，末端設(shè)置有頂起塊184;所述頂起塊184上設(shè)置有頂起凸臺(tái)185。
[0040]優(yōu)選的，所述下真空吸座2和上真空吸座3側(cè)邊均設(shè)置有不少于兩個(gè)的頂起裝置18。
[0041]優(yōu)選的，所述蓋板貼合臺(tái)20高于上真空吸座3下表面;所述晶圓貼合臺(tái)20高于下真空吸座2上表面。
[0042]優(yōu)選的，所述上真空吸座3上面四周均勻設(shè)置有提手桿4。
[0043]本發(fā)明具體使用時(shí)，按照如下步驟進(jìn)行:
[0044]步驟一、用鑷子將干凈的晶圓15放置在晶圓貼合臺(tái)27上，放好后開啟下真空吸座2的真空栗將晶圓15吸住。
[0045 ] 步驟二、在晶圓15中心滴好UV膠17。
[0046]步驟三、用鑷子夾住玻璃蓋板16，并在玻璃蓋板16底面滴上一滴UV膠17。
[0047]步驟四、通過高度調(diào)節(jié)架將玻璃蓋板16放置在晶圓上面，保證重疊度。
[0048]步驟五、蓋上上真空吸座2，調(diào)整好位置后，開啟上真空吸座2的真空栗將玻璃蓋板16吸住。
[0049]步驟六、通過上真空吸座2上的千分尺調(diào)節(jié)玻璃蓋板16與晶圓15之間的高度差和水平度，通過壓桿8保證晶圓15與玻璃蓋板16的貼合緊密度。
[0050]步驟七、利用UV燈通過鏤空19對(duì)晶圓15和玻璃蓋板16進(jìn)行光照，使得UV膠17固化。
[0051]步驟八、停止真空栗，通過旋轉(zhuǎn)頂起裝置18的頂起旋鈕181使得頂起凸臺(tái)185將玻璃蓋板16和晶圓15分別脫離上真空吸座和下真空吸座，方便取下。
[0052]需要說明的是，在本文中，術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。
[0053]本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本發(fā)明的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)例的說明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，由于文字表達(dá)的有限性，而客觀上存在無限的具體結(jié)構(gòu)，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)、潤飾或變化，也可以將上述技術(shù)特征以適當(dāng)?shù)姆绞竭M(jìn)行組合;這些改進(jìn)潤飾、變化或組合，或未經(jīng)改進(jìn)將發(fā)明的構(gòu)思和技術(shù)方案直接應(yīng)用于其它場合的，均應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)，其特征在于，它包括垂直設(shè)置在底座(I)側(cè)邊的L型支架(10)，所述底座(I)上面設(shè)置有下真空吸座(2);所述下真空吸座(2)上面設(shè)置有上真空吸座(3);所述上真空吸座(3)上面中心設(shè)置有壓板(11);所述L型支架(10)上螺紋連接垂直設(shè)置有壓桿(8)位于上真空吸座(3)中心;所述壓桿(8)頂端設(shè)置有旋鈕(9)，下端設(shè)置有壓頭(5)頂住壓板(11);所述下真空吸座(2)上面設(shè)置有晶圓貼合臺(tái)(27)，所述晶圓貼合臺(tái)(27)中心設(shè)置有圓弧吸氣凹槽(22)，所述圓弧吸氣凹槽(22)中心設(shè)置有吸氣孔(23)連通設(shè)置在下真空吸座(2)內(nèi)部的抽氣管道(13);所述晶圓貼合臺(tái)(27)上以吸氣孔(23)為圓心均勻設(shè)置有環(huán)形導(dǎo)氣槽(28)，所述晶圓貼合臺(tái)(27)上以吸氣孔(23)為中心呈輻射狀均勻設(shè)置有直條導(dǎo)氣槽(21)與圓弧吸氣凹槽(22)連通;所述下真空吸座(2)上的環(huán)形導(dǎo)氣槽(28)與直條導(dǎo)氣槽(21)相互連通;所述上真空吸座(3)下面設(shè)置有蓋板貼合臺(tái)(20)，所述蓋板貼合臺(tái)(20)中心設(shè)置有圓弧吸氣凹槽(22)，所述圓弧吸氣凹槽(22)中心設(shè)置有吸氣孔(23)連通設(shè)置在上真空吸座(3)內(nèi)部的抽氣管道(13);所述蓋板貼合臺(tái)(20)上以吸氣孔(23)為中心呈輻射狀均勻設(shè)置有直條導(dǎo)氣槽(21)與圓弧吸氣凹槽(22)連通;所述抽氣管道(13)均通過抽氣接頭(14)連接真空栗。2.如權(quán)利要求1所述的一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)，其特征在于，所述上真空吸座(3)四角均設(shè)置有千分尺(29)，所述千分尺(29)通過高度調(diào)節(jié)孔(30)支撐在下真空吸座(2)上。3.如權(quán)利要求1所述的一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)，其特征在于，所述蓋板貼合臺(tái)(20)上以吸氣孔(23)為中心呈輻射狀均勻設(shè)置有鏤空(19)。4.如權(quán)利要求1所述的一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)，其特征在于，所述下真空吸座(2)上面四角均設(shè)置有凸臺(tái)(24)，所述凸臺(tái)(24)上設(shè)置有定位銷(26);所述上真空吸座(3)下面四角均設(shè)置有凸臺(tái)(24)，所述凸臺(tái)(24)上設(shè)置有與定位銷(26)配合的定位孔(25)。5.如權(quán)利要求1所述的一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)，其特征在于，所述壓頭(5)為半球形狀，所述壓板(11)上面中心設(shè)置有與壓頭(5)相配合的圓弧凹槽(12)。6.如權(quán)利要求1所述的一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)，其特征在于，所述壓桿(8)下端設(shè)置有兩塊壓塊(6);所述壓塊(6)之間設(shè)置有壓縮彈簧(7);所述壓頭(5)設(shè)置在下端壓塊(6)底部中心。7.如權(quán)利要求1所述的一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)，其特征在于，所述下真空吸座(2)和上真空吸座(3)側(cè)邊均設(shè)置有頂起裝置(18);所述頂起裝置(18)包括頂起旋鈕(181)，所述頂起旋鈕(181)連接旋轉(zhuǎn)軸(183)，所述旋轉(zhuǎn)軸(183)上設(shè)置有固定塊(182)，末端設(shè)置有頂起塊(184);所述頂起塊(184)上設(shè)置有頂起凸臺(tái)(185)。8.如權(quán)利要求1所述的一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)，其特征在于，所述下真空吸座(2)和上真空吸座(3)側(cè)邊均設(shè)置有不少于兩個(gè)的頂起裝置(18)。9.如權(quán)利要求1所述的一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)，其特征在于，所述蓋板貼合臺(tái)(20)高于上真空吸座(3)下表面;所述晶圓貼合臺(tái)(20)高于下真空吸座(2)上表面。10.如權(quán)利要求1所述的一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)，其特征在于，所述上真空吸座(3)上面四周均勻設(shè)置有提手桿(4)。
【文檔編號(hào)】B32B37/12GK205467772SQ201620237754
【公開日】2016年8月17日
【申請(qǐng)日】2016年3月25日
【發(fā)明人】陳波, 李順成, 唐淋, 余朝晃
【申請(qǐng)人】湖南新中合光電科技股份有限公司