等驅(qū)動機構(gòu)，并沿支承軸211、212上下移動自如。第I輸送用自動裝置209與輸送用自動裝置22相同，具有上下二層的機械手。第I輸送用自動裝置209如圖3A的虛線所示，其下側(cè)機械手配置在可對上述的臨時放置臺180進行存取的位置上。在第I輸送用自動裝置209的下側(cè)機械手對臨時放置臺180進行存取時，設(shè)在隔壁Ib上的閘門(未圖示)就打開。
[0127]第I輸送用自動裝置209進行這樣的動作:在臨時放置臺180、上側(cè)一次清洗組件201A、下側(cè)一次清洗組件201B、臨時放置臺203、上側(cè)二次清洗組件202A、下側(cè)二次清洗組件202B之間輸送晶片W。在對清洗前的晶片(附著有漿料的晶片)進行輸送時，第I輸送用自動裝置209使用下側(cè)機械手，在對清洗后的晶片進行輸送時使用上側(cè)機械手。第2輸送用自動裝置210進行這樣的動作:在上側(cè)二次清洗組件202A、下側(cè)二次清洗組件202B、臨時放置臺203、上側(cè)干燥組件205A、下側(cè)干燥組件205B之間輸送晶片W。第2輸送用自動裝置210，由于僅輸送清洗后的晶片，因此僅具有一個機械手。圖1所示的輸送用自動裝置22使用其上側(cè)機械手而從上側(cè)干燥組件205A或下側(cè)干燥組件205B取出晶片，且使該晶片返回到晶片盒內(nèi)。在輸送用自動裝置22的上側(cè)機械手對干燥組件205A、205B進行存取時，設(shè)在隔壁Ia上的閘門(未圖示)就打開。
[0128]< CMP裝置的多個功能的高效執(zhí)行>
[0129]接著，說明CMP裝置的多個功能的高效執(zhí)行。
[0130]圖4是表示CMP裝置和控制裝置(操作用PC)的結(jié)構(gòu)的示圖。如上所述，C MP裝置包含裝載/卸載單元2、研磨單元3、清洗單元4等多個單元。另外，在裝載/卸載單元2上設(shè)有對裝載/卸載單元2內(nèi)的多個部件250-1?250-m(輸送用自動裝置22等)的動作進行控制用的序列發(fā)生器260。另外，在研磨單元3上設(shè)有對研磨單元3內(nèi)的多個部件350-1?350-n(研磨臺、頂環(huán)等)的動作進行控制用的序列發(fā)生器360。另外，在清洗單元4上設(shè)有對清洗單元4內(nèi)的多個部件450-1?450-p (清洗組件、輸送用自動裝置等)的動作進行控制用的序列發(fā)生器460。
[0131]控制裝置5與裝載/卸載單元2 (序列發(fā)生器260)、研磨單元3 (序列發(fā)生器360)及清洗單元4 (序列發(fā)生器460)連接。
[0132]圖5是表示控制裝置5的結(jié)構(gòu)的示圖。控制裝置5具有多個處理模塊，用于按照功能來執(zhí)行與CMP裝置有關(guān)的處理。具體來說，控制裝置5具有界面系統(tǒng)APSW(處理模塊)510、控制系統(tǒng)APSW520及任務(wù)監(jiān)視APSW530。
[0133]另外，控制裝置5具有共有存儲器540、顯示裝置550及通信驅(qū)動器560。共有存儲器540是界面系統(tǒng)APSW510、控制系統(tǒng)APSW520及任務(wù)監(jiān)視APSW530所共有的存儲裝置。顯示裝置550是針對用戶的界面。通信驅(qū)動器560是在界面系統(tǒng)APSW510及控制系統(tǒng)APSW520與序列發(fā)生器260、360、460之間進行通信用的驅(qū)動器。
[0134]界面系統(tǒng)APSW510是執(zhí)行通過顯示裝置550進行的信息輸入輸出處理用的處理模塊。
[0135]控制系統(tǒng)APSW520是基于由界面系統(tǒng)APSW510輸入的輸入信息而執(zhí)行CMP裝置的動作處理、或執(zhí)行向共有存儲器540存儲輸入信息的存儲處理用的處理模塊。
[0136]另外，任務(wù)監(jiān)視APSW530是對多個處理模塊(界面系統(tǒng)APSW510及控制系統(tǒng)APSW520)是否產(chǎn)生異常進行監(jiān)視的處理模塊。任務(wù)監(jiān)視APSW530在多個處理模塊中的某一個產(chǎn)生異常時，使產(chǎn)生異常的處理模塊再起動，使其它處理模塊的處理繼續(xù)。
[0137]例如，在通過顯示裝置550進行的工藝編輯由界面系統(tǒng)APSW510執(zhí)行、同時研磨單元3的單體測試由控制系統(tǒng)APSW520執(zhí)行的情況下，假定為界面系統(tǒng)APSW510產(chǎn)生異常。在該情況下，任務(wù)監(jiān)視APSW530使界面系統(tǒng)AP SW510再起動，并且使控制系統(tǒng)APSW520的處理繼續(xù)。換言之，任務(wù)監(jiān)視APSW530不使所有的處理模塊再起動，而僅使界面系統(tǒng)APSW510再起動。
[0138]由此，由控制系統(tǒng)APSW520進行的研磨單元3的單體測試被繼續(xù)。如上所述,在本實施方式中，界面系統(tǒng)APSW510和控制系統(tǒng)APSW520作為不同的處理模塊而被安裝。由此，在某一個處理模塊產(chǎn)生異常時，可使不產(chǎn)生異常的處理模塊的處理繼續(xù)。其結(jié)果，采用本實施方式，可高效執(zhí)行CMP裝置的多個功能。
[0139]<界面系統(tǒng)APSW >
[0140]接著，詳細說明界面系統(tǒng)APSW510。界面系統(tǒng)APSW510具有工藝編輯APSW512、自動輸送用JOB作成APSW514、單元單體操作APSW516及參數(shù)編輯APSW518。
[0141]工藝編輯APSW512是對與CMP裝置的基板處理有關(guān)的工藝進行編輯用的處理模塊。自動輸送用JOB作成APSW514是對通過組合工藝而作成的CM P裝置的作業(yè)(JOB)進行編輯用的處理模塊。
[0142]單元單體操作APSW516是用于輸入CMP裝置所包含的單元(裝載/卸載單元2、研磨單元3或清洗單元4)的測試或調(diào)整用命令的處理模塊。參數(shù)編輯AP SW518是對CMP裝置所用的參數(shù)進行編輯用的處理模塊。
[0143]另外，界面系統(tǒng)APSW510所包含的處理模塊不限于圖5所不的處理模塊。例如，也可設(shè)置使監(jiān)控CMP裝置規(guī)定部分的圖像顯示在顯示裝置550上用的處理模塊等。另外，也可設(shè)置將與CMP裝置有關(guān)的各種過程數(shù)據(jù)顯示在顯示裝置550上用的處理模塊等。
[0144]這里，對由界面系統(tǒng)APSW510顯示在顯示裝置550上的畫面的一例進行說明。圖6A、6B、6C是表示由界面系統(tǒng)APSW510顯示在顯示裝置550上的畫面的一例的示圖。圖6A是在任務(wù)監(jiān)視APSW530起動后顯示的畫面的一例。如圖6A所示,顯示裝置550顯示標題顯示區(qū)域610、副菜單顯示區(qū)域620、主菜單顯示區(qū)域630及界面系統(tǒng)APSW顯示區(qū)域640。
[0145]副菜單顯示區(qū)域620顯示與任務(wù)監(jiān)視APSW有關(guān)的多個副菜單按鈕650。另外，主菜單顯示區(qū)域630顯示與界面系統(tǒng)APSW510有關(guān)的多個主菜單按鈕660。
[0146]如圖6B所示，例如，當多個主菜單按鈕660中的一個(例如工藝編輯APS W512)被按下時，界面系統(tǒng)APSW顯示區(qū)域640就顯示工藝編輯用畫面。
[0147]另外，如圖6C所示，例如，當多個主菜單按鈕660中的一個(例如自動輸送用JOB作成APSW514)被按下時，界面系統(tǒng)APSW顯示區(qū)域640就顯示作業(yè)編輯用畫面。
[0148]任務(wù)監(jiān)視APSW530在工藝編輯APSW512、自動輸送用JOB作成A PSW514、單元單體操作APSW516及參數(shù)編輯APSW518中的某一個產(chǎn)生異常時，使產(chǎn)生異常的處理模塊再起動，使其它處理模塊的處理繼續(xù)。
[0149]例如，在一邊執(zhí)行工藝編輯APSW512而進行工藝編輯、一邊執(zhí)行自動輸送用JOB作成APSW514而進行作業(yè)編輯的情況下，假定為工藝編輯APSW512產(chǎn)生異常。在該情況下，任務(wù)監(jiān)視APSW530使工藝編輯APSW512再起動，并且使自動輸送用JOB作成APSW514的處理繼續(xù)。換言之，任務(wù)監(jiān)視APSW530不使所有的處理模塊再起動，而僅使工藝編輯APSW512再起動。
[0150]由此，自動輸送用JOB作成APSW514的作業(yè)編輯被繼續(xù)。如上所述，在本實施方式中，工藝編輯APSW512、自動輸送用JOB作成APSW514、單元單體操作APSW516及參數(shù)編輯APSW518作為不同的處理模塊而被安裝。由此，在某一個處理模塊產(chǎn)生異常時，可使不產(chǎn)生異常的處理模塊的處理繼續(xù)。其結(jié)果，采用本實施方式，可高效執(zhí)行CMP裝置的多個功能。
[0151]另外，在本實施方式中，不出了界面系統(tǒng)APSW510包含四個處理模塊的例子,但并不限于此，只要包含四個處理模塊中的至少二個即可。在該情況下，任務(wù)監(jiān)視APSW530在工藝編輯APSW512、自動輸送用JOB作成APSW514、單元單體操作APSW516及參數(shù)編輯APSW518中的至少二個中的某一個參數(shù)異常時，可使產(chǎn)生異常的處理模塊再起動，使其它處理模塊的處理繼續(xù)。
[0152]<控制系統(tǒng)APSW >
[0153]接著，詳細說明控制系統(tǒng)APSW520?？刂葡到y(tǒng)APSW520具有工藝管理APSW522、JOB管理\控制APSW524、單元單體操作APSW526及參數(shù)管理APSW528。
[0154]工藝管理APSW522是將通過工藝編輯APSW512而編輯的工藝存儲到共有存儲器540內(nèi)用的處理模塊。JOB管理/控制APSW524是用于將通過自動輸送用JOB作成APSW514編輯的作業(yè)存儲到共有存儲器540內(nèi)、并且使CMP裝置基于作業(yè)而動作的處理模塊。
[0155]單元單體操作APSW526是基于通過單元單體操作APSW516輸入的命令而使CMP裝置所包含的單元動作用的處理模塊。參數(shù)管理APSW528是將通過參數(shù)編輯APSW518編輯的參數(shù)存儲到共有存儲器540內(nèi)用的處理模塊。
[0156]另外，控制系統(tǒng)APSW520所包含的處理模塊不限于圖5所示的處理模塊。也可設(shè)置例如收集與CMP裝置有關(guān)的各種歷史數(shù)據(jù)并將其存儲到共有存儲器540內(nèi)用的處理模塊坐寸ο
[0157]任務(wù)監(jiān)視APSW530在工藝管理APSW522、JOB管理/控制APS W524、單元單體操作APSff及參數(shù)管理APSW528中的某一個產(chǎn)生異常時，使產(chǎn)生異常的處理模塊再起動，使其它處理模塊的處理繼續(xù)。
[0158]例如，在一邊執(zhí)行工藝管理APSW522而進行工藝向共有存儲器540內(nèi)的存儲、一邊執(zhí)行單元單體操作APSW526而進行CMP裝置所包含的單元的單體測試的情況下，假定為工藝管理APSW522產(chǎn)生異常。在該情況下，任務(wù)監(jiān)視A PSW530使工藝管理APSW522再起動，并且使單元單體操作APSW526的處理繼續(xù)。換言之，任務(wù)監(jiān)視APSW530不使所有的處理模塊再起動，而僅使工藝管理APSW522再起動。
[0159]由此，單元單體操作APSW526的單元單體測試被繼續(xù)。如上所述，在本實施方式中，工藝管理APSW522、JOB管理/控制APSW524、單元單體操作APSW526及參數(shù)管理APSW528作為不同的處理模塊而被安裝。由此，在某一個處理模塊產(chǎn)生異常時，可使不產(chǎn)生異常的處理模塊的處理繼續(xù)。其結(jié)果，采用本實施方式，可高效執(zhí)行CMP裝置的多個功能。
[0160]另外，在本實施方式中，例示了控制系統(tǒng)APSW520包含四個處理模塊的例子，但并不限于此，也可包含四個處理模塊中的至少二個。在該情況下，任務(wù)監(jiān)視A PSW530在工藝管理APSW522、JOB管理/控制APSW524、單元單體操作APSW526及參數(shù)管理APSW528中的至少二個中的某一個產(chǎn)生異常時，可使產(chǎn)生異常的處理模塊再起動，使其它處理模塊的處理繼續(xù)。
[0161]<控制流程>
[0162]接著，說明控制裝置5的處理流程。圖7是表示控制裝置5的處理流程的示圖。
[0163]如圖7所示，若任務(wù)監(jiān)視APSW530被驅(qū)動，則任務(wù)監(jiān)視APSW530對起動的多個處理模塊的狀態(tài)進行監(jiān)視(步驟S101)。具體來說，任務(wù)監(jiān)視APS W530對是否存在異常結(jié)束的處理模塊進行判定(步驟S102)。
[0164]任務(wù)監(jiān)視APSW530在判定為不存在異常結(jié)束的處理模塊的情況下(步驟S102中的否)，則判定是否存在中止(產(chǎn)生異常)的處理模塊(步驟S103)。
[0165]任務(wù)監(jiān)視APSW530在判定為不存在中止(產(chǎn)生異常)的處理模塊的情況下(步驟S103中的否)，返回到步驟SlOl的處理。
[0166]另一方面，任務(wù)監(jiān)視APSW530在判定為存在中止(產(chǎn)生異常)的處理模塊的情況下(步驟S103中的是)，使中止的處理模塊(異常模塊)強制結(jié)束(步驟S104)。