一種用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體元件的壓裝技術(shù)，具體涉及一種用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著平板型半導(dǎo)體器件的發(fā)展，對于平板型半導(dǎo)體元件(以下簡稱半導(dǎo)體元件)的壓裝要求也隨之增高。然而，傳統(tǒng)的用于壓裝半導(dǎo)體元件的壓裝組件都是操作人員使用力矩扳手來緊固螺栓，通過控制力矩來控制該壓裝組件對半導(dǎo)體元件施加的壓力，即壓裝力。
[0003]然而，由于材料和機械加工等因素都可導(dǎo)致螺栓、螺母之間存在差異，使得傳統(tǒng)的壓裝組件很難保證壓裝力的均勻。當(dāng)壓裝力不均時，半導(dǎo)體元件將不能與散熱器緊密接觸，造成導(dǎo)電面積減小，接觸電阻增加，導(dǎo)致半導(dǎo)體元件工作時的壓降大，溫升高，影響半導(dǎo)體元件的正常工作。同時，操作不當(dāng)很有可能壓壞半導(dǎo)體元件。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了解決上述問題，本發(fā)明的目的是提供一種用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置及方法，其可以有效地控制傳統(tǒng)的壓裝組件對半導(dǎo)體元件施加的壓力，保證壓裝力的均勻，確保半導(dǎo)體元件可正常運行，同時也可避免因操作不當(dāng)而造成的損壞。
[0005]根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供了一種用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置。其中，壓裝組件包括頂板和底板以及能夠調(diào)整兩板之間間距的第一調(diào)整機構(gòu)。本發(fā)明的裝置包括:設(shè)于底板的底面上的底座，設(shè)于頂板上方的施壓板，設(shè)置在施壓板與頂板之間的用于檢測施壓板與頂板之間的壓力的測壓件，以及用于調(diào)整施壓板與底座之間的距離的第二調(diào)整機構(gòu)。
[0006]在一個實施例中，第二調(diào)整機構(gòu)包括從壓裝組件的外側(cè)貫穿底座與施壓板的螺栓，以及設(shè)置在施壓板的頂部上與螺栓相配合的螺母。
[0007]在一個實施例中，底座包括本體和設(shè)在本體上的凹槽，以及分別開設(shè)在本體的兩端并位于凹槽內(nèi)的用于容納螺栓的第一通孔。
[0008]在一個實施例中，施壓板包括板狀本體和開設(shè)在板狀本體上的兩個彼此間隔開的第二通孔，第一通孔的間距等于第二通孔的間距。
[0009]在一個實施例中，測壓件為壓力傳感器，上述裝置還包括用于顯示壓力傳感器所檢測的壓力的顯示構(gòu)件。其中，顯示構(gòu)件優(yōu)選為數(shù)字顯示儀或計算機
[0010]在一個實施例中，在測壓件與頂板之間設(shè)有第一墊片，在底座與底板之間設(shè)有第二墊片。
[0011]在一個實施例中，裝置還包括可拆卸式連接壓裝組件上并用于固定壓裝組件的各個散熱器的輔助固定件。
[0012]在一個實施例中，輔助固定件包括:U形結(jié)構(gòu)，其包括底壁和垂直于底壁的兩個側(cè)壁；設(shè)在各側(cè)壁的外表面上且垂直向外延伸的耳。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供了一種用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的方法，其步驟包括:通過根據(jù)本發(fā)明第一方面所述的裝置的第二調(diào)整機構(gòu)調(diào)整所述裝置的施壓板與底座之間的距離，使所述裝置的測壓件的檢測值為設(shè)定值；通過壓裝組件的第一調(diào)整機構(gòu)調(diào)整所述壓裝組件的頂板和底板之間距離，直至所述測壓件的檢測值為零。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置及方法，能夠有效控制壓裝組件對半導(dǎo)體元件所施加的壓力，避免壓裝力不均，有效確保半導(dǎo)體元件能夠正常運行。同時，該裝置和方法均可避免因操作不當(dāng)而導(dǎo)致的損壞。
[0015]另外，根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置的結(jié)構(gòu)簡單，操作簡單快速，使用安全可靠，便于實施推廣應(yīng)用。
【附圖說明】
[0016]在下文中將基于實施例并參考附圖來對本發(fā)明進行更詳細的描述。其中:
[0017]圖1顯示了根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置和現(xiàn)有的壓裝組件；
[0018]圖2顯示了根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置的底座；
[0019]圖3顯示了根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置的施壓板；
[0020]圖4顯示了根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置的輔助固定板；以及
[0021]圖5顯示了根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置的墊片。
[0022]在附圖中相同的部件使用相同的附圖標(biāo)記。附圖并未按照實際的比例繪制。
【具體實施方式】
[0023]下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步說明。
[0024]圖1顯示了根據(jù)本發(fā)明的用于輔助壓裝組件壓裝半導(dǎo)體元件的裝置10及現(xiàn)有的壓裝組件20。如圖1所示，該壓裝組件20主要包括頂板21和底板22以及能夠調(diào)整兩板之間間距的第一調(diào)整機構(gòu)23。第一調(diào)整機構(gòu)23包括貫穿頂板21和底板22的螺栓和設(shè)置在頂板21的頂面上的用于與螺栓相配合的螺母。除此之外，該第一調(diào)整機構(gòu)23選擇成其他結(jié)構(gòu)，例如選為相互配合的絲杠與螺紋結(jié)構(gòu)。由多個半導(dǎo)體元件組成的串式結(jié)構(gòu)設(shè)在頂板21和底板22之間，并且任意兩個半導(dǎo)體元件均通過散熱器25隔開。半導(dǎo)體元件可選為平板型半導(dǎo)體器件，而平板型半導(dǎo)體器件包括平板型二極管和晶閘管。
[0025]根據(jù)本發(fā)明，該裝置10能夠輔助壓裝組件20對半導(dǎo)體元件進行壓裝，并且能夠控制或監(jiān)控壓裝組件20對半導(dǎo)體元件所施加的壓力。如圖1所示，該裝置10包括設(shè)于底板22的底面上的底座2、設(shè)于頂板21的上方的施壓板3和設(shè)于施壓板3與頂板21之間的用于檢測兩板之間壓力的測壓件5。其中，該測壓件5可選為壓力傳感器或重力傳感器，當(dāng)然也可選為質(zhì)量較高的彈簧。但測壓件5優(yōu)選為重量傳感器，以便快速準確檢測壓力。為了方便地獲知的測壓件5的檢測值，該裝置10還包括與測壓件5相連的顯示構(gòu)件，以用于及時顯示測壓件5的檢測值。優(yōu)選地，顯示構(gòu)件可選擇成數(shù)字顯示儀或計算機。
[0026]與此同時，該裝置10還包括用于調(diào)整施壓板3與底座2之間距離的第二調(diào)整機構(gòu)6。在壓裝時，首先把未緊固螺栓的壓裝組件20安裝到該裝置10內(nèi)，通過第二調(diào)整機構(gòu)6調(diào)整施壓板3與底座2之間的距離，直到測壓件5的檢測值為設(shè)定值后停止。然后，通過第一調(diào)整機構(gòu)23調(diào)整頂板21和底板22之間距離，直至測壓件5的檢測值為零停后停止。通過這種方式，能夠有效地控制壓裝組件20對半導(dǎo)體元件所施加的壓力，避免壓裝力不均，確保半導(dǎo)體元件能夠正常運行，同時也可避免因操作不